[發明專利]自動共晶機及共晶方法

有效

• 申請號: 202010908138.7
• 申請日: 2020-09-02
• 公開（公告）號: CN112018003B
• 公開（公告）日: 2021-05-04
• 發明（設計）人: 胡新榮
• 申請（專利權）人: 深圳新益昌科技股份有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67;H01L21/60
• 代理公司: 深圳中一聯合知識產權代理有限公司 44414
• 代理人: 徐漢華

1.自動共晶機，包括：

機架(11)；

晶圓臺(12)，安裝于所述機架(11)上，用于定位供給芯片；

進料機構(50)，用于傳送支架帶(90)；

出料機構(80)，用于回收支架帶(90)；

其特征在于，所述自動共晶機還包括：

共晶軌道機構(60)，包括具有滑槽(611)的加熱導軌(61)、鋪設于所述滑槽(611)中的加熱塊(62)、蓋于所述滑槽(611)上的蓋板(63)、用于向所述滑槽(611)中充入氮氣的氮氣管(65)和設于所述加熱導軌(61)一側的固定板(69)，所述蓋板(63)與所述加熱塊(62)之間具有供所述支架帶(90)通過的滑道(601)，所述蓋板(63)上設有固晶開口(631)；

壓持機構(70)，安裝于所述固定板(69)上，用于將所述固晶開口(631)處露出的所述支架帶(90)抵壓于所述加熱塊(62)上并向所述固晶開口(631)處吹送氮氣；以及，

送晶機構(30)，包括設于所述加熱導軌(61)一側的固晶支座(31)、用于取放芯片的固晶邦頭(32)、驅動所述固晶邦頭(32)將所述晶圓臺(12)上的芯片移動放置于所述固晶開口(631)處的所述支架帶(90)上固晶位的三軸移動臺(33)和用于平衡所述三軸移動臺(33)移動時的振動的對沖臺(34)，所述三軸移動臺(33)和所述對沖臺(34)相背對設置，所述三軸移動臺(33)和所述對沖臺(34)安裝于所述固晶支座(31)上；

所述對沖臺(34)包括與所述固晶邦頭(32)重量相近的配重塊、驅動所述配重塊與所述固晶邦頭(32)在水平面上反向同步移動的平面移動臺(341)和驅動所述配重塊與所述固晶邦頭(32)同步升降的升降器，所述升降器安裝于所述平面移動臺(341)上，所述平面移動臺(341)和所述三軸移動臺(33)分別設于所述機架(11)的相對兩角部；

所述進料機構(50)和所述出料機構(80)安裝于所述機架(11)上，且所述進料機構(50)和所述出料機構(80)分別設于所述加熱導軌(61)的兩端。

2.如權利要求1所述的自動共晶機，其特征在于，所述自動共晶機還包括用于向所述進料機構(50)送放所述支架帶(90)的放料機構(20)，所述放料機構(20)包括用于支撐卷繞有所述支架帶(90)的料帶盤(201)的支撐軸(21)、用于彈性抵持所述料帶盤(201)的阻尼器(22)、用于支撐并驅動卷繞所述支架帶(90)上保護膜的料卷盤(202)的放料轉軸(23)、驅動所述放料轉軸(23)轉動的放料電機(24)、用于感應所述支架帶(90)的接近感應器(26)和支撐所述接近感應器(26)的多個安裝桿(25)，所述支撐軸(21)、所述放料轉軸(23)、所述放料電機(24)和所述安裝桿(25)支撐于所述機架(11)上，所述阻尼器(22)安裝于所述支撐軸(21)上。

3.如權利要求1所述的自動共晶機，其特征在于：所述自動共晶機還包括視覺定位機構(40)，所述視覺定位機構(40)包括用于攝取所述晶圓臺(12)上所述芯片位置圖像的取晶鏡頭(43)、用于攝取所述支架帶(90)上固晶位圖像的固晶鏡頭(42)、驅動所述固晶鏡頭(42)于所述固晶開口(631)處移動的直線移動機構(44)和安裝于所述機架(11)上的鏡頭支座(41)，所述取晶鏡頭(43)固定于所述鏡頭支座(41)上，所述直線移動機構(44)安裝于所述鏡頭支座(41)上，所述固晶鏡頭(42)安裝于所述直線移動機構(44)上。

4.如權利要求3所述的自動共晶機，其特征在于：所述共晶軌道機構(60)還包括用于向所述固晶鏡頭(42)下方吹氣的吹氣管(66)。

5.如權利要求1-4任一項所述的自動共晶機，其特征在于：所述共晶軌道機構(60)還包括用于分散所述滑道(601)中氮氣的多塊分散板(64)，多塊所述分散板(64)陣列鋪設于所述蓋板(63)上。

6.如權利要求1-4任一項所述的自動共晶機，其特征在于：所述共晶軌道機構(60)還包括安裝于所述機架(11)上的軌道架(67)和安裝于所述軌道架(67)上的隔熱板(68)，所述加熱導軌(61)安裝于所述隔熱板(68)上。