[發(fā)明專利]一種新型全自動液氨氣化生產(chǎn)氨水的新型裝置及其工藝

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• 申請日: 2020-09-01
• 公開（公告）號: CN111977669A
• 公開（公告）日: 2020-11-24
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 劉麟;葉建明
• 申請（專利權(quán)）人: 臺州市睿謙環(huán)保設(shè)備制造有限公司
• 主分類號: C01C1/02
• 分類號: C01C1/02
• 代理公司: 北京盛凡智榮知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11616
• 代理人: 李娜

本發(fā)明公開了一種新型全自動液氨氣化生產(chǎn)氨水的新型裝置及其工藝，屬于氨水生產(chǎn)技術(shù)領(lǐng)域，包括：高效吸氨器，用以實現(xiàn)液氨稀釋、氣氨回收，高效吸氨器設(shè)置有液氨輸入端a、氨氣輸出端b、冷卻水輸入端c、冷卻水輸出端d和氨水輸出端e；冷卻水循環(huán)機構(gòu)，冷卻水循環(huán)機構(gòu)的輸入端分別連接冷卻水輸入端c和冷卻水輸出端d，用以形成冷卻水循環(huán)；連接機構(gòu)，連接機構(gòu)的輸出端與液氨輸入端a連接；液氨輸入機構(gòu)，液氨輸入機構(gòu)的輸出端與連接機構(gòu)的輸入端連接，用以實現(xiàn)液氨和軟水的輸入；本發(fā)明可高效地將液氨稀釋、氣氨回收制備成工業(yè)氨水、試劑氨水、高純氨水,其主要優(yōu)點是稀釋速度快、操作簡單、無污染、節(jié)能顯著。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及氨水生產(chǎn)技術(shù)領(lǐng)域，更具體地說，涉及一種新型全自動液氨氣化生產(chǎn)氨水的新型裝置及其工藝。

背景技術(shù)

隨著半導(dǎo)體行業(yè)技術(shù)的迅猛發(fā)展，對超凈高純(Ultra-clean and High-purityReagent)的純度的要求和標(biāo)準(zhǔn)也在不斷提高，作為半導(dǎo)體行業(yè)中重要的電子級化學(xué)試劑之一，超純氨水在半導(dǎo)體和化合物半導(dǎo)體器件制造中得以廣泛的應(yīng)用，其生產(chǎn)制備也得到越來越多的關(guān)注。

由于氨水中存在著金屬離子和固體顆粒等雜質(zhì)，對于產(chǎn)品的制造和產(chǎn)率來講影響是非常大的，甚至對于線寬較小的集成電路，幾個金屬離子或灰塵顆粒就足以報廢整個電路。因此，通常要求超純氨水的純度達到國際半導(dǎo)體設(shè)備和材料組織制定的化學(xué)材料部分SEMIC17.1-0298標(biāo)準(zhǔn)(Grade4，G4標(biāo)準(zhǔn))。

超純氨水生產(chǎn)中的關(guān)鍵在于解決去除金屬離子雜質(zhì)和顆粒雜質(zhì)的問題。目前，關(guān)于高純度氨水報道較少，而且現(xiàn)有技術(shù)主要通過液氨氣化生產(chǎn)工業(yè)氨水、試劑氨水、高純氨水，但是現(xiàn)有的液氨氣化生產(chǎn)氨水的方法步驟繁瑣，頻繁使用高溫、高壓等生產(chǎn)條件，對安全生產(chǎn)極為不利，產(chǎn)品純度也達不到一定要求，轉(zhuǎn)換率低，造成生產(chǎn)成本提高，同時產(chǎn)生的廢液對環(huán)境也造成污染。

發(fā)明內(nèi)容

1.要解決的技術(shù)問題

針對現(xiàn)有技術(shù)中存在的問題，本發(fā)明的目的在于提供一種新型全自動液氨氣化生產(chǎn)氨水的新型裝置及其工藝，它可高效地將液氨稀釋、氣氨回收制備成工業(yè)氨水、試劑氨水、高純氨水,其主要優(yōu)點是稀釋速度快、操作簡單、無污染、節(jié)能顯著。

2.技術(shù)方案

為解決上述問題，本發(fā)明采用如下的技術(shù)方案：

一種新型全自動液氨氣化生產(chǎn)氨水的新型裝置，包括：

高效吸氨器，用以實現(xiàn)液氨稀釋、氣氨回收，所述高效吸氨器設(shè)置有液氨輸入端a、氨氣輸出端b、冷卻水輸入端c、冷卻水輸出端d和氨水輸出端e；

冷卻水循環(huán)機構(gòu)，所述冷卻水循環(huán)機構(gòu)的輸入端分別連接冷卻水輸入端c和冷卻水輸出端d，用以形成冷卻水循環(huán)；

連接機構(gòu)，所述連接機構(gòu)的輸出端與液氨輸入端a連接；

液氨輸入機構(gòu)，所述液氨輸入機構(gòu)的輸出端與連接機構(gòu)的輸入端連接，用以實現(xiàn)液氨和軟水的輸入；

軟水輸入機構(gòu)，所述軟水輸入機構(gòu)的輸出端與連接機構(gòu)的輸入端連接，用以實現(xiàn)氨水的輸入；

氨氣回收機構(gòu)，所述氨氣回收機構(gòu)的輸入端與氨氣輸出端b連接，所述氨氣回收機構(gòu)還與軟水輸入機構(gòu)連接，用以實現(xiàn)氨氣的回收排放；

第八管道，所述第八管道與氨水輸出端e連接，用以實現(xiàn)氨水的排出；

分流機構(gòu)，所述分流機構(gòu)的其中一個輸入端與第八管道的輸出端連接，且分流機構(gòu)的其中一個輸出端與液氨輸入機構(gòu)的輸入端連接，用以實現(xiàn)氨水分流；

換熱機構(gòu)，所述換熱機構(gòu)的輸入端與冷卻水循環(huán)機構(gòu)的輸出端連接，且換熱機構(gòu)的輸出端與分流機構(gòu)的另一個輸入端連接；

氨水儲存機構(gòu)，所述氨水儲存機構(gòu)的輸入端與分流機構(gòu)的另一個輸出端連接；