[發(fā)明專利]一種翻轉(zhuǎn)式的半導(dǎo)體清洗槽

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202010904125.2
• 申請(qǐng)日: 2020-09-01
• 公開（公告）號(hào): CN112077064B
• 公開（公告）日: 2021-11-05
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 魏運(yùn)秀
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 河南泰鑫納米科技有限公司
• 主分類號(hào): B08B3/04
• 分類號(hào): B08B3/04;H01L21/67
• 代理公司: 合肥市科融知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 34126
• 代理人: 劉冉

1.一種翻轉(zhuǎn)式的半導(dǎo)體清洗槽，包括若干個(gè)呈一排排列的水槽(1)，相鄰的水槽(1)并靠在一起；其特征在于：水槽(1)上端面的中部固定有橫向的齒條(2)，齒條(2)上嚙合有齒輪(3)，齒輪(3)插套固定在傳動(dòng)軸(4)上，傳動(dòng)軸(4)的兩端伸出水槽(1)前、后兩側(cè)插接在軸承座(6)，軸承座(6)固定在無桿氣缸(8)的滑塊上，無桿氣缸(8)分布在水槽(1)的前、后兩側(cè)并固定在若干L形的支架板(11)上，支架板(11)焊接固定在水槽(1)的前、后側(cè)壁上；所述齒輪(3)兩側(cè)的傳動(dòng)軸(4)上設(shè)有硅片裝載盒(5)；

硅片裝載盒(5)包括筒形的殼體(51)，殼體(51)靠近齒輪(3)一端成型有封板，殼體(51)的另一端插接有端蓋(52)，所述殼體(51)下端的外壁上成型有筋板(512)，筋板(512)的下端成型有定位套(513)，定位套(513)插套固定在傳動(dòng)軸(4)上；所述殼體(51)的外壁上成型有若干道通水槽(511)；

所述硅片裝載盒(5)上的通水槽(511)繞殼體(51)的中心軸線呈環(huán)形均勻。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種翻轉(zhuǎn)式的半導(dǎo)體清洗槽，其特征在于：所述硅片裝載盒(5)的長(zhǎng)度小于齒輪(3)至水槽(1)前側(cè)內(nèi)壁或齒輪(3)至水槽(1)后側(cè)內(nèi)壁的距離；所述硅片裝載盒(5)上殼體(51)的直徑等于水槽(1)長(zhǎng)度的1/6～1/8。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種翻轉(zhuǎn)式的半導(dǎo)體清洗槽，其特征在于：所述硅片裝載盒(5)上殼體(51)外壁至傳動(dòng)軸(4)的最短間距大于水槽(1)上端面至傳動(dòng)軸(4)的距離。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種翻轉(zhuǎn)式的半導(dǎo)體清洗槽，其特征在于：所述支架板(11)的下端面上抵靠有橫向的加強(qiáng)角鐵(12)，加強(qiáng)角鐵(12)焊接固定在水槽(1)的外側(cè)壁上，所述的支架板(11)呈線性均勻分布在加強(qiáng)角鐵(12)上。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種翻轉(zhuǎn)式的半導(dǎo)體清洗槽，其特征在于：所述支架板(11)的上端面上固定有截面呈L型的支撐架(9)，支撐架(9)由水平板和豎直板組成，支撐架(9)的豎直板上成型有橫向的導(dǎo)軌槽(91)，所述傳動(dòng)軸(4)的兩端成型有支軸，支軸上插套有導(dǎo)輪(10)，導(dǎo)輪(10)抵靠在支撐架(9)的水平板上，支軸穿過支撐架(9)的導(dǎo)軌槽(91)插接固定在軸承座(6)的軸承內(nèi)。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的一種翻轉(zhuǎn)式的半導(dǎo)體清洗槽，其特征在于：所述導(dǎo)輪(10)的兩端面分別抵靠在支撐架(9)的豎直板和傳動(dòng)軸(4)的端面上。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的一種翻轉(zhuǎn)式的半導(dǎo)體清洗槽，其特征在于：所述水槽(1)前側(cè)壁的下端均插接固定有排水管(13)，所述齒條(2)的正下方設(shè)有橫向的進(jìn)水管(7)，進(jìn)水管(7)插接固定在水槽(1)上并位于水槽(1)的上部，所述的進(jìn)水管(7)上成型有若干個(gè)出水口(71)，出水口(71)分布在各個(gè)所述的水槽(1)內(nèi)。