[發明專利]一種驅動-黏附一體化復合結構及制備方法

在審

• 申請號: 202010903326.0
• 申請日: 2020-09-01
• 公開（公告）號: CN111977608A
• 公開（公告）日: 2020-11-24
• 發明（設計）人: 劉志剛;孫俊;張曉龍;宋婷;寧雷;王金海
• 申請（專利權）人: 上海航天控制技術研究所
• 主分類號: B81B1/00
• 分類號: B81B1/00;B81C1/00;H01L41/18;H01L41/193;H01L41/37;H01L41/45
• 代理公司: 上海元好知識產權代理有限公司 31323
• 代理人: 賈慧琴;包姝晴

1.一種驅動-黏附一體化復合結構，其特征在于，包括電驅動結構和干黏附結構；所述電驅動結構采用離子聚合物金屬復合材料，其能在電壓驅動下發生形變；所述干黏附結構為若干楔形結構組成的陣列；所述干黏附結構粘接于所述電驅動結構的一端。

2.如權利要求1所述的驅動-黏附一體化復合結構，其特征在于，所述楔形結構均勻排列。

3.如權利要求1所述的驅動-黏附一體化復合結構，其特征在于，所述楔形結構為微米級。

4.如權利要求1所述的驅動-黏附一體化復合結構，其特征在于，所述干黏附結構采用聚二甲基硅氧烷材料。

5.如權利要求1所述的驅動-黏附一體化復合結構，其特征在于，所述干黏附結構通過雙面膠粘接于所述電驅動結構的一端。

6.如權利要求5所述的驅動-黏附一體化復合結構，其特征在于，所述雙面膠的一側為丙烯酸膠，與所述電驅動結構相連；另一側為硅橡膠專用膠，與所述干黏附結構相連。

7.一種如權利要求1所述的驅動-黏附一體化復合結構的制備方法，其特征在于，包括：

步驟1，制備電驅動結構；

步驟2，制備干黏附結構；

步驟3，將步驟1制備的電驅動結構和步驟2制備的干黏附結構相連接，制成所述驅動-黏附一體化復合結構。

8.如權利要求7所述的驅動-黏附一體化復合結構的制備方法，其特征在于，步驟1包括：

步驟1.1，將Nafion溶液和N,N-二甲基甲酰胺以體積比4:1混合得到鑄膜液，采用溶液澆鑄法制得基底膜，并對基底膜表面做粗化處理；

步驟1.2，將粗化處理后的基底膜在鉑氨溶液中浸泡12h以上；

步驟1.3，采用化學還原鍍的方法，在基底膜兩側鍍金屬Pt電極，得到所述的電驅動結構。

9.如權利要求7所述的驅動-黏附一體化復合結構的制備方法，其特征在于，步驟2包括：

步驟2.1，采用光刻工藝加工獲得所述的楔形結構組成的陣列的反型結構模具；

步驟2.2，采用旋涂法在反型結構模具上涂覆一層厚度為微米級的聚二甲基硅氧烷；

步驟2.3，將步驟2.2涂覆的聚二甲基硅氧烷經過固化脫模，得到所述的干黏附結構。

10.如權利要求7所述的驅動-黏附一體化復合結構的制備方法，其特征在于，步驟3包括：

步驟3.1，將步驟2制得的干黏附結構的一側連接在硅橡膠雙面膠上；

步驟3.2，在步驟3.1中硅橡膠雙面膠的另一側涂覆丙烯酸膠；

步驟3.3，將步驟3.2制得的涂覆強力膠的干黏附結構連接在步驟1制得的電驅動結構的一端，得到所述的驅動-黏附一體化復合結構。