[發明專利]一種晶圓位置檢測裝置仿真測試系統

有效

• 申請號: 202010903005.0
• 申請日: 2020-09-01
• 公開（公告）號: CN111983432B
• 公開（公告）日: 2021-04-20
• 發明（設計）人: 戴金方
• 申請（專利權）人: 無錫卓海科技有限公司
• 主分類號: G01R31/28
• 分類號: G01R31/28
• 代理公司: 無錫華源專利商標事務所(普通合伙) 32228
• 代理人: 過顧佳;聶啟新

1.一種晶圓位置檢測裝置仿真測試系統，其特征在于，所述晶圓位置檢測裝置仿真測試系統包括待測試的晶圓位置檢測裝置及其相連的測試方波發生器，所述測試方波發生器向所述晶圓位置檢測裝置發送至少兩個不同的測試矢量，每個測試矢量分別對應一個仿真結果；每個所述測試矢量分別包括時間同步信號和傳感器仿真信號，且所述時間同步信號和所述傳感器仿真信號基于同一個時基信號，所述至少兩個不同的測試矢量中的時間同步信號的波形形態不同，和/或，傳感器仿真信號的波形形態不同，和/或，傳感器仿真信號相對于時間同步信號的相對相位不同；所述晶圓位置檢測裝置根據獲取到的測試矢量輸出對應的反饋結果，當所述反饋結果與所述測試矢量對應的仿真結果不一致時確定所述晶圓位置檢測裝置存在功能異常。

2.根據權利要求1所述的晶圓位置檢測裝置仿真測試系統，其特征在于，所述測試方波發生器向所述晶圓位置檢測裝置提供至少兩種不同的波形形態的時間同步信號。

3.根據權利要求2所述的晶圓位置檢測裝置仿真測試系統，其特征在于，每種波形形態的時間同步信號分別對應所述晶圓位置檢測裝置的一種檢測場景；不同的檢測場景中，所述晶圓位置檢測裝置的檢測速度、結構以及所述晶圓位置檢測裝置檢測的晶圓盒的結構存在至少一個不同；當晶圓位置檢測裝置的齒條結構以及晶圓位置檢測裝置的單個槽位所設的齒數量中存在至少一種不同時，晶圓位置檢測裝置的結構不同；當晶圓位置檢測裝置所檢測的晶圓盒的槽間距和槽位數量存在至少一種不同時，晶圓位置檢測裝置檢測的晶圓盒的結構不同。

4.根據權利要求3所述的晶圓位置檢測裝置仿真測試系統，其特征在于，不同波形形態的時間同步信號的周期、占空比、波個數、幀間間歇和幀數存在至少一個不同，且所述時間同步信號的周期與所述晶圓位置檢測裝置的檢測速度對應、占空比與所述晶圓位置檢測裝置的齒條結構對應、波個數與所述晶圓位置檢測裝置的單個槽位所設的齒數量對應、幀間間歇與晶圓盒的槽間距對應、幀數與晶圓盒的槽位數量對應。

5.根據權利要求1-4任一所述的晶圓位置檢測裝置仿真測試系統，其特征在于，所述傳感器仿真信號的波形寬度由所述傳感器仿真信號的有效電平的時長確定，且所述傳感器仿真信號的有效電平由若干個連續脈沖波擬合形成。

6.根據權利要求5所述的晶圓位置檢測裝置仿真測試系統，其特征在于，所述傳感器仿真信號的同一個波形寬度由至少兩種不同的連續脈沖波擬合形成，至少兩種不同的連續脈沖波的脈沖數量、各個脈沖的寬度以及各個脈沖的間隔存在至少一個不同。

7.根據權利要求1所述的晶圓位置檢測裝置仿真測試系統，其特征在于，當兩個傳感器仿真信號的有效電平的時長不同時，所述兩個傳感器仿真信號的波形形態不同；當兩個傳感器仿真信號的有效電平的起始時刻相對于時間同步信號的有效電平起始時刻的提前或滯后的時長不同時，所述兩個傳感器仿真信號相對于時間同步信號的相對相位不同。

8.根據權利要求7所述的晶圓位置檢測裝置仿真測試系統，其特征在于，所述傳感器仿真信號波形形態和相位由高低電平的時長決定，且高低電平的時長由所述測試方波發生器中的定時器調整，當兩個所述傳感器仿真信號的有效電平的時長差距在第一預定范圍內時確定兩個所述傳感器仿真信號的波形形態相同，當兩個所述傳感器仿真信號相對于時間同步信號的有效電平起始時刻的提前或滯后的時長差在第二預定范圍內時，所述兩個傳感器仿真信號相對于時間同步信號的相對相位相同。