[發明專利]基于色散共焦的自由曲面非接觸式測量系統

在審

• 申請號: 202010902736.3
• 申請日: 2020-09-01
• 公開（公告）號: CN111982027A
• 公開（公告）日: 2020-11-24
• 發明（設計）人: 明名;宿馨文;王建立;陳濤;宋士俊
• 申請（專利權）人: 中國科學院長春光學精密機械與物理研究所
• 主分類號: G01B11/25
• 分類號: G01B11/25;G01M11/02
• 代理公司: 長春眾邦菁華知識產權代理有限公司 22214
• 代理人: 寧曉丹

1.基于色散共焦的自由曲面非接觸式測量系統，其特征在于，包括：寬光譜光源、耦合透鏡組(2)、半反半透分光鏡(3)、聚焦鏡組(4)、光闌(6)、光譜測量系統(7)和光譜探測器(8)；所述寬光譜光源、耦合透鏡組(2)和半反半透分光鏡(3)順次設置，被測元件(5)、聚焦鏡組(4)、半反半透分光鏡(3)、光闌(6)、光譜測量系統(7)和光譜探測器(8)順次設置，被測元件(5)和光闌(6)均位于聚焦鏡組(4)的焦點上；

所述寬光譜光源的出射光依次經耦合透鏡組(2)匯聚、經半反半透分光鏡(3)反射、經聚焦鏡組(4)透射、經被測元件(5)反射、經聚焦鏡組(4)透射、經半反半透分光鏡(3)透射、穿過光闌(6)的通光孔、經光譜測量系統(7)測量光譜后入射到光譜探測器(8)；經半反半透分光鏡(3)反射進入到聚焦鏡組(4)的光束經聚焦鏡組(4)透射得到不同顏色的聚焦點，所述聚焦點均位于聚焦鏡組(4)光軸上。

2.如權利要求1所述的基于色散共焦的自由曲面非接觸式測量系統，其特征在于，所述寬光譜光源的出射光與半反半透分光鏡(3)的分光面成45°。

3.如權利要求1所述的基于色散共焦的自由曲面非接觸式測量系統，其特征在于，所述半反半透分光鏡(3)的分光面位于耦合透鏡組(2)的焦點上。

4.如權利要求1所述的基于色散共焦的自由曲面非接觸式測量系統，其特征在于，所述光譜測量系統(7)為全反射光柵式分光測量系統。

5.如權利要求1所述的基于色散共焦的自由曲面非接觸式測量系統，其特征在于，所述聚焦鏡組(4)包括為凸凹凸結構第三雙膠合透鏡、為凸凹凸結構的第四雙膠合透鏡和為凸凹凹結構的第五雙膠合透鏡，半反半透分光鏡(3)、第三雙膠合透鏡、第四雙膠合透鏡、第五雙膠合透鏡和被測元件(5)順次設置。

6.如權利要求1所述的基于色散共焦的自由曲面非接觸式測量系統，其特征在于，所述耦合透鏡組(2)包括為凸凹凸結構的第一雙膠合透鏡和為凸凹凸結構的第二雙膠合透鏡，寬光譜光源、第一雙膠合透鏡、第二雙膠合透鏡和半反半透分光鏡(3)順次設置。

7.如權利要求1所述的基于色散共焦的自由曲面非接觸式測量系統，其特征在于，所述寬光譜光源采用白光光源(1)。

8.如權利要求1所述的基于色散共焦的自由曲面非接觸式測量系統，其特征在于，依次經所述耦合透鏡組(2)匯聚和半反半透分光鏡(3)透射的光束不進入光譜測量系統(7)和光譜探測器(8)。