[發明專利]一種溫度控制裝置、集成電路制造設備及方法

有效

• 申請號: 202010898898.4
• 申請日: 2020-08-31
• 公開（公告）號: CN112083742B
• 公開（公告）日: 2021-10-26
• 發明（設計）人: 何茂棟;芮守禎;曹小康;常鑫;馮濤;宋朝陽;董春輝;李文博
• 申請（專利權）人: 北京京儀自動化裝備技術股份有限公司
• 主分類號: G05D23/19
• 分類號: G05D23/19
• 代理公司: 北京路浩知識產權代理有限公司 11002
• 代理人: 馬瑞

1.一種溫度控制方法，其特征在于，包括以下步驟：

采集被檢測設備的當前溫度值PV；

將所述當前溫度值PV與預設溫度值SP進行比較，得到溫差值；

對所述溫差值分別進行制冷PID計算和加熱PID計算，分別得到制冷控制輸出值Cout1和加熱控制輸出值Hout1；

對所述加熱控制輸出值Hout1進行分析，并根據分析結果控制加熱系統和制冷系統對所述被檢測設備的溫度進行控制，以達到所述預設溫度值SP；

對所述加熱控制輸出值Hout1進行分析，并根據分析結果控制加熱系統和制冷系統對所述被檢測設備的溫度進行控制包括：

當0Hout1≤p％時，根據所述預設溫度值SP對制冷控制量Cout的系數k進行調節，其中，1≤p100，Cout＝(p％-Hout1)/k，Hout＝Hout1；

當p％Hout1≤100％時，增大加熱控制量Hout的加熱修正系數kh，其中，Cout＝0，Hout＝Hout1*kh；

當Hout1＝0時，增大制冷控制量Cout的制冷修正系數kc，其中Cout＝Cout1*kc，Hout＝0。

2.根據權利要求1所述的溫度控制方法，其特征在于，1≤k≤3，1≤kh2，1≤kc2。

3.根據權利要求2所述的溫度控制方法，其特征在于，所述根據所述預設溫度值SP對制冷控制量Cout的系數k進行調節包括：

當-20℃≤SP≤10℃時，減小制冷控制量Cout的系數k；

當50℃≤SP≤80℃時，增大制冷控制量Cout的系數k。

4.根據權利要求1、2或3所述的溫度控制方法，其特征在于，所述被檢測設備為刻蝕工藝設備負載端。

5.根據權利要求3所述的溫度控制方法，其特征在于，所述制冷控制量Cout用于控制壓縮機及膨脹閥；所述加熱控制量Hout用于控制加熱器。