[發(fā)明專利]玻璃微粒子堆積體的制造方法及燃燒器

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• 申請?zhí)枺?/td>: 202010897985.8
• 申請日: 2020-08-31
• 公開（公告）號: CN112441735A
• 公開（公告）日: 2021-03-05
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 三田憐
• 申請（專利權(quán)）人: 信越化學工業(yè)株式會社
• 主分類號: C03B37/014
• 分類號: C03B37/014;C03B37/018
• 代理公司: 深圳新創(chuàng)友知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 44223
• 代理人: 江耀純

本發(fā)明是一種玻璃微粒子堆積體的制造方法，在反應(yīng)容器內(nèi)設(shè)置起動桿及燃燒器，將玻璃原料導入到燃燒器，使玻璃原料在燃燒器所形成的火焰內(nèi)進行火焰水解反應(yīng)而生成玻璃微粒子，并使所生成的玻璃微粒子堆積于起動桿，從而制造玻璃微粒子堆積體；所述玻璃微粒子堆積體的制造方法包括：在所述燃燒器的最外管外周設(shè)置固定輔具，將燃燒器外罩從所述燃燒器的最外管前端插入，使所述固定輔具的一部分夾在該燃燒器外罩與所述燃燒器的最外管之間進行壓縮，由此將所述燃燒器外罩固定于所述燃燒器，進而，未被壓縮的所述固定輔具的一部分的外徑大于插入到所述燃燒器的最外管前端的所述燃燒器外罩的一部分的內(nèi)徑。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及一種利用OVD法(外部氣相沉積法)、VAD法(氣相軸向沉積法)、MMD法(多燃燒器多層沉積法)等使玻璃微粒子堆積于起動桿而制造玻璃微粒子堆積體的玻璃微粒子堆積體的制造方法及燃燒器。

背景技術(shù)

一直以來，在熟知的利用OVD法制造光纖母材的制造裝置中，在反應(yīng)容器內(nèi)設(shè)置起動桿及用于玻璃微粒子生成的燃燒器，向該燃燒器供給SiCl₄等原料氣體，并使在燃燒器所形成的火焰內(nèi)利用火焰水解反應(yīng)生成的玻璃微粒子堆積在起動桿的周圍，從而形成玻璃微粒子堆積體。

已知在這種玻璃微粒子堆積體的制造方法中，為了防止玻璃微粒子附著在石英玻璃制燃燒器的前端、防止燃燒器前端因劣化導致形狀變化，或為了控制燃燒器火焰的流動，而將裝卸式燃燒器外罩(燃燒器罩)套在燃燒器的前端(參照文獻1、2、3、4)。

另外，已知隨著玻璃微粒子堆積體的生長而改變?nèi)紵鞯奈恢没蚪嵌鹊募夹g(shù)。(參照文獻5、6)

[背景技術(shù)文獻]

[專利文獻]

[文獻1]日本專利實開昭63-110535號公報；

[文獻2]日本專利實開昭63-81828號公報；

[文獻3]日本專利特開2010-96378號公報；

[文獻4]日本專利特開2006-199527號公報；

[文獻5]日本專利特開2017-071513號公報；

[文獻6]日本專利第6505188號。

發(fā)明內(nèi)容

[發(fā)明要解決的問題]

燃燒器及燃燒器外罩多為耐熱性及耐腐蝕性優(yōu)異的石英玻璃制。石英玻璃制燃燒器多由人工焊接石英玻璃制圓管而制作，另外，對于石英玻璃制圓管本身也會利用加熱拉伸調(diào)整內(nèi)外徑來進行制作，因此各燃燒器的個體間容易產(chǎn)生形狀差異。因此，常見的是，即便將燃燒器外罩套在燃燒器上，也無法獲得燃燒器外罩的位置的再現(xiàn)性的情況。具體地說，燃燒器外罩并未固定在燃燒器的特定位置，有時套入得過深，有時則相反，僅套入到近前位置。因此，燃燒器火焰的狀態(tài)在各燃燒器的個體間各不相同，玻璃微粒子堆積體的形狀容易產(chǎn)生差異。

進而，制造玻璃微粒子堆積體的過程中，存在當改變?nèi)紵魑恢没蚪嵌葧r(參照文獻5、6等)，燃燒器外罩從特定位置偏移的問題。

關(guān)于文獻1中記載的燃燒器，雖然利用特富龍帶等固定材將燃燒器外罩固定于燃燒器，但是固定材無法支撐燃燒器外罩，在反復進行玻璃微粒子堆積體的制造時燃燒器外罩的位置發(fā)生偏移，導致難以獲得火焰狀態(tài)的再現(xiàn)性。

關(guān)于文獻2中記載的燃燒器，以直徑與燃燒器外罩的內(nèi)徑相同的方式將耐熱性帶卷繞在燃燒器的最外管，并將燃燒器外罩安裝在此處，然后，以利用固定用帶材覆蓋已安裝的燃燒器外罩的根部與卷繞在燃燒器的耐熱性帶的露出部的方式，將固定用帶材進行卷繞，從而將燃燒器外罩固定于燃燒器，但是由于利用固定用帶材將燃燒器外罩固定得較牢，因此無法將燃燒器外罩從燃燒器取下并進行更換，為了清理燃燒器外罩，必須將燃燒器本身從裝置取下來進行更換。