[發(fā)明專利]一種均勻的超薄遂穿氧化層的制備方法及電池

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202010896906.1
• 申請日: 2020-08-31
• 公開（公告）號: CN112186069B
• 公開（公告）日: 2022-05-17
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 陳孝業(yè);何自娟;蔣秀林;秦怡;尹海鵬
• 申請（專利權(quán)）人: 晶澳（揚(yáng)州）太陽能科技有限公司
• 主分類號: H01L31/18
• 分類號: H01L31/18;H01L31/0216;H01L21/02
• 代理公司: 北京天達(dá)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 11386
• 代理人: 姚東華

1.一種均勻的超薄遂穿氧化層的制備方法，其特征在于，所述超薄遂穿氧化層的制備方法在管式爐管內(nèi)完成，包括以下步驟：

步驟101、對硅片進(jìn)行前處理、清洗；

步驟102、硅片裝舟：將硅片裝載在石英舟上，其中，將兩個(gè)硅片靠在一起裝入石英舟的一個(gè)槽位中，將待氧化面暴露于爐管氛圍中；

步驟103、進(jìn)舟氧化：常壓進(jìn)舟，氮?dú)獯祾撸銣兀瑱z漏，通氣常壓或微正壓或微負(fù)壓氧化，常壓出舟；

所述常壓進(jìn)舟的步驟包括：設(shè)置爐管壓力為常壓，爐內(nèi)通入氮?dú)饬髁繛?200-2800sccm，進(jìn)舟時(shí)間為5-10min；

所述步驟103中，通氣常壓或微負(fù)壓或微正壓氧化包括采用純氧為氧化氣體或者采用氮?dú)馀c氧氣的混合氣體為氧化氣體；

所述步驟103中，采用純氧為氧化氣體進(jìn)行氧化的步驟包括：在爐管中通入純的氧氣，當(dāng)爐內(nèi)的壓力達(dá)到微正壓狀態(tài)時(shí)關(guān)閉爐管的進(jìn)氣口和排氣口，保持5-90min；微正壓狀態(tài)是指爐管壓力范圍為1010-1200mbar；

所述步驟103中，采用氮?dú)馀c氧氣的混合氣體為氧化氣體進(jìn)行氧化的步驟包括：維持爐管壓力范圍為800-1200mbar。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的超薄遂穿氧化層的制備方法，其特征在于，所述氧化層為氧化硅層。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的超薄遂穿氧化層的制備方法，其特征在于，所述常壓進(jìn)舟的步驟包括：氧化管溫區(qū)設(shè)置溫度在550-660℃。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的超薄遂穿氧化層的制備方法，其特征在于，所述氮?dú)獯祾叩牟襟E包括：設(shè)置爐管壓力范圍為800-1200mbar，通入氮?dú)饬髁繛?500-2500sccm進(jìn)行吹掃；控制每個(gè)氧化管溫區(qū)的溫度為560-640℃。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的超薄遂穿氧化層的制備方法，其特征在于，所述步驟103中，采用氮?dú)馀c氧氣的混合氣體為氧化氣體進(jìn)行氧化的步驟包括：每個(gè)氧化管溫區(qū)的溫度設(shè)置值相同，溫度設(shè)置值為560-640℃，通入氮?dú)饬髁糠秶鸀?000-20000sccm，通入氧氣流量范圍為：1000-10000sccm，氧化時(shí)間為1-90min。

6.一種遂穿氧化鈍化接觸電池，其特征在于，所述遂穿氧化鈍化接觸電池的遂穿氧化層采用權(quán)利要求1-5任一項(xiàng)所述的制備方法制備。