[發明專利]使用平面壓印成形制作超長金屬帶狀反射光柵尺的裝置

在審

• 申請號: 202010894558.4
• 申請日: 2020-08-31
• 公開（公告）號: CN114101427A
• 公開（公告）日: 2022-03-01
• 發明（設計）人: 沈欽龍;周孝蓮;張建英;任策;黃曉潔;林磊
• 申請（專利權）人: 福州高意光學有限公司
• 主分類號: B21D13/02
• 分類號: B21D13/02;B21D43/00
• 代理公司: 福州君誠知識產權代理有限公司 35211
• 代理人: 戴雨君

1.使用平面壓印成形制作超長金屬帶狀反射光柵尺的裝置，其特征在于:包括壓印機構（1）、往復運動機構（2）和傳輸機構（3）;

所述壓印機構（1）包括Z軸動力和壓印模組, Z軸動力由伺服電機（101）、減速器（102）、法蘭基座（103）、聯軸器（104）、絲桿（105）和傳動螺母（114）組成，其中，伺服電機（101）與減速器（102）傳動連接，并固定安裝在法蘭基座（103）上，絲桿（105）與聯軸器（104）形成軸孔配合固定；所述壓印模組包括上基座（106）、下基座（110）、固定支撐柱（107）、導桿（113）、上固定板（108）、下固定板（111）、上模板（109）和下模板（112）；所述上基座（106）和下基座（110）通過固定支撐柱（107）形成固定連接，所述上固定板（108）固定到傳動螺母（114），并通過導桿（113）進行Z方向上的導向，傳動螺母（114）與絲桿（105）配合連接；所述導桿（113）固定在下基座（110）上，所述上模板（109）固定到上固定板（108），在Z軸動力作用下，上模板（109）能夠進行Z方向的上下移動，實現開模和壓印過程；所述下固定板（111）固定到下基座（110），并通過導桿（113）進行定位，下模板（112）固定到下固定板（111）；

所述往復運動機構（2）包括夾持裝置（201）、測量裝置（202）和X軸動力（203）；所述夾持裝置（201）用來夾持固定柵尺，測量裝置（202）用來定位夾持裝置（201）的準確位置，夾持裝置（201）固定在X軸動力（203），由X軸動力（103）提供X方向的往復運動，其中X軸動力（103）提供的行程應大于上模板（109）在X方向的長度；

所述傳輸機構（3）包括放卷端（301）和收卷端（302），并與往復運動機構（2）形成聯動控制，當基材（4）在壓印機構完成壓印時，上模板（109）向上運動，完成開模，然后由往復運動機構（2）向X方向運動時，收卷端（302）開始收卷，放卷端（301）開始放卷，直到測量裝置（102）定位到預定位置，停止運動上模板（109）開始向下運動，開始合模壓印；如此形成連續往復壓印過程。

2.根據權利要求1所述的使用平面壓印成形制作超長金屬帶狀反射光柵尺的裝置，其特征在于：所述的測量裝置（202）是激光干涉儀，或采用高精度的光柵尺。

3.根據權利要求1所述的使用平面壓印成形制作超長金屬帶狀反射光柵尺的裝置，其特征在于：所述的夾持裝置（201）采用對輥夾持，或是磁鐵、真空吸附裝置。

4.根據權利要求1所述的使用平面壓印成形制作超長金屬帶狀反射光柵尺的裝置，其特征在于：所述的上模板（109）選擇Ni、Cr或者殷鋼作為模具基材，采用激光刻蝕、機械刻蝕或者電化學進行制作表面有微結構的平面狀光柵模具，其中微結構根據衍射效率采用三角形、矩形或拋物狀。

5.根據權利要求1所述的使用平面壓印成形制作超長金屬帶狀反射光柵尺的裝置，其特征在于：所述的下模板（112）是無微結構的平面模板，或是與上模板（109）一樣帶有微結構的模板。

6.根據權利要求1-5任一所述的使用平面壓印成形制作超長金屬帶狀反射光柵尺的裝置，其特征在于：其用來制作增量式光柵尺或絕對式光柵尺。