[發明專利]一種同軸環形雙脈沖LIBS系統

有效

• 申請號: 202010894343.2
• 申請日: 2020-08-31
• 公開（公告）號: CN111912836B
• 公開（公告）日: 2023-06-20
• 發明（設計）人: 趙宇;董馳;李孟委
• 申請（專利權）人: 中北大學
• 主分類號: G01N21/71
• 分類號: G01N21/71;G01N21/01
• 代理公司: 太原榮信德知識產權代理事務所(特殊普通合伙) 14119
• 代理人: 楊凱;連慧敏

1.一種同軸環形雙脈沖LIBS系統，其特征在于：包括脈沖激光器(1)、擴束鏡(2)、準直鏡(3)、旋鏡(4)、旋鏡控制器(5)、圓錐鏡(6)、第一反射鏡(7)、第二反射鏡(8)、半透半反射鏡(9)、聚焦鏡(10)，所述脈沖激光器(1)沿光路方向上依次設置有擴束鏡(2)、準直鏡(3)、旋鏡(4)、圓錐鏡(6)、第一反射鏡(7)，所述第一反射鏡(7)的反射光路上設置有半透半反射鏡(9)、聚焦鏡(10)，所述旋鏡(4)連接有旋鏡控制器(5)，所述旋鏡控制器(5)控制旋鏡(4)旋轉，所述旋鏡(4)的反射光路上設置有第二反射鏡(8)，所述半透半反射鏡(9)設置在第二反射鏡(8)的反射光路上；所述聚焦鏡(10)的焦點處設置有被測物體(17)；所述被測物體(17)的一側設置有光纖束(14)，所述光纖束(14)連接有光譜儀(15)，所述光譜儀(15)連接有計算機(16)；所述被測物體(17)的另一側設置有光電探測器(11)，所述光電探測器(11)連接有光電檢測電路(12)，所述光電檢測電路(12)連接有延時電路(13)，所述延時電路(13)分別與脈沖激光器(1)、旋鏡控制器(5)連接；所述脈沖激光器(1)發射第一發脈沖通過擴束鏡(2)、準直鏡(3)，所述旋鏡控制器(5)控制旋鏡(4)旋轉至與準直鏡(3)出射光平行的位置，所述準直鏡(3)出射光經過圓錐鏡(6)產生環形光束，所述環形光束再經過第一反射鏡(7)、半透半反射鏡(9)照射到被測物體(17)表面，所述脈沖激光器(1)發射二發脈沖，所述旋鏡控制器(5)控制旋鏡(4)旋轉至準直鏡(3)出射光的光路上，所述準直鏡(3)出射光經旋鏡(4)反射后通過第二反射鏡(8)和半透半反射鏡(9)照射到被測物體(17)表面；所述光電探測器(11)檢測脈沖激光器(1)發射的第一發脈沖產生的等離子體信號，所述光電檢測電路(12)檢測到信號后傳遞給延時電路(13)，所述延時電路(13)延時發出信號傳遞給脈沖激光器(1)和旋鏡控制器(5)，所述脈沖激光器(1)發射第二發脈沖，所述旋鏡控制器(5)控制旋鏡旋轉45°，所述第二發脈沖通過旋鏡(4)、第二反射鏡(8)、半透半反射鏡(9)、聚焦鏡(10)發射照射在第一發脈沖產生的等離子體粉末上。

2.根據權利要求1所述的一種同軸環形雙脈沖LIBS系統，其特征在于：所述光纖束(14)采用高透過率材料。

3.根據權利要求1所述的一種同軸環形雙脈沖LIBS系統，其特征在于：所述光譜儀(15)采用中階梯光柵光譜儀或光纖光譜儀。