[發明專利]一種基于金屬-介質-金屬波導的磁場探測器

在審

• 申請號: 202010893034.3
• 申請日: 2020-08-31
• 公開（公告）號: CN111983527A
• 公開（公告）日: 2020-11-24
• 發明（設計）人: 不公告發明人
• 申請（專利權）人: 西安柯萊特信息科技有限公司
• 主分類號: G01R33/032
• 分類號: G01R33/032
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種基于金屬-介質-金屬波導的磁場探測器，其特征在于，包括光源、光探測器、基底和置于基底上的第一金屬部和第二金屬部，所述第一金屬部和所述第二金屬部為貴金屬薄膜，所述第一金屬部與所述第二金屬部分別具有相互平行的界面，所述第一金屬部和所述第二金屬部構成金屬-介質-金屬波導，所述第二金屬部內設有空腔，所述空腔為矩形，所述矩形的邊平行于所述金屬-介質-金屬波導，所述空腔內設有磁致伸縮材料，所述光源發出光，并耦合到所述金屬-介質-金屬波導，所述光探測器探測經過所述金屬-介質-金屬波導后的透射光。

2.如權利要求1所述的基于金屬-介質-金屬波導的磁場探測器，其特征在于：所述空腔還包括兩個突出部，兩個所述突出部分別設置在所述空腔靠近所述金屬-介質-金屬波導一側的兩端。

3.如權利要求1-2任一項所述的基于金屬-介質-金屬波導的磁場探測器，其特征在于：所述第一金屬部內設有第二空腔，所述第二空腔內設有磁致伸縮材料。

4.如權利要求3所述的基于金屬-介質-金屬波導的磁場探測器，其特征在于：所述第二空腔置于所述空腔的中心部位。

5.如權利要求4所述的基于金屬-介質-金屬波導的磁場探測器，其特征在于：所述空腔與所述金屬-介質-金屬波導的距離大于100納米。

6.如權利要求5所述的基于金屬-介質-金屬波導的磁場探測器，其特征在于：所述第二空腔與所述金屬-介質-金屬波導的距離大于100納米。

7.如權利要求6所述的基于金屬-介質-金屬波導的磁場探測器，其特征在于：所述貴金屬薄膜的材料為金或銀。

8.如權利要求7所述的基于金屬-介質-金屬波導的磁場探測器，其特征在于：所述貴金屬薄膜的厚度大于500納米。

9.如權利要求5所述的基于金屬-介質-金屬波導的磁場探測器，其特征在于：所述金屬-介質-金屬波導的寬度小于100納米。

10.如權利要求9所述的基于金屬-介質-金屬波導的磁場探測器，其特征在于：所述第一金屬部與所述第二金屬部的厚度相等。