[發(fā)明專利]一種新型的晶體連續(xù)快速生長裝置

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 202010887759.1
• 申請日: 2020-08-28
• 公開（公告）號: CN111893552A
• 公開（公告）日: 2020-11-06
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 潘豐
• 申請（專利權(quán)）人: 江南大學
• 主分類號: C30B7/08
• 分類號: C30B7/08;C30B29/14
• 代理公司: 大連理工大學專利中心 21200
• 代理人: 劉秋彤;梅洪玉

1.一種新型的晶體連續(xù)快速生長裝置，其特征在于，裝置包括培養(yǎng)裝置、過熱過濾裝置、溶液配制裝置、高飽和度平衡裝置和生長溶液循環(huán)裝置；

所述的培養(yǎng)裝置包括培養(yǎng)罐(1)、培養(yǎng)罐熱電阻(T1)、載晶架(5)、載晶架交流電機(6)、培養(yǎng)罐電加熱器(2)、培養(yǎng)罐水循環(huán)泵(3)、培養(yǎng)罐夾套出水口(8)、培養(yǎng)罐夾套冷卻水進口(7)和培養(yǎng)罐電磁閥(9)；培養(yǎng)罐(1)外圍帶有夾套，夾套中裝有水，培養(yǎng)罐(1)內(nèi)部裝有生長溶液；培養(yǎng)罐電加熱器(2)設(shè)置于夾套中，用于加熱夾套中的水；培養(yǎng)罐水循環(huán)泵(3)設(shè)置于培養(yǎng)罐(1)外側(cè)，用于循環(huán)夾套中的水；載晶架(5)設(shè)置于培養(yǎng)罐(1)內(nèi)，用于放置正在生長的晶體(4)；載晶架交流電機(6)設(shè)置于培養(yǎng)罐(1)頂部，能夠帶動載晶架(5)正反旋轉(zhuǎn)；培養(yǎng)罐夾套冷卻水進口(7)設(shè)置于夾套底部；培養(yǎng)罐夾套出水口(8)設(shè)置于夾套上部；總的冷卻水入口(10)與培養(yǎng)罐夾套冷卻水進口(7)之間設(shè)置培養(yǎng)罐電磁閥(9)，培養(yǎng)罐電磁閥(9)用于控制進入夾套中的冷卻水；培養(yǎng)罐熱電阻(T1)設(shè)置于培養(yǎng)罐(1)上部，用于測量培養(yǎng)罐(1)中生長溶液的溫度；

所述的過熱過濾裝置包括過熱過濾箱(11)、過熱過濾箱熱電阻(T2)、過熱過濾箱三點式液位傳感器(L1)、過熱過濾箱電加熱器(12)、過熱過濾箱蛇形管(13)、過熱過濾箱生長溶液過濾器(16)、過熱過濾箱水循環(huán)泵(17)、過熱過濾箱的出水口(18)、過熱過濾箱的冷卻水進口(19)和過熱過濾箱電磁閥(20)；過熱過濾箱(11)中裝有水，過熱過濾箱熱電阻(T2)設(shè)置于過熱過濾箱(11)頂部，用于測量過熱過濾箱(11)中水的溫度；過熱過濾箱三點式液位傳感器(L1)設(shè)置于過熱過濾箱(11)的頂部，用于測量過熱過濾箱(11)中的水位；過熱過濾箱電加熱器(12)設(shè)置于過熱過濾箱(11)中，用于加熱過熱過濾箱(11)中的水；過熱過濾箱生長溶液過濾器(16)一端與過熱過濾箱蛇形管(13)相連，另一端與輸送管路C(37)相連；過熱過濾箱蛇形管(13)設(shè)置于過熱過濾箱(11)的外側(cè)，用于輸送生長溶液，并與過熱過濾箱(11)中的水進行熱交換；過熱過濾箱的出水口(18)設(shè)置于過熱過濾箱(11)的上部；過熱過濾箱的冷卻水進口(19)設(shè)置于過熱過濾箱(11)的下部，并通過過熱過濾箱電磁閥(20)與總的冷卻水入口(10)相連；過熱過濾箱水循環(huán)泵(17)用于循環(huán)過熱過濾箱(11)中的水；

所述的溶液配制裝置包括溶液配制罐(32)、溶液配制罐熱電阻(T4)、托盤(39)、電加熱器(31)、溶液配制罐水循環(huán)泵(33)、溶液配制罐夾套出水口(34)、溶液配制罐夾套冷卻水進口(35)和電磁閥(30)；溶液配制罐(32)內(nèi)部裝有生長溶液，外圍帶有夾套，夾套中裝有水；溶液配制罐熱電阻(T4)設(shè)置于溶液配制罐(32)上部，用于測量溶液配制罐中生長溶液的溫度；托盤(39)設(shè)置于溶液配制罐(32)內(nèi)，用于放置晶體原料；電加熱器(31)設(shè)置于溶液配制罐(32)的夾套中，用于加熱溶液配制罐(32)的夾套中的水；溶液配制罐水循環(huán)泵(33)設(shè)置于夾套外側(cè)，用于循環(huán)夾套中的水；溶液配制罐夾套出水口(34)設(shè)置于夾套上部；溶液配制罐夾套冷卻水進口(35)設(shè)置于夾套下部，并通過電磁閥(30)與總的冷卻水入口(10)相連；

所述的高飽和度平衡裝置包括高飽和度平衡箱(21)、高飽和度平衡箱熱電阻(T3)、高飽和度平衡箱三點式液位傳感器(L2)、高飽和度平衡箱電加熱器(22)、高飽和度平衡箱蛇形管(23)、高飽和度平衡箱生長溶液過濾器(25)、高飽和度平衡箱水循環(huán)泵(27)、高飽和度平衡箱的出水口(28)、高飽和度平衡箱的冷卻水進口(29)和高飽和度平衡箱電磁閥(26)；高飽和度平衡箱(21)中裝有水；高飽和度平衡箱熱電阻(T3)設(shè)置于高飽和度平衡箱(21)的頂部，用于測量高飽和度平衡箱(21)中水的溫度；高飽和度平衡箱三點式液位傳感器(L2)設(shè)置于高飽和度平衡箱頂部，用于測量高飽和度平衡箱(21)中的水位；高飽和度平衡箱電加熱器(22)設(shè)置于高飽和度平衡箱(21)中，用于加熱高飽和度平衡箱(21)中的水；高飽和度平衡箱生長溶液過濾器(25)的一端連接高飽和度平衡箱蛇形管(23)的一端，另一端連接輸送管路E(24)；高飽和度平衡箱水循環(huán)泵(27)設(shè)置于高飽和度平衡箱(21)外側(cè)，用于循環(huán)高飽和度平衡箱(21)中的水；高飽和度平衡箱的出水口(28)設(shè)置于高飽和度平衡箱(21)的上部，高飽和度平衡箱的冷卻水進口(29)設(shè)置于高飽和度平衡箱(21)的下部，并通過高飽和度平衡箱電磁閥(26)與總的冷卻水入口(10)相連；

所述的生長溶液循環(huán)裝置包括生長溶液輸送泵(15)、輸送管路A(36)、輸送管路B(14)、輸送管路C(37)、輸送管路D(38)和輸送管路E(24)；輸送管路A(36)的兩端分別連接培養(yǎng)罐(1)中的生長溶液和生長溶液輸送泵(15)的入口；輸送管路B(14)的兩端分別連接生長溶液輸送泵(15)的出口和過熱過濾箱蛇形管(13)的入口；輸送管路C(37)的兩端分別連接過熱過濾箱生長溶液過濾器(16)的出口和溶液配制罐(32)的入口；輸送管路D(38)的兩端分別連接溶液配制罐(32)中的生長溶液以及高飽和度平衡箱蛇形管(23)的入口；輸送管路E(24)的兩端分別連接高飽和度平衡箱生長溶液過濾器(25)的出口和培養(yǎng)罐(1)的生長溶液，形成閉環(huán)管路。