[發明專利]一種高導電高彈性鈀基合金、熱處理工藝及用途

有效

• 申請號: 202010886537.8
• 申請日: 2020-08-28
• 公開（公告）號: CN112063879B
• 公開（公告）日: 2022-02-18
• 發明（設計）人: 劉滿門;陳家林;裴洪營;崔浩;謝明;陽岸恒;王釗;王松;李愛坤;王塞北;胡潔瓊;楊有才;陳永泰;張吉明;陳松;方繼恒
• 申請（專利權）人: 昆明貴研新材料科技有限公司
• 主分類號: C22C5/04
• 分類號: C22C5/04;C22F1/14;H01B1/02
• 代理公司: 昆明今威專利商標代理有限公司 53115
• 代理人: 賽曉剛

1.一種高導電高彈性鈀基合金的熱處理工藝，包括配料、熔煉、澆鑄、軋制、退火、拉拔和中間退火的步驟，其特征在于，完成所述拉拔和中間退火步驟后，還需對制得的合金絲材進行時效固溶強化處理；

其中，所述配料步驟為：將純度超過99.99%的金屬原料按質量百分比為45～55wt.%的Pd、30～40wt.%的Cu、8～12.5wt.%的Ag、4.5wt.% 的Ru、0.5wt.%的La和0.5wt.%的Ga進行合金配料；

所述熔煉步驟為：配比好的合金配料采用真空高頻感應爐充入高純氬氣后升溫熔煉，其中，所述真空高頻感應爐真空度為10^-2Pa；

所述澆鑄步驟為：待合金配料完全熔化后，精煉5min，吸鑄到水冷銅模中獲得圓棒狀鑄錠，其中，冷卻水進水溫度為18℃，冷卻水流量為20L·min^-1；

所述軋制、退火、拉拔和中間退火步驟為：圓棒狀鑄錠經過均勻化處理后，水淬至室溫，進行軋制；軋制道次變形量為10%，總變形量為75%時進行退火；當棒材直徑至Φ8.0mm時，進行室溫拉拔，拉拔道次變形量為8%，拉拔總變形量達到60%進行中間退火，直至加工成Φ0.50mm的絲材；

所述時效固溶強化處理的固溶處理溫度為850～950℃，時效處理溫度為350～500℃，保溫時間為30～120min。

2.根據權利要求1所述的一種高導電高彈性鈀基合金的熱處理工藝，其特征在于，所述鈀基合金包括質量百分比為45～55wt.%的Pd、30～40wt.%的Cu、8～12.5wt.%的Ag、4.5wt.%的Ru、0.5 wt.%的La和0.5 wt.%的Ga。

3.根據權利要求1所述的一種高導電高彈性鈀基合金的熱處理工藝，其特征在于，所述時效固溶強化處理的固溶處理溫度為950℃，時效處理溫度為480℃。

4.根據權利要求1～3任一項所述的一種高導電高彈性鈀基合金的熱處理工藝，其特征在于，熱處理后鈀基合金的電導率超過18%IACS。

5.根據權利要求1～4任一項所述的一種高導電高彈性鈀基合金的熱處理工藝制備得到的高導電高彈性鈀基合金作為微電機電刷絲材料、電位器電刷絲或者半導體測試探針材料的用途，所述半導體測試探針為Cobra探針、懸臂式探針、垂直式探針或彈簧式探針。