[發明專利]一種LDI曝光鏡頭焦面調節方法在審
| 申請號： | 202010886110.8 | 申請日： | 2020-08-28 |
| 公開（公告）號： | CN111965783A | 公開（公告）日： | 2020-11-20 |
| 發明（設計）人： | 陳修濤 | 申請（專利權）人： | 合肥眾群光電科技有限公司 |
| 主分類號： | G02B7/36 | 分類號： | G02B7/36;G03F7/20 |
| 代理公司： | 合肥興東知識產權代理有限公司 34148 | 代理人： | 王偉 |
| 地址： | 230088 安徽省合肥市蜀*** | 國省代碼： | 安徽;34 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 ldi 曝光 鏡頭 調節 方法 | ||
一種LDI曝光鏡頭焦面調節方法，步驟為：S1、Z軸歸零，并將底部相機移動到曝光鏡頭的下方，曝光鏡頭向底部相機投柵格圖；S2、底部相機在Z軸上按照第一設定步長步進，在全行程內搜索，通過灰度圖像清晰度判斷方法獲得不同高度對應圖像的最大類間方差，比較所有的最大類間方差值，數值最高的最大類間方差對應圖像所在位置及周圍設定區域作為第一設定范圍，最佳焦面位于第一設定范圍內；S3、在步驟S2獲得的第一設定范圍內使用小于第一設定步長的第二設定步長步進，按照灰度圖像清晰度判斷方法獲得比第一設定范圍小的第二設定范圍；S4、在設定范圍內，所有最大類間方差尋找到最佳焦面。該發明提出的灰度圖像清晰度判斷方法提高了算法的區分度與精度。
技術領域
本發明涉及LDI技術領域，尤其涉及一種LDI曝光鏡頭焦面調節方法。
背景技術
目前多頭直寫式曝光機(LDI)在進行多個鏡頭焦面調整到一致時所使用的方法是通過每個鏡頭在不同焦面曝光高精度圖形資料，顯影刻蝕后再通過肉眼搜索最佳焦面的方式逐步完成調節的。這種方法調節焦面具有以下缺陷：1.效率非常低；2.消耗大量的干膜和pcb板材資源；3.搜索的焦面都是離散的，無法獲取精確值；肉眼判斷易受客觀因素的影響。
發明內容
為了避免LDI調試過程中反復曝光pcb板進行人工搜索焦面的操作，從而節省調試時間和成本，同時可以量化焦面調節效果，為此，本發明提供一種LDI曝光鏡頭焦面調節方法。
為實現上述目的，本發明采用以下技術方案：
一種LDI曝光鏡頭焦面調節方法，包括以下步驟：
S1、Z軸歸零，并將底部相機移動到曝光鏡頭的下方，曝光鏡頭向底部相機投柵格圖；
S2、底部相機在Z軸上按照第一設定步長步進，在全行程內搜索，通過灰度圖像清晰度判斷方法獲得不同高度對應圖像的最大類間方差，比較所有的最大類間方差值，數值最高的最大類間方差對應圖像所在位置及周圍設定區域作為第一設定范圍，最佳焦面位于第一設定范圍內；
所述灰度圖像清晰度判斷方法如下：
S21、將大小為M*N的圖像I分成背景和前景兩部分，背景和前景的分割閾值記作T，屬于前景的像素點數占整幅圖像的比例記為ω0，其平均灰度μ0；背景像素點數占整幅圖像的比例為ω1，其平均灰度為μ1；圖像的總平均灰度記為μ，類間方差記為g；
S22、將圖像中像素的灰度值小于閾值T的像素個數記作N0，像素灰度大于閾值T的像素個數記作N1,則有
N0+N1＝M*N (3)
ω0+ω1＝1 (4)
μ＝ω0*μ0+ω1*μ1 (5)
g＝ω0(μ0-μ)2+ω1(μ1-μ)2 (6)
將式(5)代入式(6),得到類間方差為:
g＝ω0ω1(μ0-μ1)2 (7)
S23、更改閾值T，獲得所有閾值T對應的類間方差，采用遍歷的方法得到的最大類間方差，將最大類間方差作為圖像清晰度評價標準；
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