[發(fā)明專利]一種激光加工裝置

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 202010886019.6
• 申請日: 2020-08-28
• 公開（公告）號: CN111940893A
• 公開（公告）日: 2020-11-17
• 發(fā)明（設計）人: 郎經(jīng)緯;董岱;楊軍;郝帥
• 申請（專利權(quán)）人: 蘇州科韻激光科技有限公司
• 主分類號: B23K26/06
• 分類號: B23K26/06;B23K26/352
• 代理公司: 北京品源專利代理有限公司 11332
• 代理人: 孟金喆

本發(fā)明公開了一種激光加工裝置，該加工裝置包括：激光器、能量衰減模塊以及減光濾鏡；能量衰減模塊和減光濾鏡位于激光器的出光側(cè)，且能量衰減模塊和減光濾鏡位于激光器與工件載臺之間的光路上；激光器發(fā)出的光束經(jīng)過能量衰減模塊和減光濾鏡，減光濾鏡用于減小激光器出射光束的能量。在本發(fā)明實施例中，通過在激光器出射的光路上設置能量衰減模塊和減光濾鏡，利用減光濾鏡改變激光器出射光束的能量，增大了能量衰減模塊的可調(diào)范圍，實現(xiàn)了對敏感工件的加工生產(chǎn)。

技術領域

本發(fā)明涉及激光加工領域，尤其涉及一種激光加工裝置。

背景技術

激光加工其加工原理主要是利用激光器產(chǎn)生的高能粒子對工件的表面進行熔化和氣化。由于激光光束具有很好的穩(wěn)定性和抗干擾性，并且對被加工工件的限制條件如加工的形狀、尺寸、環(huán)境較少，因此可對大部分金屬材料和非金屬材料進行高質(zhì)量、高精度加工。

現(xiàn)有技術中采用激光光束對工件表面進行加工時，一般通過在激光器出光側(cè)設置能量衰減器來調(diào)節(jié)激光出射的能量，當產(chǎn)品對激光加工的能量較敏感時，會使得激光衰減器的可調(diào)整范圍很小，不利于實現(xiàn)激光對工件的生產(chǎn)加工。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明實施例提供一種激光加工裝置，提高了能量衰減模塊的可調(diào)范圍，實現(xiàn)了對敏感加工工件的加工生產(chǎn)。

本發(fā)明實施例提供了一種激光加工裝置，包括：激光器、能量衰減模塊以及減光濾鏡；

所述能量衰減模塊和所述減光濾鏡位于所述激光器的出光側(cè)，且所述能量衰減模塊和所述減光濾鏡位于所述激光器與工件載臺之間的光路上；

所述激光器發(fā)出的光束經(jīng)過所述能量衰減模塊和所述減光濾鏡，所述減光濾鏡用于減小所述激光器出射光束的能量。

可選的，還包括反射鏡，所述反射鏡位于所述反射鏡與所述工件載臺之間的光路上。

可選的，還包括物鏡，所述激光器與工件載臺之間的光路上，且所述物鏡靠近所述工件載臺。

可選的，所述減光濾鏡包括反射式濾光鏡和\或吸收式濾光鏡。

可選的，所述減光濾鏡位于所述能量衰減模塊與所述工件載臺之間的光路上。

可選的，所述減光濾鏡包括反射式濾光鏡，所述激光器發(fā)出的光束經(jīng)過所述能量衰減模塊后通過所述反射式濾光鏡，所述反射式濾光鏡將光束分為反射光和透射光，所述反射光反射至光線吸收池，所述透射光透過所述反射式濾光鏡達到所述工件載臺。

可選的，所述減光濾鏡包括吸收式濾光鏡，所述激光器發(fā)出的光束經(jīng)過所述能量衰減模塊后通過所述吸收式濾光鏡，所述吸收式濾光鏡將光束分為吸收光和透射光，所述吸收光被所述吸收式濾光鏡吸收，所述透射光透過所述吸收式濾光鏡達到所述工件載臺。

可選的，所述能量衰減模塊包括旋轉(zhuǎn)電機、二分之一波片和偏光片，所述旋轉(zhuǎn)電機用于驅(qū)動所述二分之一波片繞其光軸方向旋轉(zhuǎn)，所述激光器出射的光束經(jīng)所述二分之一波片出射至所述偏光片，經(jīng)所述偏光片后出射。

可選的，還包括控制模塊，所述控制模塊與所述旋轉(zhuǎn)電機電連接，所述控制模塊用于控制所述旋轉(zhuǎn)電機旋轉(zhuǎn)。

本發(fā)明實施例提供的激光加工裝置，通過在激光加工裝置的加工光路上設置能量衰減模塊和減光濾鏡，且減光濾鏡位于能量衰減模塊和工件載臺之間的激光光路上，利用減光濾鏡對激光光束的能量進行衰減，進而使得能量衰減模塊對激光光束能量的可調(diào)節(jié)范圍增大，使得激光加工裝置對敏感工件進行加工時，保證能量衰減模塊的可調(diào)節(jié)范圍增大，實現(xiàn)對敏感工件的精確加工。

附圖說明

圖1是本發(fā)明實施例提供的現(xiàn)有技術中激光加工裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2是本發(fā)明實施例提供的一種激光加工裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；