[發明專利]溫壓一體傳感器的智能控制系統及溫壓一體傳感器

在審

• 申請號: 202010885832.1
• 申請日: 2020-08-28
• 公開（公告）號: CN112033462A
• 公開（公告）日: 2020-12-04
• 發明（設計）人: 楊露;井健;董珊珊;李偉;常文超;邱濤;喬智霞;徐中節
• 申請（專利權）人: 西安航天遠征流體控制股份有限公司
• 主分類號: G01D21/02
• 分類號: G01D21/02;G01L19/04
• 代理公司: 西安恒泰知識產權代理事務所 61216
• 代理人: 史玫

本發明公開了一種溫壓一體傳感器智能控制系統及溫壓一體傳感器。所公開的智能控制系統包括信號處理模塊,所述信號處理模塊用于對傳感器檢測到的溫度t下的壓力y進行修正，得到修正后的壓力P′(t,y)，所述P′(t,y)＝y+△p(y)，所述的溫壓一體傳感器為包括本發明的智能控制系統的溫壓一體傳感器。本發明的智能控制系統，極大的提高了溫度與壓力測量精度。本發明的智能控制系統具有自動溫度補償、壓力溫度的功能，適用溫度范圍寬，測量精度高特點。

技術領域

本發明涉及溫度壓力測量領域，具體涉及一種基于濺射薄膜溫壓一體傳感器的智能控制系統。

背景技術

溫壓一體傳感器(本文簡稱傳感器)是一種綜合了溫度傳感器和壓力傳感器雙重功能的傳感器，既可以測量溫度也可以測量壓力，例如，基于濺射薄膜溫壓一體傳感器。目前，中國市場上麥克、昆侖中大、昆侖海岸等公司，可測介質溫度-20℃～85℃，壓力精度為±0.3％FS；中國以外市場上有美國GEMS、德國TURCK、韓國Autonics等濺射薄膜壓力傳感器，可測介質溫度范圍-40℃～125℃，壓力精度可以達到±0.25％FS，溫度精度為±1.5℃。

由于在寬溫范圍內器件存在溫漂，一些傳感器的壓力與溫度測量精度低，測量介質溫度范圍不廣。

發明內容

針對現有技術的缺陷或不足，本發明提供了一種溫壓一體傳感器智能控制系統。

為此，本發明所提供的溫壓一體傳感器智能控制系統包括信號處理模塊,所述信號處理模塊用于對傳感器檢測到的溫度t下的壓力y進行修正，得到修正后的壓力P′(t,y)，所述P′(t,y)＝y+△p(y)，其中：

p_i(t)≤y≤p_i+1(t)，t_j≤t≤t_j+1，j＝1,2,…,J-1,i＝1,2,…,I-1；

△p_i,j＝p_i,j-p_i,0，t_j≤t≤t_j+1，j＝1,2,…,J-1；

t_j≤t≤t_j+1，j＝1,2,…,J-1；

p_i,j為預設或存儲在控制系統或信號處理模塊中的傳感器在溫度t_j、實際壓力P_i時傳感器的實測壓力,其中p_i,0為傳感器在標定溫度t₀、實際壓力P_i時的標定實測壓力，j＝0,1,2,…,J；J≥2；且t₁～t_J的溫度取值依次增大或依次減小，i＝1,2,…,I；I≥2；I個不同的壓力值選自傳感器的標定壓力范圍。

可選的，所述標定溫度t₀取自傳感器的可測溫度范圍內任一值或常溫。

可選的，所述信號處理模塊為可編程信號處理模塊。

進一步，還包括輸出模塊；所述信號處理模塊將溫度t和修正后的壓力P′(t,y)傳輸給輸出模塊；所述輸出模塊用于將測量溫度和修正后的壓力輸出。

進一步，所述系統還包括信號調理模塊，用于對傳感器檢測到的溫度t和壓力y信號進行放大和調理，之后傳輸給信號處理模塊。