[發明專利]氣體供應裝置及氣體供應裝置的密封墊更換方法

有效

• 申請號: 202010884740.1
• 申請日: 2020-08-28
• 公開（公告）號: CN113669622B
• 公開（公告）日: 2023-03-21
• 發明（設計）人: 樸用建;李祥煜;金容澈;徐徹教;金相鎮
• 申請（專利權）人: KC股份有限公司
• 主分類號: F17C13/00
• 分類號: F17C13/00;F17C13/04;F17C13/06
• 代理公司: 北京銘碩知識產權代理有限公司 11286
• 代理人: 劉燦強;姜長星

本發明的目的在于提供一種能夠防止密封墊粘在容器的閥連接器而導致密封墊雙重插入的情形的氣體供應裝置和密封墊更換方法。根據本發明的氣體供應裝置的密封墊更換方法，包括如下步驟：a)將密封墊置于配備在容器的閥連接器與連接在氣體需求處的連接配管連接器之間而結合所述閥連接器和所述連接配管連接器；b)解除所述閥連接器和連接配管連接器的結合；c)從所述閥連接器和連接配管連接器之間分離所述密封墊之后，移送所述密封墊，其中，在執行所述a)步驟至c)步驟的過程中，包括密封墊夾持器夾持所述密封墊，并且同時移送夾持了所述密封墊的密封墊夾持器和所述連接配管連接器的過程。

技術領域

本發明涉及氣體供應裝置和密封墊更換方法，更加詳細地，涉及能夠防止密封墊的脫離并且防止密封墊粘在容器的閥連接器的情形的氣體供應裝置和密封墊更換方法。

背景技術

通常，對于向利用氣體的裝置(尤其，向諸如半導體設備等進行精細操作的氣體需求處)供應氣體的裝置而言，要求適合各種目的的種類的氣體滿足預定的濃度和壓力等。

為了有效地提供這樣的氣體，以高壓狀態保管許多種類的氣體，尤其是，具有可燃性、毒性、腐蝕性等有害性質的氣體在與人類隔離的獨立空間被嚴格管理。

保管氣體的氣體儲存容器(以下，簡稱為“容器”)連接在氣體需求處，如果容器中保管的氣體被全部耗盡，則從氣體容器的閥分離連接在氣體需求處的連接配管之后更換容器，然后將包括連接在氣體需求處的連接配管連接器的連接器緊固部結合到更換后的容器的閥連接器而重新供應氣體。

在將所述容器的閥連接器和連接配管連接器結合的情形下，配備有用于維持兩者之間的氣密性的密封墊(gasket)。這種密封墊是利用樹脂材質構成的，因此在閥連接器和連接配管連接器長時間結合的狀態下為了更換容器而從閥連接器分離連接配管連接器便會發生密封墊仍然粘在閥連接器的情形。

如上所述，在密封墊粘在閥連接器的情形下，并沒有感測此的額外的機構，并且為了利用感測傳感器等確認密封墊是否粘結則需要額外的部件，因此具有裝置的制造費用增加的問題。

如果在用于閥連接器的密封墊仍然被粘結的狀態下，將新的密封墊結合到連接配管連接器之后結合連接配管連接器和閥連接器，則由于連接配管連接器與閥連接器之間以雙重插入方式插入有兩個密封墊(已有的密封墊和新的密封墊)，因此可能由于無法維持氣密性而發生氣體泄漏的事故。

并且，在把新的密封墊結合到連接配管連接器的狀態下移送連接配管連接器而將連接配管連接器結合到閥連接器，在移送連接配管連接器的期間內可能發生新的密封墊從連接配管連接器脫離的問題。

作為關于半導體設備的氣體供應裝置的現有技術，公開有韓國授權專利第10-0242982號。

發明內容

本發明是為了解決上述諸般問題而想出的，其目的在于提供一種能夠防止發生密封墊粘在容器的閥連接器而導致密封墊雙重插入的情形的氣體供應裝置和密封墊更換方法。

本發明的另一目的在于提供一種在為了更換密封墊而移送連接配管連接器時能夠防止發生密封墊從連接配管連接器脫離的情形的氣體供應裝置和密封墊更換方法。

用于達成所述目的的本發明的氣體供應裝置的密封墊更換方法，包括如下步驟：a)將密封墊置于配備在容器的閥連接器與連接在氣體需求處的連接配管連接器之間而結合所述閥連接器和所述連接配管連接器；b)解除所述閥連接器和連接配管連接器的結合；c)從所述閥連接器和連接配管連接器之間分離所述密封墊之后，移送所述密封墊，其中，在執行所述a)步驟至c)步驟的過程中，包括密封墊夾持器夾持所述密封墊，并且同時移送夾持了所述密封墊的密封墊夾持器和所述連接配管連接器的過程。

在所述b)步驟，所述密封墊夾持器可以在所述閥連接器和連接配管連接器的結合被解除的狀態下夾持所述密封墊。