[發明專利]連接器插塞以及包括連接器插塞的氣體供應裝置

有效

• 申請號: 202010883669.5
• 申請日: 2020-08-28
• 公開（公告）號: CN113685727B
• 公開（公告）日: 2023-04-14
• 發明（設計）人: 樸用建;李祥煜;金容澈;徐徹教;金相鎮
• 申請（專利權）人: KC股份有限公司
• 主分類號: F17C13/00
• 分類號: F17C13/00;F17C13/04;F17C13/06
• 代理公司: 北京銘碩知識產權代理有限公司 11286
• 代理人: 劉燦強;姜長星

本發明涉及連接器插塞以及包括連接器插塞的氣體供應裝置，更加詳細地，涉及能夠簡化容器更換過程而節省容器更換過程所需的時間和費用的連接器插塞以及包括其的氣體供應裝置。根據本發明的連接器插塞的特征在于，配備有：密封部件，結合在通過連接配管連接于氣體需求處的氣體供應裝置的連接配管連接器而將所述連接配管與外部阻斷，并且用于密封所述連接器插塞與所述連接配管連接器之間，并且根據本發明的氣體供應裝置包括所述插塞。

技術領域

本發明涉及連接器插塞以及包括連接器插塞的氣體供應裝置，更加詳細地，涉及能夠簡化容器更換過程而節省容器更換過程所需的時間和費用的連接器插塞以及包括其的氣體供應裝置。

背景技術

通常，對于向利用氣體的裝置(尤其，向諸如半導體設備等進行精細操作的氣體需求處)供應氣體的裝置而言，要求適合各種目的的種類的氣體滿足預定的濃度和壓力等。

為了有效地提供這樣的氣體，以高壓狀態保管許多種類的氣體，尤其是，具有可燃性、毒性、腐蝕性等有害性質的氣體在與人類隔離的獨立空間被嚴格管理。

氣體供應裝置構成為包括：連接配管連接器，與連接在氣體需求處的連接配管連接而與氣體儲存容器(以下，簡稱為“容器”)的閥連接器結合，所述氣體供應裝置連接容器與氣體需求處而向氣體需求處供應容器內部的氣體。

如果容器中保管的氣體被全部耗盡，則將所述連接配管連接器從連接的容器的閥連接器分離，之后更換容器，然后將所述連接配管連接器結合到更換后的容器的閥連接器而再次供應氣體。

然而，在從與所述連接配管連接器連接的容器的閥連接器分離到更換后的容器的閥連接器結合到所述連接配管連接器的更換容器所需時間期間，所述連接配管暴露在外部，從而可能有氣體從所述連接配管泄漏或者可能有異物進入所述連接配管。

為了防止這種現象，在所述容器更換所需時間期間，在將所述連接配管連接器結合到插塞而阻斷所述連接配管向外部暴露，并且在所述連接配管連接器與所述閥連接器之間以及所述連接配管連接器與所述插塞之間分別安裝了用于維持氣密性的密封墊(gasket)。

據此，如果與所述連接配管連接器連接的容器的閥連接器被分離，則回收安裝在所述連接配管連接器與所述閥連接器之間的密封墊，并安裝用于密封所述連接配管連接器與所述插塞之間的新的密封墊，然后進行所述連接配管連接器與所述插塞的結合。

并且，如果所述插塞和所述連接配管連接器被分離，則回收安裝在所述連接配管連接器與所述插塞之間的密封墊，安裝用于密封所述連接配管連接器與更換后的容器的閥連接器之間的新的密封墊，然后進行所述連接配管連接器與更換后的容器的閥連接器的結合。

然而，由于每次更換容器時需要大量時間進行密封墊的更換，因此開始尋找通過簡化密封墊更換過程而簡化容器更換過程，從而不僅可以節省所需時間，還可以節省容器更換過程中所需的自動化工序的電力的方法。

并且，由于在執行密封墊更換操作時，所述連接配管以暴露在外部的狀態被放置，因此開始尋找能夠縮短密封墊更換過程且縮短更換時間而最小化所述連接配管暴露在外部的時間的方法。

并且，開始尋找可以減少密封墊的消耗量而降低容器更換過程所需的費用并提高經濟性的方法。

作為關于半導體設備的氣體供應裝置的現有技術，公開有韓國授權專利第10-0242982號。

發明內容

本發明是為了解決上述諸般問題而想出的，更加詳細地，其目的在于提供一種能夠簡化容器更換過程而節省容器更換過程所需的時間和費用的連接器插塞以及包括該連接器插塞的氣體供應裝置。

用于達到所述目的的本發明的連接器插塞，構成為配備有：密封部件，結合在通過連接配管連接于氣體需求處的氣體供應裝置的連接配管連接器而將所述連接配管與外部阻斷，并且用于密封所述連接器插塞與所述連接配管連接器之間。