[發(fā)明專(zhuān)利]一種拾取裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202010880466.0
• 申請(qǐng)日: 2020-08-27
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN112007754B
• 公開(kāi)（公告）日: 2022-11-11
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 王守榮;孫田雨;蔣明華;夏康倫;王善鶴;王永來(lái)
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 合肥維信諾科技有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): B03C1/02
• 分類(lèi)號(hào): B03C1/02;C23C14/04;H01L51/56
• 代理公司: 上海晨皓知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 31260
• 代理人: 成麗杰

1.一種拾取裝置，其特征在于，包括：

磁化部、與磁化部連接的拾取器，所述磁化部用于磁化所述拾取器；

所述拾取器包括彎曲部，所述彎曲部用于吸附掩膜板表面的金屬顆粒物，以降低所述彎曲部的末端損傷所述掩膜板表面的概率；

所述彎曲部具有弧形狀結(jié)構(gòu)，利用所述弧形狀結(jié)構(gòu)突出的表面吸附所述金屬顆粒物。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的拾取裝置，其特征在于，所述磁化部包括：夾持機(jī)構(gòu)，所述夾持機(jī)構(gòu)一端用于夾持所述拾取器；

所述夾持機(jī)構(gòu)另一端固定有導(dǎo)電線圈，所述拾取器至少部分伸入所述導(dǎo)電線圈內(nèi)；

其中，所述夾持機(jī)構(gòu)包括容置部、與所述容置部連接的靠位旋鈕，以及位于所述靠位旋鈕遠(yuǎn)離所述容置部一側(cè)的多個(gè)靠位夾塊，所述容置部用于固定所述導(dǎo)電線圈，所述靠位旋鈕用于驅(qū)動(dòng)多個(gè)所述靠位夾塊聚攏以?shī)A緊所述拾取器。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的拾取裝置，其特征在于，所述拾取裝置還包括：與所述導(dǎo)電線圈連接的調(diào)節(jié)開(kāi)關(guān)；

所述調(diào)節(jié)開(kāi)關(guān)用于控制通入所述導(dǎo)電線圈的電流大小，以改變所述拾取器的磁性大小。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的拾取裝置，其特征在于，所述拾取裝置還包括：升降部、與所述升降部連接的轉(zhuǎn)向部，所述轉(zhuǎn)向部連接所述磁化部。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的拾取裝置，其特征在于，所述升降部包括：第一升降部和第二升降部；所述第二升降部活動(dòng)連接于所述第一升降部且所述第二升降部與所述轉(zhuǎn)向部固定連接；

第一升降部用于粗調(diào)所述轉(zhuǎn)向部的高度，所述第二升降部用于微調(diào)所述轉(zhuǎn)向部的高度。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的拾取裝置，其特征在于，在垂直于所述拾取器長(zhǎng)度方向上，所述彎曲部的截面形狀為圓形或橢圓形。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的拾取裝置，其特征在于，所述拾取器還包括：連接于所述磁化部和所述彎曲部之間的固定部，在垂直于所述拾取器長(zhǎng)度方向上，所述固定部的截面上任意兩點(diǎn)之間最寬的距離大于所述彎曲部的截面上任意兩點(diǎn)之間最寬的距離。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的拾取裝置，其特征在于，所述固定部的截面上任意兩點(diǎn)之間最寬的距離大于或等于0.8毫米，所述彎曲部的截面上任意兩點(diǎn)之間最寬的距離在0.5毫米～0.65毫米之間。

9.根據(jù)權(quán)利要求7所述的拾取裝置，其特征在于，所述固定部的長(zhǎng)度范圍在5厘米～6厘米，所述彎曲部的長(zhǎng)度小于或等于0.4厘米。

10.根據(jù)權(quán)利要求7所述的拾取裝置，其特征在于，所述彎曲部的末端在所述固定部的延伸線上，所述彎曲部和所述固定部在連接處所構(gòu)成的夾角大于120°。

11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的拾取裝置，其特征在于，所述彎曲部和所述固定部在連接處所構(gòu)成的夾角小于135°。

12.根據(jù)權(quán)利要求1所述的拾取裝置，其特征在于，所述拾取器的材料與所述掩膜板表面的材料相同。