[發明專利]高抗彎折性的ITO透明導電膜

在審

• 申請號: 202010880211.4
• 申請日: 2020-08-27
• 公開（公告）號: CN111916250A
• 公開（公告）日: 2020-11-10
• 發明（設計）人: 呂敬波;于佩強;陳超;胡業新;宋尚金
• 申請（專利權）人: 江蘇日久光電股份有限公司
• 主分類號: H01B5/14
• 分類號: H01B5/14
• 代理公司: 蘇州科仁專利代理事務所(特殊普通合伙) 32301
• 代理人: 郭楊

本發明公開了一種高抗彎折性的ITO透明導電膜，包括基材層，所述基材層的一面由內向外依次設有第一底涂層、第一加硬層和氧化銦錫層，其中所述第一底涂層為丙烯酸樹脂層、聚氨酯樹脂層或者有機硅樹脂層，厚度為30~200nm，折射率為1.55?1.67；所述第一加硬層為丙烯酸樹脂層，厚度為15~50nm，折射率為1.47~1.58，硬度為鉛筆硬度H以上；所述氧化銦錫層通過磁控濺射附著于第一加硬層表面，厚度為15~50nm，銦錫比為90：10~93:7，結晶后電阻25~170歐姆。本案通過在基材層第一底涂層和第一加硬層后，再濺射一層導電氧化銦錫層，這樣能增加整體ITO導電膜的彈性和韌性，使ITO導電膜具有更好的抗彎折性，加工階段經彎折后，表面也不會龜裂，從而確保ITO的面電阻穩定性。

技術領域

本發明涉及導電膜領域，尤其涉及一種高抗彎折性的ITO透明導電膜。

背景技術

近年來，隨著半導體制造技術及光伏技術突飛猛進的發展，諸如平面顯示器、觸控屏、窗膜、聚合物分散液晶、太陽能電池等技術迅速發展和完善，這些新技術都需要用到透明導電膜作為電極、受光面或者電磁脈沖屏蔽膜。以觸控屏為例，觸控屏中常用的幾種類型如電阻式觸控屏、表面電容式觸控屏、感應電容式觸控屏都需要利用透明導電膜作為電極材料。

透明導電膜公認的定義為在可見光范圍為透明的，并且具有較低的電阻率。目前常用的透明導電膜有ITO膜、AZO膜以及氧化鋁等。

在常規的透明導電膜里，ITO(氧化銦錫混合物)膜是最常用，也是性能最好的一種。ITO是一種氧化錫與三氧化二銦的混合物，不僅導電性和透明性優于其他諸如：AZO(摻鋁氧化鋅)、三氧化二鋁等材料，而且具有其他透明導電膜所不具備的高硬度與高化學穩定性，所以，目前在大規模生產中，大多選用ITO作為透明導電膜的材料。在膜層設計中，要得到更好的透過率，空氣、薄膜、基底的折射率必須進行良好的匹配，對單層單一折射率鍍膜而言，如果鍍膜折射率的平方等于空氣折射率乘以基底折射率，那么理論上鍍膜的反射率將會降至最低。

但現有的ITO膜抗彎折性差，在ITO膜后加工階段容易產生細裂紋，造成面電阻不穩定，隨著時間過程面電阻變高，觸摸屏產品靈敏度下降，甚至于完全不能觸摸。

發明內容

本發明目的是：提供一種高抗彎折性的ITO透明導電膜，其整體具有更好的抗彎折性，加工階段經彎折后，表面也不會龜裂，從而確保ITO的面電阻穩定性，并提高由其加工獲得的觸摸屏類產品的質量。

本發明的技術方案是這樣實現的：一種高抗彎折性的ITO透明導電膜，包括基材層，所述基材層的一面由內向外依次設有第一底涂層、第一加硬層和氧化銦錫層，

其中所述第一底涂層為丙烯酸樹脂層、聚氨酯樹脂層或者有機硅樹脂層，厚度為30～200nm，折射率為1.55-1.67；

所述第一加硬層為丙烯酸樹脂層，厚度為15～50nm，折射率為1.47～1.58，硬度為鉛筆硬度H以上；

所述氧化銦錫層通過磁控濺射附著于第一加硬層表面，厚度為15～50nm，銦錫比為90：10～93:7，結晶后電阻25～170歐姆。

在某些實施方式中，所述氧化銦錫層的厚度為18nm，銦錫比為93:7。

在某些實施方式中，所述基材層的另一面上涂布有第二底涂層，而在第二底涂層上涂布有第二加硬層，第二加硬層上則貼附有所述保護膜，

其中所述第二底涂層為丙烯酸樹脂層、聚氨酯樹脂層或者有機硅樹脂層，厚度為30～200nm，折射率為1.55～1.59；

所述第二加硬層為丙烯酸樹脂層，厚度為0.3～3μm，折射率1.47～1.54，硬度為鉛筆硬度1H～3H。

在某些實施方式中，所述第一加硬層厚度為30nm，折射率為1.48，硬度為鉛筆硬度HB-1H。