[發(fā)明專利]集成光學(xué)器件、集成投射模組和集成光學(xué)器件的制作工藝在審
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 202010880014.2 | 申請(qǐng)日： | 2020-08-27 |
| 公開（公告）號(hào)： | CN111856771A | 公開（公告）日： | 2020-10-30 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 蔡勝;孫理斌;汪杰;陳遠(yuǎn) | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | 寧波舜宇?yuàn)W來技術(shù)有限公司 |
| 主分類號(hào)： | G02B27/42 | 分類號(hào)： | G02B27/42;G02B27/09;G02B5/18;H01S5/183;G03F7/00 |
| 代理公司： | 北京康信知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限責(zé)任公司 11240 | 代理人： | 劉娜 |
| 地址： | 315455 浙江省寧*** | 國省代碼： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 集成 光學(xué) 器件 投射 模組 制作 工藝 | ||
1.一種集成光學(xué)器件，其特征在于，包括依次疊置的保護(hù)層(10)、第一膠層(20)、第二膠層(30)和固定層(40)，所述集成光學(xué)器件還包括：
衍射結(jié)構(gòu)(21)；
勻光結(jié)構(gòu)(31)；
其中，所述衍射結(jié)構(gòu)(21)設(shè)置在所述第一膠層(20)上，所述勻光結(jié)構(gòu)(31)設(shè)置在第二膠層(30)上，所述衍射結(jié)構(gòu)(21)和所述勻光結(jié)構(gòu)(31)向所述固定層(40)的投影不重合；或者所述衍射結(jié)構(gòu)(21)設(shè)置在所述第二膠層(30)上，所述勻光結(jié)構(gòu)(31)設(shè)置在第一膠層(20)上，所述衍射結(jié)構(gòu)(21)和所述勻光結(jié)構(gòu)(31)向所述固定層(40)的投影不重合。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的集成光學(xué)器件，其特征在于，所述固定層(40)包括：
連接膠層(41)；
基底層(42)，所述第二膠層(30)通過所述連接膠層(41)與所述基底層(42)連接。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的集成光學(xué)器件，其特征在于，
所述保護(hù)層(10)的材料包括聚對(duì)苯二甲酸乙二醇酯或玻璃中的一種；和/或
所述基底層(42)的材料包括聚對(duì)苯二甲酸乙二醇酯或玻璃中的一種；和/或
所述第一膠層(20)的折射率n1大于所述第二膠層(30)的折射率n2；和/或
所述第二膠層(30)的折射率n2小于所述連接膠層(41)的折射率n3；和/或
所述第一膠層(20)的厚度大于等于1微米且小于等于10微米；和/或
所述第二膠層(30)的厚度大于等于10微米且小于等于100微米；和/或
所述連接膠層(41)的厚度大于等于10微米且小于等于100微米。
4.根據(jù)權(quán)利要求1至3中任一項(xiàng)所述的集成光學(xué)器件，其特征在于，所述衍射結(jié)構(gòu)(21)是衍射光柵，
所述衍射光柵的線寬大于等于100納米且小于等于500納米；和/或
所述衍射光柵的深度大于等于500納米且小于等于1500納米。
5.根據(jù)權(quán)利要求1至3中任一項(xiàng)所述的集成光學(xué)器件，其特征在于，所述勻光結(jié)構(gòu)(31)設(shè)置在所述第二膠層(30)上，所述勻光結(jié)構(gòu)(31)包括多個(gè)微透鏡(311)，多個(gè)所述微透鏡(311)設(shè)置在所述第二膠層(30)靠近所述固定層(40)的一側(cè)上，且所述微透鏡(311)與所述固定層(40)連接，
所述微透鏡(311)的高度大于等于3微米且小于等于50微米；和/或
所述微透鏡(311)的直徑大于等于3微米且小于等于50微米。
6.一種集成投射模組，其特征在于，包括：
權(quán)利要求1至5中任一項(xiàng)所述的集成光學(xué)器件(50)；
激光結(jié)構(gòu)(70)，所述激光結(jié)構(gòu)(70)設(shè)置在所述集成光學(xué)器件(50)的固定層(40)遠(yuǎn)離所述集成光學(xué)器件(50)的保護(hù)層(10)的一側(cè)；
透鏡(60)，所述透鏡(60)設(shè)置在所述集成光學(xué)器件(50)與所述激光結(jié)構(gòu)(70)之間，且所述透鏡(60)與所述集成光學(xué)器件(50)的衍射結(jié)構(gòu)(21)向所述激光結(jié)構(gòu)(70)的投影至少部分重合；
投射結(jié)構(gòu)(80)，所述投射結(jié)構(gòu)(80)與所述激光結(jié)構(gòu)(70)電連接，所述投射結(jié)構(gòu)(80)用于向物體(90)發(fā)射光線和接收所述物體(90)的反射光線，所述集成投射模組測量所述集成投射模組與所述物體(90)之間的距離L，并將所述距離L反饋給所述激光結(jié)構(gòu)(70)，所述激光結(jié)構(gòu)(70)根據(jù)所述距離L的大小對(duì)所述集成光學(xué)器件(50)的勻光結(jié)構(gòu)(31)或所述衍射結(jié)構(gòu)(21)發(fā)射激光。
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