[發(fā)明專利]一種高精度晶圓表面缺陷檢測裝置及其檢測方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202010876766.1
• 申請日: 2020-08-27
• 公開（公告）號: CN111982931B
• 公開（公告）日: 2022-11-18
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 鄒偉金;徐武建;周波;蘇達(dá)順;付金寶
• 申請（專利權(quán)）人: 高視科技（蘇州）有限公司
• 主分類號: G01N21/95
• 分類號: G01N21/95;G01N21/956;G01N21/88;G01N21/63
• 代理公司: 惠州市超越知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 44349
• 代理人: 陳文福

1.一種高精度晶圓表面缺陷檢測裝置，其特征在于，包括：組合光源、成像裝置和計算機(jī)，所述組合光源包括點(diǎn)光源、環(huán)形光源和背光源，所述成像裝置的鏡頭安裝處設(shè)有高精度同軸鏡頭，所述同軸鏡頭內(nèi)設(shè)有分光鏡，所述同軸鏡頭一側(cè)開設(shè)有一垂直于其光軸的通光孔，所述點(diǎn)光源通過所述通光孔連接到所述同軸鏡頭上，所述環(huán)形光源設(shè)置在所述同軸鏡頭與晶圓之間，環(huán)形光源中心與同軸鏡頭中心一致，環(huán)形光源的光線以一定的角度均向內(nèi)斜射形成圓形光環(huán)，所述背光源設(shè)置在晶圓的背面，所述成像裝置連接有用于圖像分析并判定晶圓缺陷類型的計算機(jī)。

2.如權(quán)利要求1所述的一種高精度晶圓表面缺陷檢測裝置，其特征在于：所述點(diǎn)光源包括紅色點(diǎn)光源和藍(lán)色點(diǎn)光源，且該兩種光源可進(jìn)行相互切換點(diǎn)亮，所述環(huán)形光源包括紅色環(huán)光、藍(lán)色環(huán)光和紫外環(huán)光光源，且該三種光源可選擇性點(diǎn)亮一種，所述背光源為藍(lán)色背光源。

3.如權(quán)利要求1所述的一種高精度晶圓表面缺陷檢測裝置，其特征在于：所述成像裝置為高精度相機(jī)。

4.如權(quán)利要求1所述的一種高精度晶圓表面缺陷檢測裝置，其特征在于：所述成像裝置連接有計算機(jī)，所述計算機(jī)用于對所述成像裝置獲取的圖像進(jìn)行分析，同時判定晶圓表面的缺陷類型，并通過計算機(jī)顯示出來。

5.一種高精度晶圓表面缺陷檢測方法，其特征在于，包括以下步驟：

S1：提供帶有組合光源和成像裝置的高精度晶圓表面缺陷檢測裝置；

S2：將帶有晶圓的產(chǎn)品放置在高精度晶圓表面缺陷檢測裝置的檢測處，控制組合光源選擇性發(fā)光，使得光源照射在產(chǎn)品需要檢測的部位；

S3：控制成像裝置獲取產(chǎn)品在組合光源發(fā)出的光照下的檢測部位的圖像，計算機(jī)獲取圖像后分析、判斷；

S4：移動產(chǎn)品使所述組合光源發(fā)射的光照在產(chǎn)品另一個要檢測的部位，并重復(fù)上步操作。

6.如權(quán)利要求5所述的一種高精度晶圓表面缺陷檢測方法，其特征在于：步驟S1中，所述組合光源包括可進(jìn)行紅光、藍(lán)光相互切換的點(diǎn)光源，具有紅色環(huán)光、藍(lán)色環(huán)光和紫外環(huán)光且可選擇性亮一種光的環(huán)形光源，藍(lán)色的背光源。

7.如權(quán)利要求5所述的一種高精度晶圓表面缺陷檢測方法，其特征在于：步驟S2中，控制點(diǎn)亮所述藍(lán)色背光源，然后所述成像裝置獲取檢測部位的圖像，再熄滅光源。

8.如權(quán)利要求5所述的一種高精度晶圓表面缺陷檢測方法，其特征在于：步驟S2中，控制點(diǎn)亮所述點(diǎn)光源其中一種顏色的光并進(jìn)行切換，然后成像裝置分別獲取切換點(diǎn)光源下檢測部位的圖像，再熄滅光源。

9.如權(quán)利要求5所述的一種高精度晶圓表面缺陷檢測方法，其特征在于：步驟S2中，控制點(diǎn)亮所述環(huán)形光源中紅色或藍(lán)色環(huán)光并進(jìn)行切換，然后成像裝置分別獲取切換環(huán)形光源下檢測部位的圖像，再熄滅光源。

10.如權(quán)利要求5所述的一種高精度晶圓表面缺陷檢測方法，其特征在于：步驟S2中，控制點(diǎn)亮所述藍(lán)色背光源，同時控制點(diǎn)亮環(huán)形光源中紫外環(huán)光，然后成像裝置獲取藍(lán)色背光源配合紫外環(huán)形光源下檢測部位的圖像，再熄滅光源。