[發明專利]高耐熱正性光刻膠以及形成光刻膠圖案的方案

在審

• 申請號: 202010876444.7
• 申請日: 2020-08-27
• 公開（公告）號: CN112114497A
• 公開（公告）日: 2020-12-22
• 發明（設計）人: 陸水忠;戈士勇;何珂
• 申請（專利權）人: 江蘇中德電子材料科技有限公司
• 主分類號: G03F7/039
• 分類號: G03F7/039;G03F7/004
• 代理公司: 江陰義海知識產權代理事務所(普通合伙) 32247
• 代理人: 林友琴

1.一種高耐熱正性光刻膠，其特征在于：其組分及其重量百分數為：20-40％線性酚醛環氧樹脂、0.5-1.5％環氧樹脂的潛伏型固化劑、1-15％線性酚醛樹脂、3-25％重氮類光敏劑、20-65％溶劑、0-2％其他助劑，其中，所述環氧樹脂的潛伏型固化劑與線性酚醛環氧樹脂的反應固化溫度為100-120℃。

2.根據權利要求1所述的高耐熱正性光刻膠，其特征在于：所述潛伏型固化劑為雙氰胺。

3.根據權利要求1所述的高耐熱正性光刻膠，其特征在于：所述潛伏型固化劑為三氮化硼乙胺絡合物。

4.根據權利要求1至3任意一項所述的高耐熱正性光刻膠，其特征在于：所述線性酚醛樹脂為重均分子量大于2萬的線性酚醛樹脂。

5.根據權利要求4所述的高耐熱正性光刻膠，其特征在于：所述線性酚醛樹脂的重均分子量不超過3.5萬。

6.根據權利要求1所述的高耐熱正性光刻膠，其特征在于：所述添加劑包括粘結促進劑和表面活性劑，所述粘結促進劑的含量為0.2-1％，所述表面活性劑的含量為0.3-1％。

7.根據權利要求6所述的高耐熱正性光刻膠，其特征在于：所述粘結促進劑為三聚氰胺。

8.根據權利要求6所述的高耐熱正性光刻膠，其特征在于：所述表面活性劑為多苯環多羥基酚類。

9.根據權利要求1所述的高耐熱正性光刻膠，其特征在于：所述重氮類光敏劑為重氮萘醌類光敏劑；所述溶劑的沸點不超過100℃。

10.一種形成光刻膠圖案的方法，其特征在于，所述方法包括：

(1)在目標層上涂覆如權利要求1-9任意一項所述的高耐熱正性光刻膠以形成光刻膠層；

(2)利用掩膜將所述光刻膠層部分曝光；

(3)除去所述光刻膠層的曝光部分以形成光刻膠圖案；

(4)通過所述光刻膠圖案作為掩膜使所述目標層圖案化；

其中步驟(1)中，光刻膠涂覆在目標層之后，在80-95℃溫度范圍預烘烤以蒸發除去其中的溶劑，步驟(3)中，通過顯影液顯影后，先在100-120℃使潛伏型固化劑固化線性酚醛環氧樹脂，再在130-150℃進行烘堅膜以形成光刻膠圖案。