[發明專利]振動器件

有效

• 申請號: 202010875381.3
• 申請日: 2020-08-27
• 公開（公告）號: CN112448690B
• 公開（公告）日: 2023-06-27
• 發明（設計）人: 押尾政宏;山口啟一;小倉誠一郎;西澤龍太
• 申請（專利權）人: 精工愛普生株式會社
• 主分類號: H03H9/10
• 分類號: H03H9/10;H03H9/02
• 代理公司: 北京三友知識產權代理有限公司 11127
• 代理人: 鄧毅;黃綸偉

提供振動器件，該振動器件中的振動元件不易損壞。振動器件具有：振動元件，其具有振動基板和電極，該振動基板具有振動臂，該電極配置于振動基板；基體；支承基板，其具有固定于基體的基體固定部、支承振動元件的元件支承部和將基體固定部與元件支承部連接起來的梁部，該支承基板相對于基體支承振動元件；布線圖案，其配置于支承基板，與振動元件電連接；以及緩沖部件，其配置于支承基板的布線圖案上，硬度比支承基板低。此外，緩沖部件配置于支承基板的與振動元件相對的面側，在俯視支承基板時，該緩沖部件與振動臂重疊。

技術領域

本發明涉及振動器件。

背景技術

在專利文獻1中記載了振動器件，該振動器件具有：基座；振動元件；以及中繼基板，其設置成與振動元件重疊，將振動元件固定于基座。

專利文獻1：日本特開2018-159674號公報

在這樣的結構的振動器件中，中繼基板與振動元件設置成重疊，并且它們之間的間隙較小。因此，在振動元件的驅動臂、檢測臂由于來自外部的沖擊等而在其厚度方向上撓曲時，驅動臂、檢測臂容易與中繼基板接觸，驅動臂、檢測臂有可能由于該接觸而損壞。

發明內容

本應用例的振動器件的特征在于，具有：振動元件，其具有振動基板和電極，該振動基板具有振動臂，該電極配置于所述振動基板；基體；支承基板，其具有固定于所述基體的基體固定部、支承所述振動元件的元件支承部和將所述基體固定部與所述元件支承部連接起來的梁部，該支承基板相對于所述基體支承所述振動元件；布線圖案，其配置于所述支承基板，與所述振動元件電連接；以及緩沖部件，其配置在所述支承基板的所述布線圖案上，硬度比所述支承基板低，所述緩沖部件配置于所述支承基板的與所述振動元件相對的面側，在俯視所述支承基板時，所述緩沖部件與所述振動臂重疊。

在本應用例的振動器件中，優選的是，在俯視所述支承基板時，所述緩沖部件與所述振動臂的末端重疊。

在本應用例的振動器件中，優選的是，在俯視所述支承基板時，所述緩沖部件不與位于所述末端的角重疊。

在本應用例的振動器件中，優選的是，所述緩沖部件具有在俯視所述支承基板時與位于所述末端的所述振動臂的寬度方向上的一側的角重疊的第1部分、以及與位于另一側的角重疊的第2部分，所述第1部分與所述第2部分在所述寬度方向上分離。

在本應用例的振動器件中，優選的是，在俯視所述支承基板時，所述緩沖部件在從所述振動臂的末端起向基端側偏離的位置處與所述振動臂重疊。

在本應用例的振動器件中，優選的是，所述振動基板的構成材料為石英，所述支承基板的構成材料為石英。

在本應用例的振動器件中，優選的是，所述緩沖部件的構成材料為金屬。

在本應用例的振動器件中，優選的是，所述布線圖案具有與恒定電位連接的恒定電位布線，所述緩沖部件與所述恒定電位布線電連接。

在本應用例的振動器件中，優選的是，在設相互垂直的3個軸為A軸、B軸和C軸時，所述振動元件與所述支承基板配置成在沿著所述C軸的方向上重疊，

所述振動元件具有：

元件基部，其經由接合部件而固定于所述元件支承部；

作為所述振動臂的一對檢測臂，它們從所述元件基部起沿著所述B軸延伸；

一對連接臂，它們從所述元件基部起沿著所述A軸延伸；

作為所述振動臂的一對驅動臂，它們從一個所述連接臂的末端起沿著所述B軸延伸；以及

作為所述振動臂的一對驅動臂，它們從另一個所述連接臂的末端起沿著所述B軸延伸。

附圖說明

圖1是示出第1實施方式的振動器件的剖視圖。