[發明專利]一種擴散工藝中的通源操作方法、工藝設備

在審

• 申請號: 202010873205.6
• 申請日: 2020-08-26
• 公開（公告）號: CN112151362A
• 公開（公告）日: 2020-12-29
• 發明（設計）人: 曹凱悅;王旸;高飛
• 申請（專利權）人: 北京北方華創微電子裝備有限公司
• 主分類號: H01L21/22
• 分類號: H01L21/22;H01L21/228;H01L31/18;H01L21/67
• 代理公司: 北京潤澤恒知識產權代理有限公司 11319
• 代理人: 莎日娜

本申請實施例提供了擴散工藝中的通源操作方法、工藝設備，該方法包括：在滿足源壓補償條件時，獲取源瓶中的源液的當前液位；基于源液的當前液位和預設對應關系，確定本次執行通源操作所需的源壓，其中，預設對應關系為在固定的通源關聯參數下，使得每次通源操作攜帶的通源量相同時的液位和源壓的對應關系；基于所述本次通源操作所需的源壓和所述固定的通源關聯參數，執行本次通源操作。本申請實施例可以提高半導體器件例如晶硅太陽能電池的方阻的合格率，大幅度提高生產穩定性，同時降低人工成本，提高生產效率。

技術領域

本申請涉及半導體領域，具體涉及擴散工藝中的通源操作方法、工藝設備。

背景技術

晶硅太陽能電池制造的常規工藝流程主要包括切片、制絨、擴散、刻蝕、鍍膜、絲印、燒結、測試分選等工序。在晶硅太陽能電池生產工序中，擴散工序是核心工序，控制擴散工藝質量是提升電池質量和效率的關鍵。

衡量擴散工藝質量的重要指標就是方阻和均勻性。不同的方阻代表不同的擴散程度，其主要與摻雜時間、摻雜溫度、源流量有密切的關系。如何在均勻性較好的情況下自動調節方阻并保持工藝的一致性是目前研究的主要方向。方阻會隨著工藝環境的變化產生波動。減小工藝環境變化產生的影響是維持工藝一致性的充分條件。

在每一次擴散工藝過程中，均會執行通源操作。通源操作的通源量即小氮氣體攜帶的源液的源量，直接影響在一次擴散過程結束后一個批次的晶硅太陽能電池的方阻。

在擴散工藝流程中執行通源操作的通源量主要與在進行通源操作時采用的小氮氣體的流量、小氮氣體在源液中的行程、源瓶中的飽和蒸汽壓、源瓶中溫度等因素有關。

在小氮氣體的流量、源瓶中溫度等工藝參數一定的情況下，由于源液的液位的變化會導致小氮氣體在源液中的行程發生變化，會影響小氮攜帶的源液的源量，直接影響擴散工藝過程的結果。最終，使得不同批次的晶硅太陽能電池的方阻產生波動，即至少部分批次中的每一個批次的晶硅太陽能電池與其他批次的晶硅太陽能電池的方阻不一致，晶硅太陽能電池的方阻的合格率出現較大幅度的降低。

發明內容

為克服相關技術中存在的問題，本申請提供一種擴散工藝中的通源操作方法、工藝設備。

根據本申請實施例的第一方面，提供一種擴散工藝中的通源操作方法，包括：

在滿足源壓補償條件時，獲取源瓶中的源液的當前液位；

基于所述當前液位和預設對應關系，確定執行本次通源操作所需的源壓，其中，所述預設對應關系為在固定的通源關聯參數下，使得每次通源操作攜帶的通源量相同時的液位和源壓的對應關系；

基于所述本次通源操作所需的源壓和所述固定的通源關聯參數，執行所述本次通源操作。

根據本申請實施例的第二方面，提供一種工藝設備，包括：

獲取單元，被配置為在滿足源壓補償條件時，獲取源瓶中的源液的當前液位；

確定單元，被配置為基于所述當前液位和預設對應關系，確定本次執行通源操作所需的源壓，其中，所述預設對應關系為在固定的通源關聯參數下，使得每次通源操作攜帶的通源量相同時的液位和源壓的對應關系；

執行單元，被配置為基于所述本次通源操作所需的源壓和所述固定的通源關聯參數，執行所述本次通源操作。