[發明專利]一種電子工業潔凈廠房回風除塵裝置

在審

• 申請號: 202010871211.8
• 申請日: 2020-08-26
• 公開（公告）號: CN112648697A
• 公開（公告）日: 2021-04-13
• 發明（設計）人: 王振軍;于靜;王靜輝;賈世杰;李招儀;劉建華;孫素萍;李松濤;宗力軍;張楠;陳超;溫艾青
• 申請（專利權）人: 中電科工程建設有限公司
• 主分類號: F24F7/007
• 分類號: F24F7/007;F24F3/16;F24F13/14;F24F13/28
• 代理公司: 北京化育知識產權代理有限公司 11833
• 代理人: 尹均利

本發明公開了一種電子工業潔凈廠房回風除塵裝置，屬于電子工業潔凈廠房相關技術領域，包括底座、回風靜壓箱、第一回風除塵裝置、第二除塵濾芯和第二百葉，所述底座的上方安裝有箱體，箱體的內部下方設置為回風靜壓箱，箱體的內部上方設置為送風靜壓箱；所述回風靜壓箱的左右兩側分別設置有第一回風除塵裝置和第二回風除塵裝置；所述第一回風除塵裝置上安裝有第一除塵濾芯，第二回風除塵裝置上安裝有第二除塵濾芯；所述第一除塵濾芯上設置有第一百葉，第二除塵濾芯上設置有第二百葉。本發明通過設置的第一回風除塵裝置和第二回風除塵裝置的配合使用，能夠更好的控制潔凈廠房潔凈度，并且延長FFU風機過濾機組的使用壽命。

技術領域

本發明屬于電子工業潔凈廠房相關技術領域，具體是一種電子工業潔凈廠房回風除塵裝置。

背景技術

電子工業潔凈廠房生產環境的設計應根據生產工藝的要求控制微粒對產品質量有害的雜質，同時還應提出溫度、濕度、壓差、噪聲、震動、靜電防護、照度等參數要求。

為保證產品生產環境或其他用途的潔凈室所要求的空氣潔凈度，要采取多種綜合技術措施才能達到要求。這些綜合技術措施包括：應采用產生污染物少的生產工藝及設備，或采取必要的隔離和負壓措施防止生產工藝產生的污染物質向周圍擴散，采用產塵少、不易滋生微生物的室內裝修材料及工器具；減少人員及物料帶入室內的污染物質；維持生產環境相對于室外或空氣潔凈度等級要求低的鄰室有一定的正壓，防止室外或鄰室的空氣攜帶污染物質通過門窗或其他縫隙、孔洞侵人；加強潔凈室的管理，按規定進行清掃、滅菌等。

除采取上述各種技術措施之外，為使生產環境或其他用途的潔凈室室內環境控制在所要求的空氣潔凈度等級，重要的技術措施是需要送入足夠量的經過處理的清潔空氣，以替換或稀釋室內在正常工作時所產生的污染物質污染后的空氣。潔凈室的空氣凈化處理就是根據房間不同的潔凈度等級要求，采用不同方式送入經過處理的數量不等的清潔空氣，同時排走相應數量的攜帶有在室內所產生的污染物質沾污的臟空氣，靠這樣的動態平衡，使室內環境維持在所需的空氣潔凈度等級。

目前潔凈室對送入空氣的凈化方法，最重要和使用最廣泛的方式是空氣過濾法。送入潔凈室的清潔空氣，主要是靠在送風系統的各部位設置不同性能的空氣過濾器，用以除去空氣中的懸浮粒子和微生物。近年來，根據超大規模集成電路及其他一些電子工業生產的微細化和精密化要求，還需去除空氣中濃度極微的化學污染物或分子污染物。為此，在潔凈室的送風、回風系統應增設各種類型的化學過濾器、吸附過濾器、吸收裝置等。

目前回風靜壓箱內空氣是通過垂直正壓的壓差及循環風機的共同作用，由回風靜壓箱內運送到送風靜壓箱內，再通過在頂部設置FFU風機過濾機組等系統，把空氣污染物質過濾后，送入潔凈室內；如圖1所示，由于回風靜壓箱內的塵粒和微生物等物質易受到氣流擾動，使回風氣體受到污染，所以在通過FFU風機過濾機組時會增加過濾器工作壓力，而降低高效過濾器使用壽命，增加生產成本。而FFU風機過濾機組對回風過濾不夠時，塵粒和微生物等物質有可能會污染潔凈室內空氣，或是由于氣流作用回風靜壓箱內的塵粒和微生物等物質受到擾動而再次滯留在潔凈室內，以此循環降低潔凈室內空氣潔凈度，對潔凈工作環境產生不良的影響。

發明內容

本發明的目的在于提供一種電子工業潔凈廠房回風除塵裝置，以解決上述背景技術中提出的問題。

為實現上述目的，本發明提供如下技術方案：

一種電子工業潔凈廠房回風除塵裝置，包括底座、回風靜壓箱、第一回風除塵裝置、第二除塵濾芯和第二百葉，所述底座的上方安裝有箱體，箱體的內部下方設置為回風靜壓箱，箱體的內部上方設置為送風靜壓箱，回風靜壓箱和送風靜壓箱之間安裝有FFU風機過濾機組，FFU風機過濾機組的左右兩側均設置有循環風機；所述回風靜壓箱的左右兩側分別設置有第一回風除塵裝置和第二回風除塵裝置；所述第一回風除塵裝置上安裝有第一除塵濾芯，第二回風除塵裝置上安裝有第二除塵濾芯；所述第一除塵濾芯上設置有第一百葉，第二除塵濾芯上設置有第二百葉。