[發明專利]高溫高壓冷熱臺

在審

• 申請號: 202010867657.3
• 申請日: 2020-08-26
• 公開（公告）號: CN111855885A
• 公開（公告）日: 2020-10-30
• 發明（設計）人: 王麗麗;韓修剛;劉金偉
• 申請（專利權）人: 重慶渝微電子技術研究院有限公司
• 主分類號: G01N31/10
• 分類號: G01N31/10;G01N21/01;G01N21/65
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種高溫高壓冷熱臺，其特征在于，主要由臺體、臺蓋、蓋窗、o型環、陶瓷樣品架、陶瓷加熱坩堝以及熱電偶組成；所述陶瓷加熱坩堝位于臺體內部；所述熱電偶與陶瓷加熱坩堝底部接觸，用于測試溫度；所述陶瓷樣品架放置于陶瓷加熱坩堝內部；所述臺體壁內部有循環冷卻水通道；所述臺體壁外部有溫度控制器接口、循環冷卻水進出口和氣體進出氣口；所述臺體上端開口,且開口端設有蓋窗；所述臺體與蓋窗構成封閉體,蓋窗上端有用于固定蓋窗的臺蓋,臺體與臺蓋螺紋連接；所述臺蓋中部開有通孔,可以與反射光顯微鏡和光譜技術一起使用。

2.如權利要求1所述一種高溫高壓冷熱臺，其特征在于，所述陶瓷加熱坩堝為三層結構，外層和內層為陶瓷，中間層為鉑金絲電阻線圈，鉑金絲電阻線圈纏繞在內層的陶瓷上，通過對電阻線圈的電流控制，實現陶瓷加熱坩堝的加熱功能。

3.如權利要求1所述一種高溫高壓冷熱臺，其特征在于，所述陶瓷樣品架可拆卸，用于盛放樣品，該樣品架由陶瓷加熱坩堝加熱。

4.如權利要求1所述一種高溫高壓冷熱臺，其特征在于，所述控制熱電偶為K型熱電偶，用于實時測量溫度。

5.如權利要求1所述一種高溫高壓冷熱臺，其特征在于，所述蓋窗采用石英材料加工而成，具有很好的耐高溫性能和透光性能。

6.如權利要求1所述一種高溫高壓冷熱臺，其特征在于，所述溫度控制系統接口外接溫度控制器，控制高溫高壓冷熱臺以0.1～200°C/min的速率加熱。

7.如權利要求1所述一種高溫高壓冷熱臺，其特征在于，所述循環冷卻水進出口外接水循環泵，可以在加熱時對殼體進行降溫，避免殼體過熱。

8.如權利要求1所述一種高溫高壓冷熱臺，其特征在于，所述進出氣口均連接高壓閥，氣體通過高壓閥引入，然后在通過樣品之前由陶瓷樣品架加熱，進入樣品室與樣品反應，反應完畢后，沿著樣品室從上到下排到高壓出口閥，可連接到各種氣體分析設備。