[發(fā)明專利]一種基于AR技術(shù)的MOCVD設(shè)備維修輔助方法及系統(tǒng)

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 202010860359.1
• 申請日: 2020-08-25
• 公開（公告）號: CN111950506A
• 公開（公告）日: 2020-11-17
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 李健;羅鐵成;王鋼;裴艷麗
• 申請（專利權(quán)）人: 中山大學(xué)
• 主分類號: G06K9/00
• 分類號: G06K9/00;G06K9/62;G06N3/04;G06Q10/00;H04N7/18
• 代理公司: 深圳市創(chuàng)富知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 44367
• 代理人: 李思坪

本發(fā)明公開了一種基于AR技術(shù)的MOCVD設(shè)備維修輔助方法及系統(tǒng)，該方法包括：調(diào)用用戶端攝像頭獲取當(dāng)前視頻圖像并上傳，得到視頻信息；通過目標(biāo)識別算法對視頻信息進(jìn)行圖像模板識別，得到檢測目標(biāo)；將檢測目標(biāo)與資料庫內(nèi)的設(shè)備匹配，得到設(shè)備信息；將設(shè)備信息添加至視頻信息后進(jìn)行視頻處理，得到AR視頻；將AR視頻回傳至用戶端。該系統(tǒng)包括：用戶端和服務(wù)器端。通過使用本發(fā)明，可以極大的解決MOCVD設(shè)備修理困難的問題。本發(fā)明作為一種基于AR技術(shù)的MOCVD設(shè)備維修輔助方法及系統(tǒng)，可廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及半導(dǎo)體設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種基于AR技術(shù)的MOCVD設(shè)備維修輔助方法及系統(tǒng)。

背景技術(shù)

MOCVD(Metal-Organic ChemicalVaporDeposition)即金屬有機(jī)物化學(xué)氣相沉積，是制備化合物半導(dǎo)體薄膜的一項關(guān)鍵技術(shù)。MOCVD設(shè)備是研發(fā)世界先進(jìn)水平的S、C、X、K和Q等波段的氮化鎵大功率電子器件和高壓大功率固體開關(guān)器件、高端激光器件及效率可達(dá)40％以上的太陽電池等光電子器件不可或缺的。

但是MOCVD設(shè)備結(jié)構(gòu)、結(jié)構(gòu)精密、零件特色，非專業(yè)從事MOCVD設(shè)備研發(fā)的人員，很難完全掌握MOCVD設(shè)備的組裝、維護(hù)、修理等工作。目前，MOCVD設(shè)備的組裝、維護(hù)、修理等工作往往是由生產(chǎn)廠商派遣專業(yè)人員去進(jìn)行相關(guān)工作，但是其中涉及到的成本問題，例如：較遠(yuǎn)地區(qū)的維護(hù)工作，往往會給企業(yè)帶來額外的成本，使得企業(yè)售后代價大。同時，由于專業(yè)人員有限，維修工作往往需要預(yù)約一定的時間，以及跨地區(qū)的路程上花費的時間，也會耽誤用戶的使用。另外，在MCOVD設(shè)備的企業(yè)中，新員工對MOCVD設(shè)備結(jié)構(gòu)、零件、操作方式等操作，均需要企業(yè)進(jìn)行相關(guān)的培訓(xùn)。因此，需要一種可以方便、快捷，可以同時滿足客戶與企業(yè)需求的辦法來解決MOCVD專業(yè)設(shè)備的組裝、維護(hù)、修理，以及新員工的學(xué)習(xí)培訓(xùn)等需求。

發(fā)明內(nèi)容

為了解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明的目的是提供一種基于AR技術(shù)的MOCVD設(shè)備維修輔助方法及系統(tǒng)，使得用戶更直觀的對MOCVD設(shè)備結(jié)構(gòu)、零件、操作方式等進(jìn)行了解，有主語用戶維修設(shè)備。

本發(fā)明所采用的第一技術(shù)方案是：一種基于AR技術(shù)的MOCVD設(shè)備維修輔助方法，包括以下步驟：

調(diào)用用戶端攝像頭獲取當(dāng)前視頻圖像并上傳，得到視頻信息；

通過目標(biāo)識別算法對視頻信息進(jìn)行圖像模板識別，得到檢測目標(biāo)；

將檢測目標(biāo)與資料庫內(nèi)的設(shè)備匹配，得到設(shè)備信息；

將設(shè)備信息添加至視頻信息后進(jìn)行視頻處理，得到AR視頻；

將AR視頻回傳至用戶端。

進(jìn)一步，所述調(diào)用用戶端攝像頭獲取當(dāng)前視頻圖像并上傳，得到視頻信息這一步驟之前，還包括：

發(fā)送請求指令并確認(rèn)用戶端的IP地址。

進(jìn)一步，所述通過目標(biāo)識別算法對視頻信息進(jìn)行圖像模板識別，得到檢測目標(biāo)這一步驟，其具體包括：

根據(jù)視頻信息中的圖像和目標(biāo)識別算法生成特征圖；

將特征圖輸入到預(yù)訓(xùn)練的分類模型，得到檢測目標(biāo)。

進(jìn)一步，所述根據(jù)視頻信息中的圖像生成特征圖這一步驟，其具體包括：

對視頻信息進(jìn)行分幀，并將分幀后的圖像逐幀輸入卷積神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)；

通過窗口建議網(wǎng)絡(luò)生成建議窗口并映射到卷積神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)的最后一層，得到固定尺寸的特征圖。

進(jìn)一步，所述預(yù)訓(xùn)練的分類模型具體為通過探測分類概率和探測邊框回歸對分類概率和邊框回歸聯(lián)合訓(xùn)練得出的分類模型。

進(jìn)一步，所述設(shè)備信息包括零件規(guī)格、設(shè)備結(jié)構(gòu)和操作規(guī)范信息。