[發明專利]一種可以兼容不同形狀基板的濺射鍍膜設備

在審

• 申請號: 202010855343.1
• 申請日: 2020-08-24
• 公開（公告）號: CN111778488A
• 公開（公告）日: 2020-10-16
• 發明（設計）人: 馬淑瑩;余海春;戴曉東;陳韶華
• 申請（專利權）人: 光馳科技（上海）有限公司
• 主分類號: C23C14/34
• 分類號: C23C14/34;C23C14/50;C23C14/56
• 代理公司: 上海申蒙商標專利代理有限公司 31214
• 代理人: 周宇凡

1.一種可以兼容不同形狀基板的濺射鍍膜設備，包括真空鍍膜室、升降室和搬入室，所述搬入室通過所述升降室與所述真空鍍膜室相連通，其中所述升降室用于實現基板交互，所述基板交互是指將所述搬入室中裝載有待成膜產品的基板搬入至所述真空鍍膜室內進行成膜和將所述真空鍍膜室內裝載有已成膜產品的基板搬出至所述搬入室中，其特征在于：所述搬入室中設置有若干所述基板的置放位，所述若干置放位呈環形布置，若干所述置放位在所述搬入室的位置均可動并滿足于每個所述置放位均可逐一對應于所述升降室且通過所述升降室與所述真空鍍膜室進行基板交互的要求。

2.根據權利要求1所述的一種可以兼容不同形狀基板的濺射鍍膜設備，其特征在于：若干所述置放位設置在一環形軌道線上，所述環形軌道線連接有驅動裝置，所述驅動裝置連接驅動所述環形軌道線運動，以實現所述環形軌道線上的若干所述置放位相較于所述升降室的切換。

3.根據權利要求1或2所述的一種可以兼容不同形狀基板的濺射鍍膜設備，其特征在于：所述基板包括平面基板、曲面基板或異形基板，所述置放位滿足于安裝所述平面基板、所述曲面基板或所述異形基板的要求。

4.根據權利要求1所述的一種可以兼容不同形狀基板的濺射鍍膜設備，其特征在于：所述升降室內設置有夾爪及夾爪驅動機構，所述夾爪驅動機構連接驅動所述夾爪進行運動實現所述基板交互，所述夾爪可夾持所述基板。

5.根據權利要求4所述的一種可以兼容不同形狀基板的濺射鍍膜設備，其特征在于：所述基板的板體上、下兩側分別設置有用于實現基板交互的連接部。

6.根據權利要求1所述的一種可以兼容不同形狀基板的濺射鍍膜設備，其特征在于：所述真空鍍膜室內設置有成膜轉架，所述基板安裝在所述成膜轉架上并可在所述成膜轉架的帶動下在所述真空鍍膜室內公轉。

7.根據權利要求6所述的一種可以兼容不同形狀基板的濺射鍍膜設備，其特征在于：所述成膜轉架上可拆卸式的安裝有三級齒輪機構，所述三級齒輪機構連接驅動所述基板在所述成膜轉架上自轉。