[發明專利]溫度調節方法及裝置、蒸鍍設備

有效

• 申請號: 202010854729.0
• 申請日: 2020-08-24
• 公開（公告）號: CN111979517B
• 公開（公告）日: 2022-12-20
• 發明（設計）人: 白玉庭;董曉程;牛玉山;張志強;賈曉晨
• 申請（專利權）人: 京東方科技集團股份有限公司;鄂爾多斯市源盛光電有限責任公司
• 主分類號: C23C14/24
• 分類號: C23C14/24;C23C14/54
• 代理公司: 北京天昊聯合知識產權代理有限公司 11112
• 代理人: 姜春咸;馮建基

本公開提供一種溫度調節裝置，包括控制器、至少一個溫度調節板；所述控制器用于根據蒸發源已蒸鍍的膜層的厚度、和/或厚度均一性確定提供給所述溫度調節板的控制電壓；所述溫度調節板包括朝向所述蒸發源設置的反射面，所述反射面的反射率能夠隨所述控制電壓的變化而變化。本公開還提供一種溫度調節方法、一種蒸鍍設備。

技術領域

本公開實施例涉及蒸鍍技術領域，特別涉及一種溫度調節裝置、一種溫度調節方法、一種蒸鍍設備。

背景技術

有機發光二極管(OLED，Organic Light Emitting Diode)蒸鍍線采用線性蒸發源在高真空條件下移動掃描將有機材料通過噴嘴蒸鍍到低溫多晶硅(LTPS，Low TemperaturePoly-Silicon)上，通過高精度金屬掩模板(FMM，Fine Metal Mask)形成紅綠藍器件。在生產過程中，通過調整線性蒸發源兩側的溫度補償板以改變線性蒸發源各個區域的溫度梯度，從而使蒸發源的各有機腔室的均一性穩定在預定規格內。溫度補償板分為亮板和盲板，其中，亮板為具有高反射率的反射板，盲板為具有低反射率的反射板。

現有技術中，對線性蒸發源溫度梯度的調整效率低、效果差。

發明內容

本公開實施例提供一種溫度調節裝置、一種溫度調節方法、一種蒸鍍設備。

第一方面，本公開實施例提供一種溫度調節裝置，包括控制器、至少一個溫度調節板；

所述控制器用于根據蒸發源已蒸鍍的膜層的厚度、和/或厚度均一性確定提供給所述溫度調節板的控制電壓；

所述溫度調節板包括朝向所述蒸發源設置的反射面，所述反射面的反射率能夠隨所述控制電壓的變化而變化。

在一些實施例中，所述溫度調節板包括第一基板、第二基板和電致變色功能層，所述第一基板和所述第二基板相對設置，所述電致變色功能層設置在所述第一基板和所述第二基板之間，所述第一基板和所述第二基板中的一者用于朝向所述蒸發源設置，至少所述第一基板和所述第二基板中用于朝向所述蒸發源設置的一者為透明基板，所述反射面形成在所述第一基板和所述第二基板中朝向所述蒸發源的一者上，所述控制電壓為提供給所述第一基板和所述第二基板之間的電壓，所述電致變色功能層能夠隨所述第一基板和所述第二基板之間的電壓的變化而變化，以使得所述反射面的反射率發生變化。

在一些實施例中，所述第一基板包括第一透明導電層，所述第二基板包括第二透明導電層，所述電致變色功能層包括電致變色層、離子導體層、對電極；

所述第一透明導電層與所述第二透明導電層相對設置，所述對電極、所述離子導體層、所述電致變色層依次設置于所述第一透明導電層與所述第二透明導電層之間。

在一些實施例中，所述控制器中存儲有預定映射關系，所述預定映射關系用于表征亮板盲板組合與所述溫度調節板的控制電壓之間的對應關系，其中，所述亮板盲板組合對應的控制電壓為使所述反射面的反射率與所述亮板盲板組合的反射率相同的所述溫度調節板的控制電壓；

所述控制器用于根據所述映射關系和所述蒸發源已蒸鍍的膜層的厚度、和/或厚度均一性調節所述溫度調節板的控制電壓。

在一些實施例中，所述溫度調節裝置還包括：

直流電源，所述直流電源在所述控制器的控制下向所述溫度調節板提供控制電壓。

第二方面，本公開實施例提供一種溫度調節方法，包括：

根據蒸發源已蒸鍍的膜層的厚度、和/或厚度均一性確定溫度調節裝置中溫度調節板的控制電壓，以控制所述溫度調節板朝向所述蒸發源設置的反射面的反射率，進而調節所述蒸發源所在的有機腔室的溫度，其中，所述溫度調節裝置為本公開實施例第一方面所述的溫度調節裝置，所述反射面的反射率能夠隨所述控制電壓的變化而變化。