[發(fā)明專利]半導(dǎo)體晶圓密閉傳輸機械盒

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 202010853986.2
• 申請日: 2020-08-24
• 公開（公告）號: CN111799199A
• 公開（公告）日: 2020-10-20
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 葉建蓉
• 申請（專利權(quán)）人: 葉建蓉
• 主分類號: H01L21/673
• 分類號: H01L21/673;H01L21/677
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.半導(dǎo)體晶圓密閉傳輸機械盒，其特征在于：包括頂蓋、外圓環(huán)座、轉(zhuǎn)動環(huán)、傳動裝置、滑塊、齒條、齒輪、扇形殼體和彈性支撐架，所述扇形殼體為三個，三個扇形殼體在同一平面內(nèi)組合形成用于容納晶圓的圓形密閉容納腔，每一扇形殼體內(nèi)設(shè)置有所述彈性支撐架，所述彈性支撐架包括上限位環(huán)板、下限位環(huán)板以及固設(shè)在上限位環(huán)板和下限位環(huán)板之間的支撐柱，所述支撐柱沿晶圓的周向排列用于沿晶圓徑向?qū)A進(jìn)行支撐，所述彈性支撐架與扇形殼體之間設(shè)置有彈性支撐桿，所述扇形殼體的底面的半徑側(cè)邊上開設(shè)有半圓型缺口，相鄰兩個扇形殼體的半圓形缺口之間配合形成用于容納頂針的通孔；所述外圓環(huán)座固設(shè)在頂蓋的底部，所述外圓環(huán)座的內(nèi)側(cè)轉(zhuǎn)動配合有所述轉(zhuǎn)動環(huán)，所述轉(zhuǎn)動環(huán)的內(nèi)側(cè)開設(shè)有內(nèi)齒圈，所述內(nèi)齒圈內(nèi)嚙合有三組齒輪，每一組齒輪對應(yīng)有一所述滑塊，每一滑塊對應(yīng)連接至一所述扇形殼體，所述滑塊與所述外圓環(huán)座滑動連接，所述滑塊的一側(cè)設(shè)置有所述齒條，所述齒輪同時與所述齒條嚙合，所述傳動裝置驅(qū)動所述轉(zhuǎn)動環(huán)轉(zhuǎn)動，所述轉(zhuǎn)動環(huán)帶動齒輪轉(zhuǎn)動，所述齒輪帶動滑塊沿外圓環(huán)座的徑向移動，從而將扇形殼體內(nèi)的彈性支撐架沿晶圓的徑向?qū)⒕A彈性支撐壓緊。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體晶圓密閉傳輸機械盒，其特征在于：相鄰兩扇形殼體之間通過密封條密封，所述扇形殼體的側(cè)端面上設(shè)置有用于安裝所述密封條的環(huán)形溝槽。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的半導(dǎo)體晶圓密閉傳輸機械盒，其特征在于：所述半圓型缺口內(nèi)固設(shè)有半圓形橡膠膜。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體晶圓密閉傳輸機械盒，其特征在于：所述彈性支撐桿包括內(nèi)桿、外桿和彈簧，所述彈性支撐架與所述內(nèi)桿固定連接，所述外桿的一端套設(shè)在所述內(nèi)桿的外側(cè)，所述外桿的另一端固設(shè)在扇形殼體的內(nèi)壁，所述彈簧套設(shè)在所述內(nèi)桿外，所述彈簧的兩端分別與所述外桿和彈性支撐架抵接。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體晶圓密閉傳輸機械盒，其特征在于：所述傳動裝置包括銷軸、連桿以及連接座，所述銷軸的一端與所述轉(zhuǎn)動環(huán)固定連接，所述銷軸的另一端穿出所述頂蓋后與所述連桿的外端固定連接，所述連桿的內(nèi)端固定連接至所述連接座，所述連接座位于所述頂蓋的中心且與所述頂蓋轉(zhuǎn)動連接，所述連接座上開設(shè)有軸孔，所述頂蓋上開設(shè)有用于所述銷軸讓位的弧形槽。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體晶圓密閉傳輸機械盒，其特征在于：所述扇形殼體的底部還固設(shè)有測量標(biāo)桿，所述測量標(biāo)桿的軸線垂直與扇形殼體的底面，所述測量標(biāo)桿的下端與平臺抵接時，晶圓所在的高度與所述彈性支撐架所在高度相對應(yīng)。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體晶圓密閉傳輸機械盒，其特征在于：所述支撐柱采用剛性材料制成。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體晶圓密閉傳輸機械盒，其特征在于：所述頂蓋的底部還固設(shè)有內(nèi)圓環(huán)座，所述內(nèi)圓環(huán)座的直徑小于所述外圓環(huán)座的直徑，所述內(nèi)圓環(huán)座同時與所述滑塊滑動連接。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的半導(dǎo)體晶圓密閉傳輸機械盒，其特征在于：所述外圓環(huán)座和內(nèi)圓環(huán)座上均開設(shè)有燕尾槽，所述滑塊上設(shè)置有與所述燕尾槽相配合的燕尾部。