[發明專利]一種晶圓橫向抓取移動機構在審

申請號：	202010853900.6	申請日：	2020-08-24
公開（公告）號：	CN112038272A	公開（公告）日：	2020-12-04
發明（設計）人：	羅永勝	申請（專利權）人：	臺州市老林裝飾有限公司
主分類號：	H01L21/677	分類號：	H01L21/677;H01L21/683
代理公司：	藍天知識產權代理(浙江)有限公司 33229	代理人：	王衛兵
地址：	318050 浙江省***	國省代碼：	浙江;33
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摘要：
搜索關鍵詞：	一種橫向抓取移動機構
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【說明書】：

本發明公開一種晶圓橫向抓取移動機構，包括固定底板，所述固定底板的頂面中部固定有豎直支撐板，豎直支撐板的前壁面上固定有直線電機，直線電機的滑動塊上固定有連接塊，連接塊的底面上固定有橫向水平板，橫向水平板的頂面上固定有橫向無桿氣缸，橫向無桿氣缸的底部移動塊插套在橫向水平板的中部成型有的橫向通槽中，底部移動塊的底面伸出橫向通槽并固定有連接板，連接板上安裝有延伸連接板，延伸連接板的右端頂面固定有旋轉伺服電機。本發明可以安裝在晶圓的儲存放置處于加工臺處于同一直線上的設備中，其可以直接將儲存放置處的晶圓抓取移動至加工臺上，其抓取方便，效率高，而且制作成本低。

技術領域

本發明涉及半導體制作技術領域，更具體的說涉及一種晶圓橫向抓取移動機構。

背景技術

現有的晶圓在加工時其進行抓取一般采用抓取手吸附抓取，其一些加工步驟中，其需要將儲存放置的晶圓抓取后直接移動至對應一側的加工臺上，而對應的一側的加工臺與此儲存放置處均在同一直線的位置上，采用多軸機器人抓取放置，其反而操作麻煩，效率也并不高，成本高。

發明內容

本發明的目的就是針對現有技術之不足，而提供一種晶圓橫向抓取移動機構，它可以安裝在晶圓的儲存放置處于加工臺處于同一直線上的設備中，其可以直接將儲存放置處的晶圓抓取移動至加工臺上，其抓取方便，效率高，而且制作成本低。

本發明的技術解決措施如下：

一種晶圓橫向抓取移動機構，包括固定底板，所述固定底板的頂面中部固定有豎直支撐板，豎直支撐板的前壁面上固定有直線電機，直線電機的滑動塊上固定有連接塊，連接塊的底面上固定有橫向水平板，橫向水平板的頂面上固定有橫向無桿氣缸，橫向無桿氣缸的底部移動塊插套在橫向水平板的中部成型有的橫向通槽中，底部移動塊的底面伸出橫向通槽并固定有連接板，連接板上安裝有延伸連接板，延伸連接板的右端頂面固定有旋轉伺服電機，旋轉伺服電機的輸出軸穿過延伸連接板的底面并固定有下連接板，下連接板的底面固定有真空抓取手。

所述連接板的底面固定有導向塊，橫向水平板的底面的左部和右部均固定有豎直板，橫向導向桿的兩端固定在兩個豎直板上，橫向導向桿插套在導向塊的中部貫穿通孔中。

所述中部貫穿通孔的內側壁上固定有導向套，橫向導向桿插套在導向套中。

所述真空抓取手包括左連接塊和右抓取塊，左連接塊通過螺栓固定連接在下連接板的底面上，右抓取塊的左端上部和下部均成型有連接部，左連接塊的右端夾持在兩個連接部之間并通過螺栓固定連接在兩個連接部上。

所述右抓取塊的右端成型有兩個弧形吸附塊，弧形吸附塊的底面通接有多個吸盤。

所述橫向通槽的左右兩端壁面上均固定有彈性塊，彈性塊對著底部移動塊的側壁。

本發明的有益效果在于：其可以安裝在晶圓的儲存放置處于加工臺處于同一直線上的設備中，其可以直接將儲存放置處的晶圓抓取移動至加工臺上，其抓取方便，效率高，而且制作成本低。

附圖說明

圖1為本發明與晶圓儲存放置處之間的局部結構示意圖；

圖2為圖1的局部放大圖；

圖3為真空抓取手的局部俯視圖。

具體實施方式

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