[發明專利]一種微流控面板及液滴分離方法有效
| 申請號: | 202010849455.6 | 申請日: | 2020-08-21 |
| 公開(公告)號: | CN111822065B | 公開(公告)日: | 2022-08-23 |
| 發明(設計)人: | 呂俊杰;趙佶昕 | 申請(專利權)人: | 上海天馬微電子有限公司 |
| 主分類號: | B01L3/00 | 分類號: | B01L3/00 |
| 代理公司: | 北京允天律師事務所 11697 | 代理人: | 魏金霞 |
| 地址: | 201201 上海*** | 國省代碼: | 上海;31 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 微流控 面板 分離 方法 | ||
1.一種微流控面板,其特征在于,包括:
第一基板;
位于所述第一基板第一側的多個驅動電極;
覆蓋所述多個驅動電極的絕緣層;
位于所述絕緣層背離所述多個驅動電極一側第一區域的至少一個凸起;
覆蓋所述凸起和所述絕緣層的疏水層;
多個薄膜晶體管,所述薄膜晶體管與所述驅動電極一一對應,所述多個薄膜晶體管包括在第一方向上相鄰的第一薄膜晶體管組和第二薄膜晶體管組;
其中,位于所述疏水層表面的至少一個第一液滴在所述多個驅動電極形成的電場作用下移動至所述第一區域經過所述凸起時被分成至少兩個第二液滴;所述第一薄膜晶體管組對應的驅動電極和所述第二薄膜晶體管組對應的驅動電極之間的電壓差用于控制所述第一液滴沿所述第一方向移動,且所述第一薄膜晶體管組對應的驅動電極和所述第二薄膜晶體管組對應的驅動電極在第二預設平面上的投影至少部分不交疊,所述第二預設平面垂直于所述微流控面板表面,且與第二方向平行,所述第二方向與所述第一方向不同。
2.根據權利要求1所述的微流控面板,其特征在于,所述疏水層位于所述凸起背離所述絕緣層一側。
3.根據權利要求1所述的微流控面板,其特征在于,所述疏水層包括第一疏水層和第二疏水層;
其中,所述第一疏水層位于所述絕緣層與所述凸起之間,覆蓋所述絕緣層;所述第二疏水層位于所述凸起背離所述絕緣層一側,至少覆蓋所述凸起。
4.根據權利要求1所述的微流控面板,其特征在于,所述疏水層為特氟龍膜層。
5.根據權利要求1所述的微流控面板,所述第一液滴的數量為n個,所述第二液滴的數量為2n個。
6.根據權利要求1所述的微流控面板,其特征在于,還包括:
多條數據線和多條掃描線,所述多條數據線和所述多條掃描線交叉排布限定出多個子區域;
所述薄膜晶體管的柵極與所述掃描線電連接,源極與所述數據線電連接,漏極與所述驅動電極電連接,所述薄膜晶體管在所述掃描線輸出的信號的控制下,將所述數據線輸出的信號傳輸給其對應的驅動電極。
7.根據權利要求6所述的微流控面板,其特征在于,所述多個驅動電極包括沿第一方向排布的多個驅動電極組,每個驅動電極組包括沿第二方向排布的至少兩個驅動電極,所述第一方向和所述第二方向不同;
所述第一液滴在第一預設平面上的投影在所述第一方向上覆蓋N個驅動電極在所述第一預設平面上的投影,每個薄膜晶體管組包括N個薄膜晶體管;
其中,N為不小于1的正整數,所述第一預設平面平行于所述微流控面板表面。
8.根據權利要求7所述的微流控面板,其特征在于,所述第一液滴在所述第一預設平面上的投影在所述第二方向上覆蓋M個驅動電極在所述第一預設平面上的投影,所述多個薄膜晶體管包括在所述第二方向上相鄰的第一薄膜晶體管單元、第二薄膜晶體管單元和第三薄膜晶體管單元,每個薄膜晶體管單元包括M個薄膜晶體管,所述凸起在所述第一預設平面上的投影覆蓋所述第二薄膜晶體管單元對應的驅動電極在所述第一預設平面上的投影;
所述第一液滴移動至所述凸起所在位置時,所述第一薄膜晶體管單元對應的驅動電極和所述第二薄膜晶體管單元對應的驅動電極之間具有第一電壓差,所述第三薄膜晶體管單元對應的驅動電極和所述第二薄膜晶體管單元對應的驅動電極之間具有第二電壓差;
其中,M為不小于1的正整數,所述第二方向垂直于所述第一方向。
9.根據權利要求8所述的微流控面板,其特征在于,在所述第二方向上,所述凸起在所述第一預設平面上的投影與所述第一薄膜晶體管單元所對應的驅動電極所在區域在所述第一預設平面上的投影至少部分接觸,且與所述第三薄膜晶體管單元所對應的驅動電極所在區域在所述第一預設平面上的投影至少部分接觸。
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