[發明專利]多氮化鎵肖特基二極管串并聯結構的大功率微波整流電路

在審

• 申請號: 202010841129.0
• 申請日: 2020-08-20
• 公開（公告）號: CN111934566A
• 公開（公告）日: 2020-11-13
• 發明（設計）人: 張進成;黨魁;周弘;張濤;張葦杭;張燕妮;寧靜;郝躍
• 申請（專利權）人: 西安電子科技大學
• 主分類號: H02M7/06
• 分類號: H02M7/06;H01L29/872;H01L29/20
• 代理公司: 陜西電子工業專利中心 61205
• 代理人: 王品華

1.一種多氮化鎵肖特基二極管串并聯結構的大功率微波整流電路，自左向右依次由輸入端口(1)、匹配電路(2)、隔直電容(3)、輸入濾波器(4)、整流器(5)、輸出濾波器(6)以及負載(7)連接組成，其特征在于：

所述整流器(5)，采用多個氮化鎵肖特基二極管串并聯結構，且整體封裝在一個二極管管殼內，該整流器的陰極連接在輸入濾波器(4)與輸出濾波器(6)之間，該整流器的陽極接地。

2.根據權利要求1所述的電路，其特征在于，氮化鎵肖特基二極管自下而上包括SiC襯底、AlN成核層、GaN緩沖層、AlN插入層、AlGaN勢壘層、LPCVD SiN和SiO₂雙層鈍化層，該GaN緩沖層至雙層鈍化層中間設有陽極凹槽，凹槽側壁及凹槽邊緣上層設有陽極，陽極邊緣AlGaN勢壘層上設有陰極，陽極半徑為80-160微米，陰陽極間距為3-6微米。

3.根據權利要求1所述的電路，其特征在于，輸入端口(1)采用SMA母頭同軸連接器。

4.根據權利要求1所述的電路，其特征在于，匹配電路(2)采用開路枝節匹配結構。

5.根據權利要求1所述的電路，其特征在于，輸入濾波器(4)采用低通濾波器，用于抑制大于工作頻率的微波信號通過。

6.根據權利要求1所述的電路，其特征在于，輸出濾波器(6)采用直通濾波器，用于抑制大于等于工作頻率的高頻信號通過。

7.根據權利要求1所述的微波整流電路，其特征在于，匹配電路(2)、輸入濾波器(4)和輸出濾波器(6)印制在高頻電路板材上。

8.根據權利要求1所述的電路，其特征在于，輸入端口(1)、隔直電容(3)、整流器(5)及負載(7)焊接在高頻電路板上。