[發明專利]一種觸覺傳感及反饋基板及其制造方法設備

在審

• 申請號: 202010838315.9
• 申請日: 2020-08-19
• 公開（公告）號: CN111984121A
• 公開（公告）日: 2020-11-24
• 發明（設計）人: 張碩;梁魁;孫拓
• 申請（專利權）人: 京東方科技集團股份有限公司
• 主分類號: G06F3/01
• 分類號: G06F3/01;G06F3/044
• 代理公司: 北京金信知識產權代理有限公司 11225
• 代理人: 崔家源

1.一種觸覺傳感及反饋基板，其特征在于，包括：

電極層、柔性介質層和壓電材料層；

所述電極層包括第一電極層和第二電極層，第一電極層中的各個電極單元均按照預定陣列分布式布置，第二電極層中的各個電極單元的位置及類型均與第一電極層中各個電極單元一一對應設置，其中，所述電極單元的類型至少包括：傳感電極單元和反饋電極單元；

所述壓電材料層包括第一壓電材料層和第二壓電材料層，第一壓電材料層設置在第一電極層和柔性介質層的第一面之間，第二壓電材料層設置在第二電極層和柔性介質層的第二面之間。

2.如權利要求1所述的觸覺傳感及反饋基板，其特征在于，

所述傳感電極單元和所述反饋電極單元在所述預定陣列中依次相鄰設置。

3.如權利要求1所述的觸覺傳感及反饋基板，其特征在于，

所述柔性介質層上設置有多個貫穿所述柔性介質層的通孔結構，每個所述通孔結構均設置在一個所述反饋電極單元的對應位置，所述通孔結構的開孔表面積與所述反饋電極單元的表面積相同。

4.如權利要求1所述的觸覺傳感及反饋基板，其特征在于，所述電極層由外到內依次包括：

襯底層，在所述襯底層上按照陣列式分布設置的電極單元，在部分電極單元上設置的無機絕緣層，其中，所述設置有無機絕緣層的電極單元為傳感電極單元。

5.如權利要求4所述的觸覺傳感及反饋基板，其特征在于，所述襯底層的材料為柔性絕緣材料，所述電極單元的材料為透明導電材料，所述無機絕緣層的材料。

6.如權利要求4所述的觸覺傳感及反饋基板，其特征在于，

在所述第一電極層的所述襯底層和各個所述電極單元之間設置有第一導線，在所述第二電極層的所述襯底層和各個所述電極單元之間設置有第二導線，其中，所述第一導線和所述第二導線在同一水平面上的投影相互垂直。

7.如權利要求1至6中任一項所述的觸覺傳感及反饋基板，其特征在于，同一電極層中相鄰的各個電極單元均按照預定間隔布置。

8.如權利要求1至6中任一項所述的觸覺傳感及反饋基板，其特征在于，預定陣列至少包括以下之一：矩形陣列，圓周環形陣列。

9.一種觸覺傳感及反饋基板的制造方法，用于制造權利要求1至8中任一項所述的觸覺傳感及反饋基板，其特征在于，包括：

將兩層壓電材料薄膜分別放置在柔性介質層的第一面和第二面，將一個電極層和另一個電極層分別與每層壓電材料薄膜接觸，通過膠壓合方式進行機械壓合，以生成觸覺傳感及反饋基板。

10.如權利要求9所述的制造方法，其特征在于，還包括：

用噴涂的方式在玻璃基底上噴涂一層液態襯底材料，固化已噴涂的所述液態襯底材料；

在已固化的襯底層上濺射一層電極材料，并進行圖案化，通過曝光刻蝕方式得到各個電極單元；

通過CVD工藝在具有各個電極單元的襯底層上生成一層無機絕緣層，并進行圖案化，通過曝光刻蝕方式刻蝕掉部分電極單元上的無機絕緣層，以形成所述電極層。