[發(fā)明專利]分段式掩膜片、掩膜版、掩膜版組件及其制作方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202010837092.4
• 申請日: 2020-08-19
• 公開（公告）號: CN111996489B
• 公開（公告）日: 2022-01-07
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 錢超;楊柯
• 申請（專利權(quán)）人: 南京高光半導(dǎo)體材料有限公司
• 主分類號: C23C14/04
• 分類號: C23C14/04;C23C14/24;C23C4/12;C09J4/06;C09J11/06;C09J11/08
• 代理公司: 南京中律知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 32341
• 代理人: 沈振濤

1.一種OLED器件蒸鍍用掩膜版組件，其特征在于，包括掩膜版框架、遮擋條、支撐用掩膜版、高精密掩膜版；

所述掩膜版框架內(nèi)側(cè)面背離中心方向，間隔地設(shè)置有多組開口槽，開口槽的端面設(shè)置為兩層臺階狀的連接槽；

所述遮擋條，設(shè)置為規(guī)則形狀，可拆卸地將端部外側(cè)面安裝在一臺階的連接槽位置；

所述支撐用掩膜版，可拆卸地將端部外側(cè)面安裝在另一臺階的連接槽位置，為采用多組分段式掩膜片，通過相鄰分段式掩膜片對應(yīng)的卡接槽口與突起配合的可拆卸緊密排布組成的結(jié)構(gòu)；

所述高精密掩膜版，通過可拆卸方式固定安裝在支撐用掩膜版上方；

所述分段式掩膜片為網(wǎng)格狀結(jié)構(gòu)，包括外部的框體、內(nèi)部的孔體、連接部、卡接槽口、突起；所述框體內(nèi)部通過多組連接部間隔，間隔位置為內(nèi)部的孔體；至少獨立地設(shè)置有一組卡接槽口、一組突起設(shè)置在框體的任意兩個側(cè)面；所述卡接槽口和突起結(jié)構(gòu)相匹配。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的OLED器件蒸鍍用掩膜版組件，其特征在于，所述分段式掩膜片厚度在30-200μm，采用金屬蝕刻方式制作，表面設(shè)置厚度1-15μm的納米涂層。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的OLED器件蒸鍍用掩膜版組件，其特征在于，所述納米涂層，是通過靜電噴涂方法將粉末熔融后噴涂在分段式掩膜片表面形成的，所述粉末為直徑為1~200nm的Si₃N₄、直徑為1~200nm的MoSi₂、質(zhì)量百分比（2~3）：（0.1~0.5）的直徑為1~200nmSi₃N₄和直徑為1~200nmMoSi₂中任一種。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的OLED器件蒸鍍用掩膜版組件，其特征在于，所述支撐用掩膜版的表面設(shè)置為平面或連續(xù)的曲面。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的OLED器件蒸鍍用掩膜版組件，其特征在于，還包括夾持部，設(shè)置多組，間隔地固定安裝在掩膜版框架開口槽的兩側(cè)。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的OLED器件蒸鍍用掩膜版組件，其特征在于，所述高精密掩膜版設(shè)置有掩膜圖案，所述掩膜圖案與支撐用掩膜版上孔體一一對應(yīng)，對應(yīng)的尺寸比例為1.01~1.2:1。

7.一種權(quán)利要求1-6任一所述的OLED器件蒸鍍用掩膜版組件的制作方法，其特征在于，包括以下步驟：

（1）對掩膜版框架進(jìn)行清洗，將清洗溶液噴灑到掩膜版框架表面，除去掩膜版框架表面油污；

（2）將遮擋條端部可拆卸地固定安裝在掩膜版框架開口槽一臺階的連接槽位置；

（3）將分段式掩膜片通過卡槽和突起組合匹配，組合為平面或曲面的支撐用掩膜版，再將支撐用掩膜版端部可拆卸地固定安裝在掩膜版框架開口槽另一臺階的連接槽位置；

（4）最后將高精密掩膜版通過可拆卸方式固定安裝在支撐用掩膜版上。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的OLED器件蒸鍍用掩膜版組件的制作方法，其特征在于，其中可拆卸地固定安裝采用易剝離粘接劑，其中粘結(jié)劑的組成份數(shù)為碳酸乙烯酯5-10份、聚偏二氟乙烯40-85份，丁苯橡膠1-8份，羧甲基纖維素鈉2-10份、甲醛1-5份、聚乙烯吡咯烷酮1-2份。