[發(fā)明專(zhuān)利]5G小型基站射頻聲波濾波器

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202010834589.0
• 申請(qǐng)日: 2020-08-19
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN112019184A
• 公開(kāi)（公告）日: 2020-12-01
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 高安明;劉偉;姜偉
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 合肥先微企業(yè)管理咨詢合伙企業(yè)（有限合伙）;合肥爾微企業(yè)管理咨詢合伙企業(yè)（有限合伙）
• 主分類(lèi)號(hào): H03H9/02
• 分類(lèi)號(hào): H03H9/02;H03H9/17
• 代理公司: 上海段和段律師事務(wù)所 31334
• 代理人: 李佳俊;郭國(guó)中

1.一種5G小型基站射頻聲波濾波器，其特征在于，包括：諧振器襯底(1)、諧振器壓電層(5)、諧振器上電極以及反射構(gòu)件；

所述諧振器襯底(1)設(shè)置于5G小型基站射頻聲波濾波器的底部；

所述諧振器襯底(1)的電阻大于設(shè)定閾值；

所述諧振器壓電層(5)采用壓電薄膜材料；

所述諧振器上電極設(shè)置于5G小型基站射頻聲波濾波器的上部；

所述反射構(gòu)件設(shè)置于5G小型基站射頻聲波濾波器的中部；

所述諧振器壓電層(5)設(shè)置于5G小型基站射頻聲波濾波器的上部。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的5G小型基站射頻聲波濾波器，其特征在于，還包括：犧牲層(2)、保護(hù)層(3)、諧振器平板底電極(4)；

所述反射構(gòu)件采用空氣反射腔(7)；

所述犧牲層(2)形成于諧振器襯底(1)之上；所述犧牲層(2)的厚度與空氣反射腔(7)的厚度相等；

所述諧振器襯底(1)采用以下任意一種：

-藍(lán)寶石襯底；

-碳化硅襯底；

-單晶硅襯底；

-高阻硅襯底；

所述犧牲層(2)采用以下任意一種：

-用濕法刻蝕除去的材料；

-用干法刻蝕除去的材料；

所述保護(hù)層(3)形成于犧牲層(2)之中。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的5G小型基站射頻聲波濾波器，其特征在于，所述諧振器平板底電極(4)采用平板結(jié)構(gòu)；

所述諧振器平板底電極(4)和諧振器平板上電極(6)之間形成激發(fā)電場(chǎng)；

所述激發(fā)電場(chǎng)能夠在諧振器壓電層(5)激發(fā)出聲波；

所述諧振器平板底電極(4)采用以下任一種連接方式：

-接地；

-接電

所述諧振器平板底電極(4)采用金屬薄膜；

所述諧振器平板底電極(4)采用以下任一種：

-鉬薄膜；

-釕薄膜；

-鉑金薄膜；

所述諧振器平板底電極(4)的厚度小于設(shè)定閾值；

所述諧振器壓電層(5)采用以下任一種：

-鈮酸鋰；

-鉭酸鋰；

-氮化鋁；

-摻雜氮化鋁；

-鈦酸鍶鋇。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的5G小型基站射頻聲波濾波器，其特征在于，所述諧振器上電極采用諧振器平板上電極(6)。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的5G小型基站射頻聲波濾波器，其特征在于，

諧振器平板上電極(6)采用平板結(jié)構(gòu)；

所述諧振器平板上電極(6)采用以下任意一種連接方式：

-接地；

-接電；

所述諧振器平板上電極(6)通常需和底底電極4之間交叉接電或接地以形成電場(chǎng)；

所述諧振器平板上電極(6)采用金屬薄膜電極；

所述諧振器平板上電極(6)采用以下任一種：

-鉬電極；

-釕電極；

-鉑金電極；

-鋁電極；

-金電極。

6.根據(jù)權(quán)利要求3所述的5G小型基站射頻聲波濾波器，其特征在于，所述諧振器上電極采用：諧振器交叉上電極(8)；

所述諧振器交叉上電極(8)采用以下任意一種連接方式：

-接地；

-接電；

-交叉電極輪流接電和接地。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的5G小型基站射頻聲波濾波器，其特征在于，還包括：諧振器平板底電極(4)；

所述反射構(gòu)件采用鏡面反射器(11)；

所述諧振器上電極采用諧振器平板上電極(6)；

所述鏡面反射器(11)包括：一個(gè)或者多個(gè)低阻抗反射層(9)；

所述鏡面反射器(11)包括：一個(gè)或者多個(gè)高阻抗反射層(10)；

所述多個(gè)低阻抗反射層(9)與多個(gè)高阻抗反射層(10)形成鏡面反射器(11)。