[發明專利]一種搬運晶圓盒貨架的轉運設備

有效

• 申請號: 202010832077.0
• 申請日: 2020-08-18
• 公開（公告）號: CN111908114B
• 公開（公告）日: 2022-07-29
• 發明（設計）人: 吳功;顧俊;李壯;姚夢
• 申請（專利權）人: 上海大族富創得科技有限公司
• 主分類號: B65G47/90
• 分類號: B65G47/90;B65G47/82;B65G35/00
• 代理公司: 上海光華專利事務所(普通合伙) 31219
• 代理人: 林凡燕

1.一種搬運晶圓盒貨架的轉運設備，其特征在于，所述轉運設備包括：

運輸設備，

搬運設備，設置于所述運輸設備上，用于搬運放置有晶圓盒的貨架，所述搬運設備包含，

夾持機構，內設抓取機構和罩設在所述抓取機構外部的罩體，所述抓取機構的夾爪設備伸出所述罩體外并用于抓取所述貨架，所述夾爪的伸出部分相對于另一所述夾爪設置一楔形塊，所述楔形塊和所述夾爪的伸出部分形成V形槽，以形成V形夾爪；在所述V形槽內遠離所述罩體側的側壁上鋪設有輥輪；

送出機構，置于所述夾持機構底部，所述送出機構帶動所述夾持機構沿第一方向運動，將所述貨架推出或拉入轉運設備，且檢測元件設置在所述夾持機構上；所述送出機構包括與所述夾持機構相連的推板、置于所述推板底部并在其輸出軸上套設第一齒輪的第一電機、以及與所述推板相連且與所述第一齒輪嚙合的第一齒條，所述第一齒條沿所述第一方向鋪設；

舉升機構，分別設置在所述送出機構的兩側，用于頂升所述貨架，所述舉升機構包括頂升機構，所述頂升機構的頂升平臺由驅動設備驅動并推動所述抓取機構沿第二方向升降，所述第二方向與所述第一方向垂直設置；

且允許所述送出機構帶動所述夾持機構的整體動作，在所述第一方向上移動，在所述送出機構的所述推板被推出時，利用所述檢測元件來檢測所述貨架的背面，以此來實現抽取所述貨架之前運輸設備停放的偏差量的第一次補償；

當所述運輸設備出現定位偏差時，所述貨架的固定塊被夾取時，依據兩所述夾爪的所述V形槽的形狀使得所述固定塊的四個方向被限定，同時，夾取過程中所述固定塊為與所述夾爪相應會出現所述貨架位置微調，以彌補所述運輸設備的定位誤差，完成對所述運輸設備偏差量做第二次誤差補償。

2.根據權利要求1所述的搬運晶圓盒貨架的轉運設備，其特征在于：所述驅動設備包括第二電機和第二齒條，所述第二齒條沿所述第二方向鋪設于所述頂升平臺下方的底部桿件，所述第二電機的輸出軸上套設一與所述第二齒條相嚙合的第二齒輪，所述底部桿件與置于所述運輸設備的安裝板滑動連接。

3.根據權利要求1所述的搬運晶圓盒貨架的轉運設備，其特征在于：所述頂升平臺的頂面安裝有多個滾珠，所述滾珠在推出或拉入所述貨架時與所述貨架底部滾動接觸。

4.根據權利要求1所述的搬運晶圓盒貨架的轉運設備，其特征在于：在所述推板或所述罩體上設有用于檢測所述貨架的檢測面的檢測元件。

5.根據權利要求1所述的搬運晶圓盒貨架的轉運設備，其特征在于：所述抓取機構包括與所述罩體滑動連接的過渡板，所述夾爪設備安裝于所述過渡板，所述過渡板還設有第一連桿，所述第一連桿連接伸出所述罩體的第二連桿，伸出所述罩體的所述第二連桿的軸端置于同側的所述頂升平臺上方。

6.根據權利要求5所述的搬運晶圓盒貨架的轉運設備，其特征在于：所述夾爪設備包括第三電機、雙螺紋絲杠和套設于所述雙螺紋絲杠并螺紋連接的兩夾爪，所述夾爪從所述罩體上開設的通孔向外伸出，所述第三電機通過所述雙螺紋桿旋轉控制兩所述夾爪相對運動。

7.根據權利要求6所述的搬運晶圓盒貨架的轉運設備，其特征在于：在所述過渡板上還設置有與所述螺紋絲杠相平行的滑軌，所述滑軌的滑塊與所述夾爪上所凸出的凸塊相連。

8.根據權利要求6所述的搬運晶圓盒貨架的轉運設備，其特征在于：在夾取所述貨架時兩所述伸出部分通過V形槽將所述貨架的固定塊卡入其中。

9.根據權利要求1所述的搬運晶圓盒貨架的轉運設備，其特征在于：所述頂升機構還包括支撐板，所述支撐板的高度大于所述頂升平臺的高度。