[發明專利]一種基于空心PMMA管復合波導氣體傳感器

有效

• 申請號: 202010830404.9
• 申請日: 2020-08-18
• 公開（公告）號: CN112067576B
• 公開（公告）日: 2023-04-28
• 發明（設計）人: 陳劍;馮吉軍;張大偉;莊松林
• 申請（專利權）人: 上海理工大學
• 主分類號: G01N21/3586
• 分類號: G01N21/3586;G01N21/3504;G02B6/00;G02B5/18
• 代理公司: 上海科盛知識產權代理有限公司 31225
• 代理人: 申丹寧

1.一種基于空心PMMA管復合波導的氣體壓強傳感器，其特征在于，包括密封在兩個PMMA板之間的三根從內到外同軸設置的PMMA管，在靠近傳感器兩端處的管壁上分別設置出氣口和進氣口；每根PMMA管都具有不同的光柵結構，從內到外依次刻蝕復合型光柵結構、雙啁啾型光柵結構和單啁啾復合型光柵結構；

所述復合型光柵結構包括依次設置的起始段、第一光柵段、第二光柵段、第三光柵段和終止段，具體的：起始段包括10個周期間距為300μm的光柵，第一光柵段包括34個周期間距為400um的光柵，第二光柵段包括39個周期間距為350um的光柵，第三光柵段包括45個周期間距為300um的光柵，終止段包括5個周期間距為300μm的光柵；

所述復合型光柵結構中：起始段的光柵的刻蝕寬度為90μm，刻蝕深度為50μm；第一光柵段的光柵的刻蝕寬度為210μm，刻蝕深度為180μm；第二光柵段的光柵的刻蝕寬度為180μm，刻蝕深度為150μm；第三光柵段的光柵的刻蝕寬度為100μm，刻蝕深度為50μm；終止段的光柵的刻蝕寬度為90μm，刻蝕深度為50μm；相鄰兩段之間的距離均為1mm；

所述雙啁啾型光柵結構包括依次設置的起始段、單啁啾復合光柵段和終止段，具體的：起始段包括10個周期間距為300μm的光柵，單啁啾復合光柵段包括41個周期間距為400μm、350μm或300μm的光柵，終止段包括5個周期間距為300μm的光柵；

所述雙啁啾型光柵結構中：起始段的光柵的刻蝕寬度為90μm，刻蝕深度為50μm；單啁啾復合光柵段中間距為400μm、350μm和300μm的光柵的刻蝕寬度分別為210μm、180μm和120μm，刻蝕深度分別為180μm、150μm和100μm；終止段的光柵的刻蝕寬度為90μm，刻蝕深度為50μm；相鄰兩段之間的距離為1mm；

所述單啁啾復合型光柵結構包括依次設置的起始段、雙啁啾光柵段和終止段，具體的：起始段包括10個周期間距為300μm的光柵，雙啁啾光柵段包括33個周期間距為400μm或350μm的光柵，終止段包括5個周期間距為300μm的光柵；

所述單啁啾復合型光柵結構中：起始段的光柵的刻蝕寬度為90μm，刻蝕深度為50μm；雙啁啾光柵段中間距為400μm和350μm的光柵的刻蝕寬度分別為210μm和350μm，刻蝕深度分別為180μm和120μm；終止段的光柵的刻蝕寬度為90μm，刻蝕深度為50μm；相鄰兩段之間的距離為1mm。

2.根據權利要求1所述的一種基于空心PMMA管復合波導的氣體壓強傳感器，其特征在于，所述PMMA板設有用于安裝各個PMMA管的凹槽，所述PMMA管與PMMA板通過PMMA專用膠固定。

3.根據權利要求1所述的一種基于空心PMMA管復合波導的氣體壓強傳感器，其特征在于，所述PMMA管的厚度均為2mm，相鄰兩根PMMA管之間的距離為3mm。

4.根據權利要求3所述的一種基于空心PMMA管復合波導的氣體壓強傳感器，其特征在于，所述PMMA管中位于最內側的PMMA管的內徑為8mm。