[發明專利]一種加工腔組件及激光加工裝置

有效

• 申請號: 202010828591.7
• 申請日: 2020-08-17
• 公開（公告）號: CN111975191B
• 公開（公告）日: 2023-01-24
• 發明（設計）人: 李紀東;侯煜;李曼;張喆;王然;張紫辰;張昆鵬;易飛躍;楊順凱;王瑜
• 申請（專利權）人: 北京中科鐳特電子有限公司
• 主分類號: B23K26/00
• 分類號: B23K26/00;B23K26/70;B23K26/064
• 代理公司: 北京蘭亭信通知識產權代理有限公司 11667
• 代理人: 趙永剛

1.一種加工腔組件，應用于激光加工裝置中，其特征在于，包括：

加工腔，所述加工腔內為密封的腔體；

固定在所述加工腔內且用于固定工件的載物臺，所述工件為晶圓；

其中，所述加工腔上設置有用于使激光的光束入射到所述工件上的第一窗口；所述載物臺上設置有通光孔，所述加工腔上還設置有第二窗口；且所述第一窗口、通光孔及第二窗口至少部分位置相對，以使所述激光的光束能夠從所述第一窗口入射到加工腔內，之后穿過所述通光孔并通過所述第二窗口射出所述加工腔；所述第一窗口與第二窗口分別為在所述加工腔的上方及下方開設的兩個開口；所述兩個開口至少部分位置相對，且均與所述載物臺上的所述通光孔至少部分位置相對；在所述兩個開口處分別安裝光學窗口鏡片，使所述激光的光束能夠穿過，同時使所述加工腔內為密封的腔體；

設置在所述加工腔外且與所述第二窗口相對的第一測量儀組件，所述第一測量儀組件對從所述第二窗口射出所述加工腔的光束進行測量分析。

2.如權利要求1所述的加工腔組件，其特征在于，所述第一測量儀組件包括光束質量分析儀和/或功率計。

3.如權利要求1所述的加工腔組件，其特征在于，所述加工腔外與所述第二窗口相對的位置還設置有至少能夠在一個維度運動的第一運動平臺，所述第一測量儀組件設置在所述第一運動平臺上。

4.一種加工腔組件，應用于激光加工裝置，其特征在于，包括：

加工腔，所述加工腔內為密封的腔體；

固定在所述加工腔內且用于固定工件的載物臺，所述工件為晶圓；

其中，所述加工腔上設置有用于使激光的光束入射到所述工件上的第一窗口；所述載物臺上設置有通光孔，所述加工腔上還設置有與所述通光孔至少部分位置相對的第二窗口；所述第一窗口與第二窗口分別為在所述加工腔的上方及下方開設的兩個開口；在所述兩個開口處分別安裝光學窗口鏡片，使所述激光的光束能夠穿過，同時使所述加工腔內為密封的腔體；

設置在所述加工腔外且與所述第二窗口相對的第一測量儀組件，所述第一測量儀組件透過所述第二窗口及通光孔對所述工件上朝向所述載物臺的表面進行測量分析。

5.如權利要求4所述的加工腔組件，其特征在于，所述第一測量儀組件包括高溫計。

6.如權利要求4所述的加工腔組件，其特征在于，所述加工腔外與所述第二窗口相對的位置還設置有至少能夠在一個維度運動的第一運動平臺，所述第一測量儀組件設置在所述第一運動平臺上。

7.一種加工腔組件，應用于激光加工裝置，其特征在于，包括：

加工腔，所述加工腔內為密封的腔體；

固定在所述加工腔內且用于固定工件的載物臺，所述工件為晶圓；

其中，所述加工腔上設置有用于使激光的光束入射到所述工件上的第一窗口；所述第一窗口為在所述加工腔的上方開設的開口；在所述開口處安裝光學窗口鏡片，使所述激光的光束能夠穿過，同時使所述加工腔內為密封的腔體；

設置在所述加工腔外且與所述第一窗口相對的第二測量儀組件，所述第二測量儀組件透過所述第一窗口對所述工件上背離所述載物臺的表面或所述激光的光束進行測量分析。

8.如權利要求7所述的加工腔組件，其特征在于，所述第二測量儀組件包括測高儀、電阻測量儀、圖像識別系統、高溫計中的一個或多個。

9.如權利要求8所述的加工腔組件，其特征在于，所述第二測量儀組件還包括對從所述第一窗口射入所述加工腔內的激光光束進行測量分析的紅外輻射分析儀。

10.如權利要求7所述的加工腔組件，其特征在于，所述加工腔外與所述第一窗口相對的位置還設置有能夠在至少一個維度運動的第二運動平臺，所述第二測量儀組件設置在所述第二運動平臺上。

11.如權利要求7所述的加工腔組件，其特征在于，所述工件為晶圓，所述第一窗口與所述晶圓位置相對，且所述第一窗口的尺寸大于所述晶圓的尺寸。

12.一種激光加工裝置，其特征在于，包括：

用于發射激光光束的激光光源；

如權利要求1~11任一項所述的加工腔組件。