[發明專利]體聲波諧振器在審
| 申請號： | 202010828584.7 | 申請日： | 2020-08-18 |
| 公開（公告）號： | CN112003581A | 公開（公告）日： | 2020-11-27 |
| 發明（設計）人： | 黃韋勝;林瑞欽 | 申請（專利權）人： | 武漢衍熙微器件有限公司 |
| 主分類號： | H03H9/02 | 分類號： | H03H9/02;H03H9/17 |
| 代理公司： | 深圳紫藤知識產權代理有限公司 44570 | 代理人： | 李新干 |
| 地址： | 430000 湖北省武漢市江夏區經濟開發區*** | 國省代碼： | 湖北;42 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 聲波 諧振器 | ||
1.一種體聲波諧振器，其特征在于，包括襯底，以及依次設于所述襯底上的反射結構、底電極、壓電層和頂電極；
所述體聲波諧振器包括諧振區，所述諧振區包括邊緣區，所述邊緣區中設有至少一個空腔，且每個空腔的頂部和/或底部位于所述壓電層的內部。
2.根據權利要求1所述的體聲波諧振器，其特征在于，所述空腔的頂部位于所述壓電層的內部，所述空腔的底部延伸至所述底電極的頂表面、所述底電極的內部或者所述底電極的底表面。
3.根據權利要求1所述的體聲波諧振器，其特征在于，所述空腔的底部位于所述壓電層的內部，所述空腔的頂部延伸至所述頂電極的底表面、所述頂電極的內部或者所述頂電極的頂表面。
4.根據權利要求1-3任一項所述的體聲波諧振器，其特征在于，所述諧振區還包括中心區，所述邊緣區環繞所述中心區設置；
所述至少一個空腔在環繞方向上的間距小于預設閾值。
5.根據權利要求4所述的體聲波諧振器，其特征在于，所述至少一個空腔包括至少一個第一空腔；
所述第一空腔環繞所述中心區設置，且所述第一空腔在所述襯底上的正投影為閉合形狀。
6.根據權利要求4所述的體聲波諧振器，其特征在于，所述至少一個空腔包括至少一個第二空腔；
所述第二空腔環繞所述中心區設置，且所述第二空腔在所述襯底上的正投影為具有開口的非閉合形狀，所述開口的距離小于所述預設閾值。
7.根據權利要求5所述的體聲波諧振器，其特征在于，所述至少一個空腔包括多個第三空腔；
所述多個第三空腔在所述環繞方向上間隔設置，且任意相鄰的兩個第三空腔的間隔距離小于所述預設閾值。
8.根據權利要求4所述的體聲波諧振器，其特征在于，所述預設閾值為50μm。
9.根據權利要求1所述的體聲波諧振器，其特征在于，所述邊緣區在朝向所述諧振區中心方向上的長度小于3μm。
10.根據權利要求1所述的體聲波諧振器，其特征在于，所述空腔中填充空氣和非金屬材料中的任意一種，所述非金屬材料包括二氧化硅。
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