[發(fā)明專利]一種槽式高效烘干系統(tǒng)

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202010825504.2
• 申請(qǐng)日: 2020-08-17
• 公開（公告）號(hào): CN111928592A
• 公開（公告）日: 2020-11-13
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 陶俊;朱鶴囡;王瑞銀
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 無錫琨圣科技有限公司
• 主分類號(hào): F26B9/06
• 分類號(hào): F26B9/06;F26B25/14;F26B21/00
• 代理公司: 北京科億知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 11350
• 代理人: 湯東鳳

本發(fā)明公開了一種槽式高效烘干系統(tǒng)，涉及硅片烘干設(shè)備領(lǐng)域，其中烘干槽采用PVDF材質(zhì)，烘干槽設(shè)有主槽和副槽，副槽底部設(shè)有勻流管，勻流管內(nèi)壁均勻分布小孔，加熱裝置將加熱后的空氣通過小孔均勻的送入槽內(nèi)，槽蓋兩側(cè)均勻分布孔洞，使得潮濕空氣能夠正常排出，加熱裝置置于烘干槽外部，上述設(shè)計(jì)改善了傳統(tǒng)烘干槽槽壁因長期靠近高溫?zé)艄墚a(chǎn)生變形，噴氟物脫落導(dǎo)致的金屬污染等問題，本發(fā)明烘干系統(tǒng)效率更高，能耗低，便于安裝維護(hù)，烘干效果更好，能進(jìn)一步縮短烘干時(shí)間提升產(chǎn)能。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及硅片烘干設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種槽式高效烘干系統(tǒng)。

背景技術(shù)

在晶硅電池的制備過程中，硅片需要在槽式清洗機(jī)臺(tái)內(nèi)和各種化學(xué)品反應(yīng)處理，然后進(jìn)行烘干，目前的烘干系統(tǒng)烘干效率差，易產(chǎn)生金屬污染。現(xiàn)有的技術(shù)是烘干槽設(shè)計(jì)成主槽套副操結(jié)構(gòu)，加熱燈管安裝在兩側(cè)內(nèi)外槽夾層中，空氣在電機(jī)作用下形成內(nèi)循環(huán)并通過燈管進(jìn)行加熱，烘干槽不銹鋼噴氟設(shè)計(jì)，燈管安裝在槽內(nèi)，靠近槽壁長時(shí)間使用易變形表面噴氟物也易脫落，導(dǎo)致金屬污染，加熱效率低，能耗高，不方便安裝維護(hù)。故針對(duì)上述問題急需要設(shè)計(jì)一種高效的烘干系統(tǒng)。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的目的是為了解決現(xiàn)有技術(shù)中存在的缺點(diǎn)，為了提升烘干效果避免污染，影響電池效率。采用獨(dú)立加熱結(jié)構(gòu)外置的方式，結(jié)合鼓風(fēng)機(jī)在槽內(nèi)形成從下而上直沖氣流結(jié)合勻流板，從而實(shí)現(xiàn)對(duì)硅片花籃進(jìn)行充分烘干。

為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明采用了如下技術(shù)方案：

一種槽式高效烘干系統(tǒng)，包括有烘干槽、空氣加熱裝置，所述烘干槽包括主槽、副槽、槽蓋，所述副槽設(shè)置在主槽內(nèi)，副槽底部設(shè)有勻流管，所述勻流管內(nèi)壁均勻分布小孔，所述加熱裝置將加熱后的空氣通過小孔均勻的送入槽內(nèi)，所述槽蓋兩側(cè)均勻分布孔洞，使得潮濕空氣能夠正常排出，所述空氣加熱裝置置于烘干槽外部。

進(jìn)一步的技術(shù)方案，所述勻流管上方裝有勻流板，防止副槽內(nèi)的碎硅片掉入槽底部，便于槽體清理。

進(jìn)一步的技術(shù)方案，鼓風(fēng)機(jī)從外部抽進(jìn)空氣送入空氣加熱裝置內(nèi)，鼓風(fēng)機(jī)抽風(fēng)端、抽風(fēng)尾端連接高效過濾器保證空氣潔凈度，同時(shí)泵抽風(fēng)口裝有一個(gè)過濾網(wǎng)，避免顆粒等雜物抽入泵中。

進(jìn)一步的技術(shù)方案，所述烘干槽、勻流管優(yōu)先采用PVDF材質(zhì)。

與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明的有益效果：

烘干槽采用PVDF材質(zhì)，空氣加熱裝置置于烘干槽外部，副槽底部設(shè)有勻流管，勻流管內(nèi)壁均勻分布小孔，加熱裝置將加熱后的空氣通過小孔均勻的送入槽內(nèi)，槽蓋兩側(cè)均勻分布孔洞，使得潮濕空氣能夠正常排出，勻流管上方裝有勻流板，防止副槽內(nèi)的碎硅片掉入槽底部，便于槽體清理，上述設(shè)計(jì)改善了傳統(tǒng)烘干槽采用不銹鋼噴氟設(shè)計(jì)，加熱燈管安裝在槽內(nèi)，靠近槽壁長時(shí)間使用易變形表面噴氟物也易脫落，導(dǎo)致金屬污染能耗高，不方便安裝維護(hù)的技術(shù)問題。

附圖說明

圖1為本發(fā)明提出的一種槽式高效烘干系統(tǒng)結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2為本發(fā)明提出的一種槽式高效烘干系統(tǒng)內(nèi)部結(jié)構(gòu)示意圖。

圖中：1槽蓋、2花籃、3主槽、4鼓風(fēng)機(jī)、5空氣加熱裝置、6槽蓋、7內(nèi)槽吹氣孔、8勻流管、10副槽、11勻流板。

具體實(shí)施方式

下面將結(jié)合本發(fā)明實(shí)施例中的附圖，對(duì)本發(fā)明實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實(shí)施例僅僅是本發(fā)明一部分實(shí)施例，而不是全部的實(shí)施例。

實(shí)施例1；