[發明專利]壓電式氣體流量控制閥

有效

• 申請號: 202010824326.1
• 申請日: 2020-08-17
• 公開（公告）號: CN112081971B
• 公開（公告）日: 2022-05-20
• 發明（設計）人: 江海
• 申請（專利權）人: 費爾頓技術（上海）有限公司
• 主分類號: F16K17/22
• 分類號: F16K17/22;F16K31/02
• 代理公司: 常州市英諾創信專利代理事務所(普通合伙) 32258
• 代理人: 張云

1.一種壓電式氣體流量控制閥，包括具有閥腔（101）的閥體（1）及壓電片（2），所述閥腔（101）內具有與其連通的進氣孔（801）和出氣孔（1032），其特征在于：所述壓電片（2）配置于閥腔（101）內，所述閥腔（101）內固定有和壓電片（2）下表面接觸的剛性軸（3）及抵在壓電片（2）上表面的柔性軸（4），所述剛性軸（3）和柔性軸（4）對置，所述壓電片（2）的兩端分別為密封端（201）和固定端（202），所述壓電片（2）的密封端（201）和進氣孔（801）對置；

所述壓電片（2）的密封端（201）上表面和閥腔（101）之間設有預緊彈性元件（5），所述預緊彈性元件（5）將壓電片（2）的密封端（201）壓向進氣孔（801），以封堵住進氣孔（801）；

所述壓電片（2）的固定端（202）下表面和閥腔（101）之間設有壓緊彈性元件（6），所述壓緊彈性元件（6）抵住壓電片（2）的固定端（202）下表面，所述閥體（1）上位于壓電片（2）的上方安裝有軸向位置可調的調節桿（7），所述調節桿（7）向下抵住壓電片（2）；

所述壓緊彈性元件（6）的彈力＞預緊彈性元件（5）的彈力。

2.根據權利要求1所述的壓電式氣體流量控制閥，其特征在于：所述調節桿（7）和閥體（1）螺紋連接。

3.根據權利要求1所述的壓電式氣體流量控制閥，其特征在于：所述閥體（1）上可拆卸的固定有噴嘴（8），所述噴嘴（8）內具有所述進氣孔（801）。

4.根據權利要求3所述的壓電式氣體流量控制閥，其特征在于：所述閥體（1）包括蓋板（102）和底座（103），所述蓋板（102）固定在底座（103）上，且蓋板（102）和底座（103）之間形成閥腔（101），所述底座（103）上開設有用于安裝噴嘴（8）的安裝孔（1031），所述底座（103）下方固定有流道本體（9），所述流道本體（9）中具有進氣通道（901）和出氣通道（902），所述進氣通道（901）和噴嘴（8）的進氣孔（801）連通，所述出氣通道（902）和閥腔（101）連通；

所述噴嘴（8）插設在安裝孔（1031）內，且夾持固定在流道本體（9）和底座（103）之間，所述噴嘴（8）的底端端面和流道本體（9）的上表面之間設有密封圈（10）。

5.根據權利要求3所述的壓電式氣體流量控制閥，其特征在于：所述噴嘴（8）內的出氣孔（1032）上端細下端粗。

6.根據權利要求1所述的壓電式氣體流量控制閥，其特征在于：所述壓緊彈性元件（6）和預緊彈性元件（5）均采用彈簧。

7.根據權利要求1所述的壓電式氣體流量控制閥，其特征在于：所述閥體（1）上螺紋連接有堵頭（11），所述預緊彈性元件（5）的上端抵住堵頭（11），所述預緊彈性元件（5）的下端抵住壓電片（2）的密封端（201）上表面。

8.根據權利要求1所述的壓電式氣體流量控制閥，其特征在于：所述壓電片（2）的密封端（201）下表面設有密封墊（12）。

9.根據權利要求1所述的壓電式氣體流量控制閥，其特征在于：所述閥體（1）內固定有柔性體（13），所述壓電片（2）穿過柔性體（13），所述柔性體（13）的兩側分別開設有與柔性軸（4）相匹配插孔，所述柔性軸（4）的兩端分別插設在柔性體（13）兩側的插孔內。