[發明專利]一種掩膜板組件

在審

• 申請號: 202010808260.7
• 申請日: 2020-08-12
• 公開（公告）號: CN112063968A
• 公開（公告）日: 2020-12-11
• 發明（設計）人: 邱岳;臧公正;李偉麗
• 申請（專利權）人: 維信諾科技股份有限公司
• 主分類號: C23C14/04
• 分類號: C23C14/04
• 代理公司: 廣東君龍律師事務所 44470
• 代理人: 丁建春

1.一種掩膜板組件，用于制作目標基板，其特征在于，所述掩膜板組件包括：

掩膜架，所述掩膜架上設置有連接面，所述掩膜架在所述連接面開設有凹槽；

可膨脹件，設置于所述凹槽內靠近所述掩膜架中心位置的一端；

掩膜網，搭接在所述掩膜架的所述連接面一側，且與所述可膨脹件連接；

其中，所述可膨脹件沿所述凹槽背離所述掩膜架中心方向，可隨所述目標基板膨脹而膨脹，以拉伸所述掩膜網而使得所述掩膜網趨于平整。

2.根據權利要求1所述的掩膜板組件，其特征在于，所述可膨脹件與所述掩膜網接觸的表面平整，且所述可膨脹件與所述掩膜網固定連接。

3.根據權利要求1所述的掩膜板組件，其特征在于，所述掩膜架任一對側邊各設有一所述凹槽，所述凹槽沿所述掩膜架側邊延伸，所述可膨脹件的長度與所述凹槽的長度匹配，所述凹槽的底面和所述可膨脹件底面形狀匹配。

4.根據權利要求1所述的掩膜板組件，其特征在于，所述可膨脹件與所述掩膜網的接觸面靠近所述掩膜架中心位置一端與所述掩膜網間隔設置，遠離所述掩膜架中心位置一端與所述掩膜網固定連接。

5.根據權利要求4所述的掩膜板組件，其特征在于，所述間隔設置的空間設置有第一填充件，所述第一填充件與所述掩膜架、所述掩膜網均接觸，且所述第一填充件的膨脹系數小于或等于所述掩膜架的膨脹系數。

6.根據權利要求1所述的掩膜板組件，其特征在于，所述凹槽內設置有第二填充件，所述可膨脹件的一端連接所述第二填充件，另一端連接所述凹槽靠近所述掩膜架中心位置的端部，所述第二填充件與所述掩膜網固定連接，其中所述可膨脹件靠近所述掩膜網的一側接觸或低于所述掩膜網，所述可膨脹件膨脹以驅動所述第二填充件拉伸所述掩膜網而使得所述掩膜網趨于平整，所述第二填充件的膨脹系數小于或等于所述掩膜架的膨脹系數。

7.根據權利要求6所述的掩膜板組件，其特征在于，所述可膨脹件和所述掩膜網之間設置有第三填充件，所述第三填充件位于所述凹槽內，所述第三填充件與所述掩膜網固定連接，其中所述第三填充件與所述第二填充件固定連接，所述第三填充件的膨脹系數小于或等于所述掩膜架的膨脹系數。

8.根據權利要求6或7所述的掩膜板組件，其特征在于，所述第二填充件和所述凹槽之間設置有滑移件，以使得所述第二填充件、或所述第二填充件與所述第三填充件通過所述滑移件背離所述掩膜架中心位置移動。

9.根據權利要求8所述的掩膜板組件，其特征在于，所述滑移件包括滑移導軌和滑移塊，所述滑移導軌和所述滑移塊一個安裝于所述凹槽底面，另一個安裝于所述第二填充件靠近所述凹槽底面的一側面上，所述滑移塊滑移于所述滑移導軌。

10.根據權利要求1-7任一所述的掩膜板組件，其特征在于，所述可膨脹件為金屬件；

優選地，所述金屬件為鐵材料或銅材料。