[發(fā)明專利]一種基于MoOx 在審
| 申請?zhí)枺?/td> | 202010801996.1 | 申請日: | 2020-08-11 |
| 公開(公告)號: | CN111697150A | 公開(公告)日: | 2020-09-22 |
| 發(fā)明(設(shè)計)人: | 杜祖亮;蔣曉紅;王安珍 | 申請(專利權(quán))人: | 河南大學(xué) |
| 主分類號: | H01L51/50 | 分類號: | H01L51/50;H01L51/54;H01L51/00;H01L51/56 |
| 代理公司: | 鄭州聯(lián)科專利事務(wù)所(普通合伙) 41104 | 代理人: | 張麗 |
| 地址: | 475001*** | 國省代碼: | 河南;41 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 一種 基于 moo base sub | ||
1.一種基于MoOx空穴注入層的QLED器件的制備方法,其特征在于,包括如下步驟:
(1)清洗并預(yù)處理ITO玻璃基底電極;
(2)在ITO玻璃基底電極上旋涂混合空穴注入層,所述混合空穴注入層的材料為MoOx或MoOx-PEDOT:PSS;
(3)在混合空穴注入層上旋涂空穴傳輸層;所述的空穴傳輸層材料為PVK、TFB、poly-TPD、TCTA、CBP中的一種或幾種;
(4)在空穴傳輸層上旋涂量子點發(fā)光層,所述量子點發(fā)光層的材料為ZnCdSeS/ZnS綠光量子點;
(5)在量子點發(fā)光層上旋涂電子傳輸層ZnO;
(6)在電子傳輸層ZnO上蒸鍍頂電極,待器件蒸鍍完成后,對其進(jìn)行封裝即可,所述頂電極為Al、Ag、Cu、Au或合金電極。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的制備方法,其特征在于,步驟(2)中MoOx層的旋涂方法為吸取80μL的MoOx前驅(qū)體溶液,旋涂40-45 s,成膜后退火,冷卻至室溫后,再進(jìn)行UV-O3處理5-10min;步驟(2)中PEDOT:PSS 層的旋涂方法為吸取100 μL的PEDOT:PSS在5000 rpm/min條件下旋涂40-45 s,成膜后在120-130℃條件下退火10-15 min。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的制備方法,其特征在于,MoOx前驅(qū)體溶液制備步驟為:將質(zhì)量分?jǐn)?shù)5-10%的鉬酸銨水溶液在空氣中加熱至80-90℃攪拌1-2h,即得,所得到的MoOx前驅(qū)體溶液的質(zhì)量分?jǐn)?shù)為5-8%。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的制備方法,其特征在于,步驟(2)中MoOx層旋涂時的轉(zhuǎn)速為4000-7000 rpm/min。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的制備方法,其特征在于,步驟(2)中MoOx層的旋涂后的退火溫度為100-170℃;退火時間為0-15min。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的制備方法,其特征在于,步驟(3)中空穴傳輸層的旋涂方法為吸取60 μL空穴傳輸層材料溶液,在2800-3200 rpm/min條件下旋涂25-35 s,并放置在退火板上在120-150℃條件下退火25-30 min;所述空穴傳輸層材料溶液的濃度為8 mg/mL。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的制備方法,其特征在于,步驟(4)中綠光量子點溶液是通過將粒徑為8-10 nm的ZnCdSeS/ZnS綠光量子點溶解于正辛烷,制備成濃度為18 mg/mL的溶液。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的制備方法,其特征在于,步驟(5)中電子傳輸層ZnO是在量子點發(fā)光層上旋涂ZnO溶液得到的,所述ZnO溶液為通過將粒徑為3-4 nm的ZnO溶解于乙醇中,制得濃度為30 mg/mL的ZnO溶液。
9.權(quán)利要求1至8任一所述方法制備的基于MoOx空穴注入層的QLED器件。
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H01L 半導(dǎo)體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L51-00 使用有機材料作有源部分或使用有機材料與其他材料的組合作有源部分的固態(tài)器件;專門適用于制造或處理這些器件或其部件的工藝方法或設(shè)備
H01L51-05 .專門適用于整流、放大、振蕩或切換且并具有至少一個電位躍變勢壘或表面勢壘的;具有至少一個電位躍變勢壘或表面勢壘的電容器或電阻器
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