[發明專利]ZnMgO紫外探測器及其制備方法

在審

• 申請號: 202010800909.0
• 申請日: 2020-08-11
• 公開（公告）號: CN111785793A
• 公開（公告）日: 2020-10-16
• 發明（設計）人: 劉可為;侯其超;申德振;陳星;張振中;李炳輝
• 申請（專利權）人: 中國科學院長春光學精密機械與物理研究所
• 主分類號: H01L31/0296
• 分類號: H01L31/0296;H01L31/108;H01L31/18;H01L21/02
• 代理公司: 深圳市科進知識產權代理事務所(普通合伙) 44316
• 代理人: 曹衛良

1.一種ZnMgO紫外探測器，其特征在于，包括從下至上依次疊加的襯底、ZnMgO薄膜和叉指電極。

2.如權利要求1所述的ZnMgO紫外探測器，其特征在于，所述ZnMgO薄膜為六角相和立方相混相結構。

3.如權利要求2所述的ZnMgO紫外探測器，其特征在于，所述ZnMgO薄膜的吸收截至邊為260～300nm，所述ZnMgO紫外探測器的光響應截止邊為320nm。

4.一種如權利要求1～3中任一項所述的ZnMgO紫外探測器的制備方法，其特征在于，包括如下步驟：

S1、以有機鋅化合物作為鋅源，以有機鎂化合物作為鎂源，以高純氧氣為氧源，利用金屬有機化合物化學氣相沉積法在襯底的表面生長ZnMgO薄膜；

S2、在所述ZnMgO薄膜上使用負膠光刻形成叉指電極掩膜，在所述叉指電極掩膜濺射金屬后將所述叉指電極掩膜去除，形成叉指電極；

S3、在所述叉指電極上按壓In粒，得到MSM結構的ZnMgO紫外探測器。

5.如權利要求4所述的ZnMgO紫外探測器的制備方法，其特征在于，所述高純氧氣的流速為500～800sccm。

6.如權利要求4所述的ZnMgO紫外探測器的制備方法，所述有機鋅化合物為二甲基鋅或三乙基鋅，有機鎂化合物為二甲基二茂鎂或二乙基二茂鎂。

7.如權利要求4所述的ZnMgO紫外探測器的制備方法，其特征在于，所述有機鋅化合物以高純氮氣為載氣，所述載氣流速為10～40sccm；所述有機鎂化合物以高純氮氣為載氣，其載氣流速為5～20sccm。

8.如權利要求4所述的ZnMgO紫外探測器的制備方法，其特征在于，在所述步驟S2中，濺射電流為5～8mA。

9.如權利要求4所述的ZnMgO紫外探測器的制備方法，其特征在于，在所述步驟S2中，采用超聲波去除所述叉指電極掩膜，超聲時間為3～5min。

10.如權利要求4所述的ZnMgO紫外探測器的制備方法，其特征在于，在步驟S1之后還包括退火處理步驟，具體如下：

將所述ZnMgO薄膜移入退火爐，使用氧氣氣氛，氧氣流量為8～12sccm，以0.2～0.4℃/s的升溫速率將所述退火爐的爐溫升至550～700℃，經30～60min后，從所述退火爐中取出所述ZnMgO薄膜。