[發明專利]一種相變存儲器件及其制造方法、操作方法

有效

• 申請號: 202010797732.3
• 申請日: 2020-08-10
• 公開（公告）號: CN111969105B
• 公開（公告）日: 2023-08-08
• 發明（設計）人: 潘緒文
• 申請（專利權）人: 長江存儲科技有限責任公司
• 主分類號: H10N70/20
• 分類號: H10N70/20;H10B63/10;G11C13/00
• 代理公司: 深圳紫藤知識產權代理有限公司 44570
• 代理人: 楊艇要

1.一種相變存儲器件，其特征在于，包括：

襯底；

位于所述襯底上的第一電極；

位于所述襯底上且圍繞所述第一電極的加熱電極；

位于所述襯底上且圍繞所述加熱電極的相變層；

位于所述襯底上且圍繞所述相變層的第二電極。

2.根據權利要求1所述的相變存儲器件，其特征在于，所述第一電極包括圓柱形。

3.根據權利要求2所述的相變存儲器件，其特征在于，所述加熱電極包括圍繞所述第一電極側壁的環形結構，所述相變層包括圍繞所述加熱電極側壁的環形結構，所述第二電極圍繞所述相變層的側壁。

4.根據權利要求1所述的相變存儲器件，其特征在于，所述第一電極為垂直于所述襯底的圓柱形，并具有與存儲芯片的位線電連接的頂部。

5.根據權利要求1所述的相變存儲器件，其特征在于，所述第一電極為垂直于所述襯底的圓柱形，所述加熱電極具有與地線電連接的底部。

6.根據權利要求5所述的相變存儲器件，其特征在于，還包括位于所述襯底上的開關組件，所述開關組件控制所述加熱電極與所述地線導通或斷開。

7.根據權利要求1所述的相變存儲器件，其特征在于，所述第二電極被配置成字線。

8.根據權利要求1所述的相變存儲器件，其特征在于，還包括位于所述襯底上且圍繞所述第二電極，并具有長方形橫截面的字線。

9.一種相變存儲器件的操作方法，其特征在于，所述相變存儲器件包括：襯底，位于所述襯底上的第一電極，位于所述襯底上且圍繞所述第一電極的加熱電極，位于所述襯底上且圍繞所述加熱電極的相變層，位于所述襯底上且圍繞所述相變層的第二電極，位于所述襯底上的開關組件，所述加熱電極具有與地線電連接的底部，所述開關組件控制所述加熱電極與所述地線導通或斷開；所述操作方法包括：

向所述第一電極輸入操作電流，以形成從所述第一電極、經由所述加熱電極、所述相變層、至所述第二電極的主加熱路線；

當所述主加熱路線斷開時，通過所述開關組件控制所述加熱電極與所述地線導通，以形成從所述第一電極、經由所述加熱電極、至所述地線的輔加熱路線。

10.一種相變存儲器件的制造方法，其特征在于，包括：

提供襯底；

在所述襯底上形成第二電極；

在所述襯底上形成被所述第二電極圍繞的相變層；

在所述襯底上形成被所述相變層圍繞的加熱電極；

在所述襯底上形成被加熱電極圍繞的第一電極。

11.根據權利要求10所述的相變存儲器件的制造方法，其特征在于，所述第一電極包括圓柱形。

12.根據權利要求11所述的相變存儲器件的制造方法，其特征在于，所述加熱電極包括圍繞所述第一電極側壁的環形結構，所述相變層包括圍繞所述加熱電極側壁的環形結構，所述第二電極圍繞所述相變層的側壁。

13.根據權利要求10所述的相變存儲器件的制造方法，其特征在于，所述第一電極為垂直于所述襯底的圓柱形，并具有與存儲芯片的位線電連接的頂部。

14.根據權利要求10所述的相變存儲器件的制造方法，其特征在于，所述第一電極為垂直于所述襯底的圓柱形，所述加熱電極具有與地線電連接的底部。

15.根據權利要求14所述的相變存儲器件的制造方法，其特征在于，還包括形成位于所述襯底上的開關組件，所述開關組件控制所述加熱電極與所述地線導通或斷開。

16.根據權利要求10所述的相變存儲器件的制造方法，其特征在于，所述第二電極被配置成字線。

17.根據權利要求10所述的相變存儲器件的制造方法，其特征在于，還包括形成位于所述襯底上且圍繞所述第二電極，并具有長方形橫截面的字線。