[發明專利]一種信息交互方法和裝置

在審

• 申請號: 202010797469.8
• 申請日: 2020-08-10
• 公開（公告）號: CN111966619A
• 公開（公告）日: 2020-11-20
• 發明（設計）人: 劉亞欣
• 申請（專利權）人: 北京北方華創微電子裝備有限公司
• 主分類號: G06F13/40
• 分類號: G06F13/40;G06F13/38;G06F13/10
• 代理公司: 北京潤澤恒知識產權代理有限公司 11319
• 代理人: 莎日娜

1.一種信息交互方法，其特征在于，應用于通訊接口，所述方法包括：

接收控制系統發送的待發送信息，將所述待發送信息轉換為第一格式，并將轉換后的待發送信息發送至半導體設備，其中，所述待發送信息由所述控制系統利用預設信息交互規則發送，所述通訊接口外置于所述控制系統；和/或，

接收所述半導體設備發送的待接收信息，將所述待接收信息轉換為第二格式，利用所述預設信息交互規則，將轉換后的所述待接收信息發送至所述控制系統。

2.根據權利要求1所述的方法，其特征在于，所述預設信息交互規則包括允許傳輸任意格式的信息的無狀態協議。

3.根據權利要求2所述的方法，其特征在于，所述待發送信息由所述控制系統輸入至預設命令函數，并通過所述預設命令函數發送，所述預設命令函數用于所述控制系統與所述通訊接口之間基于所述無狀態協議傳輸信息；

所述將轉換后的所述待接收信息發送至所述控制系統，包括：

將轉換后的所述待接收信息輸入至所述預設命令函數，通過所述預設命令函數將所述待接收信息發送至所述控制系統。

4.根據權利要求1所述的方法，其特征在于，所述通訊接口為加載通訊函數類庫的網絡應用程序接口WebAPI，所述通訊函數類庫與所述WebAPI采用同一種編程語言構建。

5.根據權利要求2所述的方法，其特征在于，所述將所述待接收信息轉換為第二格式，包括：

將所述待接收信息輸入預先加載的接口函數類庫中的第一轉換函數，通過所述第一轉換函數將所述待接收信息轉換為第二格式，所述第一轉換函數用于將輸入信息的格式轉換成第二格式，所述接口函數類庫與所述無狀態協議相對應。

6.根據權利要求1或5所述的方法，其特征在于，所述第二格式為基于JAVA腳本的對象表示法json格式。

7.根據權利要求2所述的方法，其特征在于，所述將所述待發送信息轉換為第一格式，包括：

將所述待發送信息輸入預先加載的通訊函數類庫中的第二轉換函數，通過所述第二轉換函數將所述待發送信息轉換為第一格式，所述第二轉換函數用于將輸入信息的格式轉換成第一格式，所述通訊函數類庫與所述無狀態協議相對應。

8.根據權利要求1或7所述的方法，其特征在于，所述第一格式為國際半導體設備與材料產業協會SEMI標準協議格式。

9.一種信息交互裝置，其特征在于，應用于通訊接口，所述裝置包括：

第一接收模塊，用于接收控制系統發送的待發送信息，其中，所述待發送信息由所述控制系統利用預設信息交互規則發送，所述通訊接口外置于所述控制系統；

第一轉換模塊，用于將所述待發送信息轉換為第一格式；

第一發送模塊，用于將轉換后的待發送信息發送至半導體設備；

第二接收模塊，用于接收所述半導體設備發送的待接收信息；

第二轉換模塊，用于將所述待接收信息轉換為第二格式；

第二發送模塊，用于利用所述預設信息交互規則，將轉換后的所述待接收信息發送至所述控制系統。

10.根據權利要求9所述的裝置，其特征在于，所述通訊接口為加載通訊函數類庫的網絡應用程序接口WebAPI，所述通訊函數類庫與所述WebAPI采用同一種編程語言構建。