[發明專利]線圈芯片及其制備方法、檢測芯片和滑油傳感器

在審

• 申請號: 202010797239.1
• 申請日: 2020-08-10
• 公開（公告）號: CN111855510A
• 公開（公告）日: 2020-10-30
• 發明（設計）人: 聶泳忠;吳桂珊
• 申請（專利權）人: 西人馬聯合測控（泉州）科技有限公司
• 主分類號: G01N15/02
• 分類號: G01N15/02;G01N15/10;G01N33/28;H01F41/04;H01F5/00
• 代理公司: 北京東方億思知識產權代理有限責任公司 11258
• 代理人: 彭瓊

1.一種基于微機電系統的線圈芯片，其特征在于，包括具有相對設置的第一表面和第二表面的基底，所述基底上設有至少兩個的感應區域；所述基底于每個感應區域內的第一表面和第二表面上分別對應設有第一絕緣層和第二絕緣層，第一絕緣層于遠離第二絕緣層的表面上設有至少一層的感應線圈層，所述感應線圈層的內圈位置設有貫穿整個線圈芯片的供滑油通過的檢測通孔，使得每個感應區域內形成一感應線圈結構單元。

2.根據權利要求1所述的基于微機電系統的線圈芯片，其特征在于，每個感應區域內的感應線圈層于遠離第二絕緣層的表面上設有至少一層的第三絕緣層，至少一層的感應線圈層與至少一層的第三絕緣層依次交替設置，每層所述第三絕緣層圍繞檢測通孔設置且覆蓋對應層的感應線圈層。

3.根據權利要求2所述的基于微機電系統的線圈芯片，其特征在于，所述感應線圈層和第三絕緣層分別為至少兩層，每層第三絕緣層上分別設有用于露出對應層的感應線圈層的連接孔，相鄰的感應線圈層的尾部經由所述連接孔電連接。

4.根據權利要求2或3所述的基于微機電系統的線圈芯片，其特征在于，每個感應區域內的位于最頂層的第三絕緣層于遠離第二絕緣層的表面上依次設有引線圈層和第四絕緣層，所述第四絕緣層上設有引線孔，所述引線圈層用于將位于第一層的感應線圈層的頭部和位于最頂層的感應線圈層的尾部經由所述引線孔引出。

5.根據權利要求1所述的基于微機電系統的線圈芯片，其特征在于，所述基底為本征硅件、石英件或玻璃件；或者，

所述第一絕緣層和第二絕緣層分別為二氧化硅層或氮化硅層；或者，

所述感應線圈層為鈦制感應線圈層、金制感應線圈層、鉑制感應線圈層、鋁制感應線圈層或銅制感應線圈層。

6.根據權利要求1所述的基于微機電系統的線圈芯片，其特征在于，所述第一絕緣層和所述第二絕緣層的厚度分別為0.1um-10um；或者，

所述感應線圈層的厚度為0.01nm-10000nm。

7.根據權利要求1-3和5-6任意一項所述的基于微機電系統的線圈芯片，其特征在于，至少兩個的感應區域內設置的至少兩個的檢測通孔陣列分布。

8.一種用于檢測滑油金屬屑末的檢測芯片，其特征在于，包括基底和至少兩個的導電材料的線圈，所述基底上設有至少兩個的供滑油通過的檢測通孔，至少兩個的線圈與至少兩個的檢測通孔分別一一對應設置，且線圈設于檢測通孔的孔周沿。

9.根據權利要求8所述的用于檢測滑油金屬屑末的檢測芯片，其特征在于，還包括用于將線圈固設于絕緣基底上的絕緣的連接件和/或設于線圈表面的保護件。

10.一種滑油傳感器，包括滑油管道和設置于所述滑油管道外壁上的兩個激勵線圈，其特征在于，還包括設于滑油管道內部且位于兩個激勵線圈之間的權利要求1-7任意一項所述的基于微機電系統的線圈芯片或者權利要求8-9任意一項所述的用于檢測滑油金屬屑末的檢測芯片。

11.根據權利要求10所述的滑油傳感器，其特征在于，還包括用于將所述線圈芯片或所述檢測芯片固設于滑油通道上的絕緣的固持件。

12.一種基于微機電系統的線圈芯片的制備方法，其特征在于，包括以下步驟：

(1)將基底劃分為至少兩個的感應區域，以及將基底的相對設置的第一表面和第二表面分別進行熱氧化，依次對應形成第一絕緣層和第二絕緣層；

(2)于每個感應區域中的第一絕緣層上分別形成至少一層的感應線圈層；于感應線圈層的內圈位置形成貫穿整個線圈芯片的供滑油通過的檢測通孔。